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다음 화학식 1로 표시되는 바와 같이 트리알콕시실릴프로필 말단기가 결합되어 있는 사이클로덱스트린 유도체의 나노입자인 것임을 특징으로 하는 기공형성용 템플레이트 :[화학식 1] 상기 화학식 1에서, R은 서로 같거나 다른 것으로서 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 나타내고; n은 6 ∼ 12의 정수를 나타낸다
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제 1 항에 있어서, 상기 유도체가 헥사키스{2,3,6-트리-O-(3-트리메톡시실릴프로필)-α-사이클로덱스트린}, 헥사키스{2,3,6-트리-O-(3-트리에톡시실릴프로필)-α-사이클로덱스트린}, 헵타키스{2,3,6-트리-O-(3-트리메톡시실릴프로필)-β-사이클로덱스트린}, 헵타키스{2,3,6-트리-O-(3-트리에톡시실릴프로필)-β-사이클로덱스트린}, 옥타키스{2,3,6-트리-O-(3-트리메톡시실릴프로필)-γ-사이클로덱스트린}, 및 옥타키스{2,3,6-트리-O-(3-트리에톡시실릴프로필)-γ-사이클로덱스트린} 중에서 선택된 것임을 특징으로 하는 기공형성용 템플레이트
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다음 화학식 1로 표시되는 바와 같이 트리알콕시실릴프로필 말단기가 결합되어 있는 사이클로덱스트린 유도체를 졸-젤 반응하여 제조한 것임을 특징으로 하는 저유전 매트릭스 :[화학식 1] 상기 화학식 1에서, R은 서로 같거나 다른 것으로서 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 나타내고; n은 6 ∼ 12의 정수를 나타낸다
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다음 화학식 1로 표시되는 바와 같이 트리알콕시실릴프로필 말단기가 결합되어 있는 사이클로덱스트린 유도체를 졸-젤 반응하여 제조된 저유전 매트릭스를 박막화하여 제조한 것임을 특징으로 하는 저유전막 :[화학식 1] 상기 화학식 1에서, R은 서로 같거나 다른 것으로서 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 나타내고; n은 6 ∼ 12의 정수를 나타낸다
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제 4 항에 있어서, 상기 저유전 매트릭스는 폴리메틸실세스퀴옥산 및 폴리메틸실세스퀴옥산 공중합체 중에서 선택된 실리케이트 전구체가 포함된 것임을 특징으로 하는 저유전막
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a) 유기 또는 무기 실리케이트 전구체와,b) 다음 화학식 1로 표시되는 바와 같이 트리알콕시실릴프로필 말단기가 결합되어 있는 사이클로덱스트린 유도체의 나노입자가 함유되어 얻어진 것임을 특징으로 하는 초저유전 절연성 조성물 :[화학식 1] 상기 화학식 1에서, R은 서로 같거나 다른 것으로서 탄소수 1 내지 6의 알킬기를 나타내고; n은 6 ∼ 12의 정수를 나타낸다
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제 6 항에 있어서, a) 유기 또는 무기 실리케이트 전구체와, b) 상기 화학식 1로 표시되는 사이클로덱스트린 유도체의 나노입자가 각각 10 ∼ 40 중량% 농도 범위에서 동일 농도로 용해되어 있는 두 용액을 10 ∼ 50 : 10 ∼ 50 부피%로 혼합하여 얻어진 것임을 특징으로 하는 초저유전 절연성 조성물
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제 6 항에 있어서, 상기 화학식 1로 표시되는 유도체가 헥사키스{2,3,6-트리-O-(3-트리메톡시실릴프로필)-α-사이클로덱스트린}, 헥사키스{2,3,6-트리-O-(3-트리에톡시실릴프로필)-α-사이클로덱스트린}, 헵타키스{2,3,6-트리-O-(3-트리메톡시실릴프로필)-β-사이클로덱스트린}, 헵타키스{2,3,6-트리-O-(3-트리에톡시실릴프로필)-β-사이클로덱스트린}, 옥타키스{2,3,6-트리-O-(3-트리메톡시실릴프로필)-γ-사이클로덱스트린}, 옥타키스{2,3,6-트리-O-(3-트리에톡시실릴프로필)-γ-사이클로덱스트린} 중에서 선택된 것을 특징으로 하는 초저유전 절연성 조성물
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제 6 항에 있어서, 상기 유기 또는 무기 실리케이트 전구체가 폴리메틸실세스퀴옥산 또는 폴리메틸실세스퀴옥산 공중합체인 것을 특징으로 하는 초저유전 절연성 조성물
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상기 청구항 6 내지 청구항 9 중에서 선택된 어느 한 항의 초저유전 절연성 조성물을 박막화하여 제조한 것으로, 매트릭스 용액에 대한 템플레이트 용액의 상대 부피비가 40 ∼ 49%일 때 공극률이 21 ∼ 51% 이고 유전율이 2
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상기 청구항 6 내지 청구항 9 중에서 선택된 어느 한 항의 초저유전 절연성 조성물을 박막화하여 제조한 것으로, 매트릭스 용액에 대한 템플레이트 용액의 상대 부피비가 40 ∼ 49%일 때 공극률이 21 ∼ 51% 이고 유전율이 2
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