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결정의 용융점보다 높은 온도로 유지되는 상측 발열체와 용융점 보다 낮은 온도로 유지되는 하측 발열체가 수직으로 연하여 구비되는 원통 구조의 발열체와, 상기 발열체 내부에서 수직으로 이동이 가능하고, 저부면에 씨드가 위치하고, 상기 씨드로부터 액체 상태의 결정이 고체 상태의 결정으로 변화되면서 단결정으로 성장되도록 하는 도가니와, 고체/액체 계면을 평활하게 유지하도록 고체/액체 계면의 부근에 인접되는 상기 원통 구조의 발열체와 도가니 사이에 구비되는 복사 반사경을 포함하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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상기 청구항1에 있어서, 상기 복사 반사경은 깔때기 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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상기 청구항1 또는 2에 있어서, 상기 복사 반사경은 금속 계통의 복사 반사경 또는 금속 재료가 도금된 것을 특징으로 하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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4 |
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상기 청구항1 또는 2에 있어서, 상기 도가니에 인접되는 복사 반사경의 단부는 도가니 중앙의 고체/액체 계면과 일치시키고, 상기 발열체에 인접되는 복사 반사경의 단부는 도가니 가장자리의 고체/액체 계면과 일치시키는 것을 특징으로 하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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상기 청구항1 또는 2에 있어서, 상기 복사 반사경은 경사각을 갖는 것을 특징으로 하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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결정의 용융점 보다 높은 온도로 유지되는 상측 발열체와 용융점 보다 낮은 온도로 유지되는 하측 발열체가 수직으로 연하여 구비되는 원통 구조의 발열체와, 상기 발열체 내부에서 수직으로 이동이 가능하고, 저부면에 씨드가 위치하고, 상기 씨드로부터 액체 상태의 결정이 고체 상태의 결정으로 변화되면서 단결정으로 성장되도록 하는 도가니와, 고체/액체 계면이 평활하게 유지되도록 고체/액체 계면의 부근에 인접되는 상기 원통 구조의 발열체와 도가니 사이에 구비되는 절연체와, 상기 절연체 상측과 하측에 구비하는 복사 반사경을 포함하는 수가 구비되는 복사 반사경을 포함하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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7 |
7
상기 청구항6에 있어서, 상기 복사 반사경은 깔때기 형상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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8 |
8
상기 청구항6 또는 7에 있어서, 상기 복사 반사경은 금속 계통의 복사 반사경 또는 금속 재료가 도금된 것을 특징으로 하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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9 |
9
상기 청구항6 또는 7에 있어서, 상기 도가니에 인접되는 복사 반사경의 단부는 도가니 중심의 고체/액체 계면의 높이와 근접하고, 상기 발열체에 인접되는 복사 반사경의 단부는 도가니 가장자리의 고체/액체 계면의 높이와 근접되도록 구비하는 것을 특징으로 하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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10
상기 청구항6 또는 7에 있어서, 상기 복사 반사경은 경사각을 갖는 것을 특징으로 하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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11
상기 청구항6 또는 7에 있어서, 상기 복사 반사경은 발열체의 측벽에 접착되는 것을 특징으로 하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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상기 청구항6 또는 7에 있어서, 상기 하측에 구비되는 복사 반사경의 온도 구배를 증가시키기 위하여 하측 복사 반사경의 경사각을 증가시키는 것을 특징으로 하는 수직형 브릿지만 결정 성장 장치
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