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연마부, 이동부, 그리고 상기 연마부와 상기 이동부 사이에 위치한 비구면 미러를 포함하며,상기 연마부는연마헤드 구동신호를 출력하는 제어부를 외부 또는 내부에 갖는 마운트,상기 마운트에 장착되는 적어도 하나의 연마부자석 및상기 마운트의 하단에 위치하며 상기 연마헤드 구동신호에 의해 구동하는 연마모터의 동력을 받아 회전하여 상기 비구면 미러의 표면을 연마하는 연마헤드를 포함하고,상기 이동부는상기 연마부자석과 마주보게 위치하며 상기 연마부자석과 인력을 갖도록 극의 위치를 갖는 이동부자석,상기 이동부자석이 장착되고, 장착된 상기 이동부자석을 y축 방향으로 이동시키는 y축레일, 및상기 y축레일의 양단에 장착되고, 장착된 상기 y축레일을 x축 방향으로 이동시키는 x축레일을 포함하며,상기 이동부는 상기 x축레일 및 상기 y축레일의 구동에 따라 상기 이동부자석의 위치가 이동될 때, 상기 연마부자석이 상기 이동부자석과의 자성에 의해 상기 이동부자석을 따라 이동하여 상기 연마부를 이동시키고,상기 연마부와 상기 이동부는 각각 엔코더(encorder) 및 프로브 카드(probe card) 중 적어도 하나를 장착하여 상기 자신의 위치를 측정하는 연마 장치
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제1항에서,상기 마운트는 상기 제어부가 외부에 위치 할 때, 유선 또는 무선으로 연결하기 위해 통신부를 더 포함하는 연마 장치
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제1항에서,상기 연마부자석은 상기 마운트의 외주면에 복수개가 서로 마주보게 장착되는 연마 장치
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제3항에서,상기 이동부자석은 상기 비구면 미러를 사이에 두고 상기 연마부자석과 자성을 유지하는 거리 내에 위치하는 연마 장치
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제1항에서,상기 연마부자석은 상기 마운트의 상면에 장착되는 연마 장치
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제5항에서,상기 이동부는 상기 연마부 상단에 상기 연마부자석과 상기 이동부자석이 자성을 유지하는 거리 내에 위치하는 연마 장치
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제1항에서,상기 y축레일은 상기 이동부자석의 이송을 위해 리니어 모터(linear motor), 볼스크류(ball screw) 및 구동 벨트(belt) 중 어느 하나를 장착하여 구동하는 연마 장치
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제1항에서,상기 x축레일은 상기 y축레일의 이송을 위해 두 개의 상기 x축레일 중 적어도 하나에 리니어 모터(linear motor), 볼스크류(ball screw) 및 구동 벨트(belt) 중 어느 하나를 장착하여 구동하는 연마 장치
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제1항에서,상기 연마부와 이동부는 적어도 한 쌍으로 이루어지는 연마 장치
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제1항에서,상기 이동부는 상기 비구면 미러와 상기 연마부를 사이에 두고 상단과 하단에 모두 위치하는 연마 장치
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제12항에서,상기 비구면 미러의 하단에 위치하는 이동부에 의해 구동되는 연마부는 마운트 상단에 판을 더 구비하여 상기 연마부 상단에 위치하는 이동부자석의 자성을 막는 연마 장치
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제1항에서,상기 비구면 미러는 판으로 형성된 판 비구면 미러, 조각으로 형성된 조각 비구면 미러 중 적어도 하나인 연마 장치
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