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섬유와 같은 고분자의 발수처리 방법에 있어서,아르곤, 질소, 헬륨의 단일 가스나 아르곤/질소, 질소/헬륨의 조합 가스로 이루어진 그룹 중에서 어느 하나의 가스를 전극이 설치된 챔버에 주입하고,상기 전극에 고주파 전력을 인가하여 발생된 플라즈마로 섬유를 발수 혹은 소수 처리하는 것을 특징으로 하는 섬유재의 비할로겐계 플라즈마 발수 가공방법
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제1항에 있어서, 상기 고주파 전력은10 내지 20 MHz 범위의 주파수를 사용하고,상기 챔버의 공정압력은 대기압 내지 수백 토르이며, 상기 공정가스의 유량은 10 내지 10000 cc/min인 것을 특징으로 하는 섬유재의 비할로겐계 플라즈마 발수 가공방법
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제1항에 있어서, 상기 전극의 구조는판형 배열로 이루어져 있고, 상기 각 판형 전극 사이의 거리는 가변할 수 있도록 된 것을 특징으로 하는 섬유재의 비할로겐계 플라즈마 발수 가공방법
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소정 주파수의 고주파 신호를 발생하는 RF 제너레이터;상기 고주파 신호를 손실없이 챔버로 전달하는 매칭 네트워크;아르곤, 질소, 헬륨의 단일가스 혹은 혼합가스를 챔버로 공급하기 위한 공정가스 공급부;챔버 내의 가스를 외부로 배출하기 위한 로터리 펌프; 및상기 매칭 네트워크를 통해 인가되는 고주파 신호로 상기 공정가스 공급부를 통해 공급된 가스를 방전시켜 플라즈마를 생성하고, 생성된 플라즈마에 의해 섬유의 표면을 개질시키는 상기 챔버를 구비한 것을 특징으로 하는 섬유재의 비할로겐계 플라즈마 발수 가공장치
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제1항에 있어서, 상기 챔버는내부에 소정의 밀봉 공간을 형성하는 케이스와, -극성으로 바이어스된 바이어스 전극과, 접지전극과, 서로 높이를 달리하여 다수개 설치되어 상기 전극을 지지함과 아울러 양 전극 사이를 가변시킬 수 있도록 된 전극 지지대와, 가공할 섬유재를 지지하는 지그를 구비한 것을 특징으로 하는 섬유재의 비할로겐계 플라즈마 발수 가공장치
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