요약 | 본 발명은 단당류의 올리고머 유도체를 이용한 구리배선용 초저유전막에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 알콕시실란 말단기를 갖는 단당류 유도체를 졸-젤 반응하여 제조한 신규 구조의 단당류 올리고머 유도체와, 상기한 단당류의 올리고머 유도체가 포함되어 있는 초저유전성 조성물을 박막화 한 다음 경화 및 고온 열처리를 통하여 제조한 것으로, 유전율이 낮고 기계적 강도가 매우 우수하며 2 nm 이하의 매우 작은 나노기공을 함유한 초저유전막에 관한 것이다. 단당류 유도체, 단당류 올리고머 유도체, 졸-젤 반응, 초저유전막, 기공형성용 템플레이트, 유전율, 기계적 특성, 나노기공 |
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Int. CL | H01B 3/46 (2011.01) |
CPC | H01B 3/46(2013.01) H01B 3/46(2013.01) H01B 3/46(2013.01) H01B 3/46(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020040043669 (2004.06.14) |
출원인 | 학교법인 서강대학교 |
등록번호/일자 | 10-0595527-0000 (2006.06.23) |
공개번호/일자 | 10-2005-0118532 (2005.12.19) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20060703) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2004.06.14) |
심사청구항수 | 6 |