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단당류 유도체를 이용한 구리배선용 초저유전막

  • 기술번호 : KST2015218482
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 단당류 유도체를 이용한 구리배선용 초저유전막에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기공형성용 템플레이트로 알콕시실란 말단기를 갖는 단당류 유도체가 포함되어 있는 초저유전성 조성물을 박막화 한 다음 경화 및 고온 열처리를 통하여 제조한 것으로, 유전율이 낮고 기계적 강도가 매우 우수하며 2 nm 이하의 매우 작은 나노기공을 함유한 초저유전막에 관한 것이다. 단당류, 글루코스, 졸-젤 반응, 초저유전막, 기공형성용 템플레이트, 유전율, 기계적 특성, 나노기공
Int. CL H01B 3/46 (2011.01)
CPC H01B 3/46(2013.01) H01B 3/46(2013.01) H01B 3/46(2013.01) H01B 3/46(2013.01)
출원번호/일자 1020040043668 (2004.06.14)
출원인 학교법인 서강대학교
등록번호/일자 10-0595526-0000 (2006.06.23)
공개번호/일자 10-2005-0118531 (2005.12.19) 문서열기
공고번호/일자 (20060703) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2004.06.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 학교법인 서강대학교 대한민국 서울특별시 마포구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이희우 대한민국 서울시 서초구
2 윤도영 대한민국 서울시 관악구
3 차국헌 대한민국 서울특별시 서초구
4 이진규 대한민국 서울시 관악구
5 문봉진 대한민국 경기도 고양시 덕양구
6 민성규 대한민국 서울시 광진구
7 박세정 대한민국 서울시 관악구
8 신재진 대한민국 서울시 노원구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이학수 대한민국 부산광역시 연제구 법원로 **, ****호(이학수특허법률사무소)
2 백남훈 대한민국 서울특별시 강남구 강남대로 ***, KTB네트워크빌딩**층 한라국제특허법률사무소 (역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 이희우 서울특별시 마포구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application		 2004.06.14 수리 (Accepted) 1-1-2004-0255931-25
2 명세서 등 보정서
Amendment to Description, etc.		 2004.06.24 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2004-0275256-83
3 보정통지서
Request for Amendment		 2004.07.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2004-0043927-74
4 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2004.07.08 수리 (Accepted) 1-1-2004-0301762-29
5 보정통지서
Request for Amendment		 2004.07.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2004-0047379-46
6 서지사항 보정서
Amendment to Bibliographic items		 2004.07.26 수리 (Accepted) 1-1-2004-0331553-31
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2005.05.02 수리 (Accepted) 4-1-2005-5043440-79
8 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2005.10.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
9 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2005.11.16 수리 (Accepted) 9-1-2005-0074117-29
10 협의요구서
Request for Consultation		 2006.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0036736-18
11 협의요구서
Request for Consultation		 2006.01.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0036737-64
12 등록결정서
Decision to grant		 2006.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2006-0345506-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
다음 화학식 1로 표시되는 알콕시실란 말단기를 갖는 단당류 유도체인 것임을 특징으로 하는 기공형성용 템플레이트 : [화학식 1] 상기 화학식 1에서, R은 서로 같거나 다른 것으로서 수소원자 또는 탄소수가 1 내지 6의 알킬기를 나타내고, n은 2 내지 6의 정수이고, m은 1 내지 3의 정수이다
2 2
a) 유기 또는 무기 실리케이트 전구체 10 ∼ 90 부피%와, b) 다음 화학식 1로 표시되는 알콕시실란 말단기를 갖는 단당류 유도체 10 ∼ 90 부피%가 함유되어 있는 것임을 특징으로 하는 초저유전성 조성물 : [화학식 1] 상기 화학식 1에서, R은 서로 같거나 다른 것으로서 수소원자 또는 탄소수가 1 내지 6의 알킬기를 나타내고, n은 2 내지 6의 정수이고, m은 1 내지 3의 정수이다
3 3
제 2 항에 있어서, 상기 유기 또는 무기 실리케이트 전구체가 폴리메틸실세스퀴옥산 단일중합체 또는 공중합체인 것임을 특징으로 하는 초저유전성 조성물
4 4
상기 청구항 2의 조성물을 이용하여 제조된 것임을 특징으로 하는 초저유전막
5 4
상기 청구항 2의 조성물을 이용하여 제조된 것임을 특징으로 하는 초저유전막
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.