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상부면에 위치하는 반사부, 그리고상기 반사부의 반대편인 하부면에 위치하며, 상기 반사부를 지지하는 플렉서(flexure)가 장착되는 복수의 체결홈을 구비하며,상기 체결홈은 상기 플렉서를 볼트로 결합하기 위한 볼트홀을 포함하는 반사 장치
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제1항에서,상기 반사부는 원형, 타원형 및 다각형 중 어느 하나의 평면 형상을 갖는 반사 장치
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제1항에서,상기 반사 장치를 관통하고, 외부로부터 입사되는 광을 통과시켜 상기 반사 장치 하부에 위치하는 광학계로 입사시키는 관통부를 더 포함하는 반사장치
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제3항에서,상기 관통부는 상기 반사부의 평면 형상과 동일한 평면 형상을 갖는 반사 장치
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제3항에서,상기 관통부는 상기 반사부의 평면 형상과 상이한 평면 형상을 갖는 반사 장치
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제1항에서,상기 체결홈의 개수는 적어도 3개인 반사 장치
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제1항에서,인접한 체결홈 간의 거리가 일정한 반사 장치
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제1항에서,상기 체결홈은 상기 반사 장치의 하부면에서부터 상부면 쪽으로 형성되는 반사 장치
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제7항에서,상기 체결홈의 높이는 상기 반사 장치의 두께보다 작은 반사 장치
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제3항에서,상기 체결홈은 반사 장치의 측면에서부터 상기 관통부 쪽으로 깊이를 갖고 형성되는 반사 장치
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제10항에서,상기 체결홈의 깊이는 반사 장치의 측면에서부터 상기 관통부의 내주면까지의 두께보다 작은 반사 장치
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제3항에서,상기 체결홈은 내부면 중 상기 관통부와 가장 가까운 면에 상기 플렉서와 볼트 결합하기 위한 볼트홀을 구비하는 반사 장치
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제12항에서,상기 체결홈은 내부면 중 상기 반사부와 가장 가까운 면의 상기 관통부와 가장 가까운 모서리로부터 상기 관통부 방향으로 패인 스텝(step)을 구비하는 반사 장치
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제13항에서,상기 스텝은 상기 체결홈의 높이보다 작은 높이를 갖는 반사 장치
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제13항에서,상기 스텝은 상기 볼트홀의 길이 이상인 깊이를 갖는 홈인 반사 장치
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제3항에서,상기 체결홈은 내부면 중 상기 관통부와 가장 가까운 면에 상기 플렉서를 장착하는 체결 블록을 구비하는 반사 장치
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제16항에서,상기 체결 블록은 상기 체결홈의 내부면 중 상기 반사부와 가장 가까운 면과 이격되는 상면을 갖는 반사 장치
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제16항에서,상기 체결 블록은 반사 장치의 측면과 가장 가까운 면에 상기 플렉서와 볼트 결합하기 위한 볼트홀을 구비하는 반사 장치
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