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반사 광학계의 조립방법에 있어서, a) 중앙홀을 구비한 주경을 베이스 플레이트에 연결하는 주경부 조립 단계;b) 상기 조립된 주경부의 베이스 플레이트와 상기 주경으로부터 광축 방향으로 일정 거리 이격된 부경 베이스를 서로 연결하는 복수의 트러스를 형성하는 트러스 구조체 조립 단계;c) 상기 트러스 구조체의 부경 베이스에 부경을 포함하는 부경부를 결합하는 부경부 결합 단계;d) 상기 부경부 결합 단계에 의해 결합된 부경부를 광학 정렬하는 부경부 정렬 단계; 및 e) 상기 광학 정렬된 부경부를 최종적으로 고정시키는 부경부 고정 단계;를 포함하되,상기 (e) 단계는,e1) 제1 본드 주입구를 통과한 본드에 의해 베젤과 베젤 본딩 디스크를 조립하는 단계; e2) 제2 본드 주입구를 통과한 본드에 의해 베젤 본딩 디스크 고정부와 상기 베젤 본딩 디스크를 조립하고 상기 부경 베이스에 고정되는 단계; 및e3) 상기 본드를 경화(curing)하는 단계;를 포함하여 이루어지는 반사 광학계의 조립방법
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제1항에 있어서, 상기 (a) 단계는, 주경 센터링 지그를 이용하여 상기 주경의 센터와 높이를 맞춘 상태에서 상기 주경을 상기 베이스 플레이트에 연결하는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제2항에 있어서, 상기 주경과 상기 베이스 플레이트는 그 사이에 위치되도록 구성된 복수의 주경 플렉서(flexure)에 의하여 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제2항에 있어서, 상기 주경부 조립시, 상기 베이스 플레이트의 받침대 역할을 하도록 구성된 광축방향 베이스 플레이트 지그를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제1항에 있어서, 상기 (b) 단계는,b1) 상기 주경의 중앙홀에 센터링 로드의 일단부를 결합하는 단계; 및b2) 상기 센터링 로드의 타단부에 상기 부경 베이스를 조립하고, 상기 베이스 플레이트와 상기 부경 베이스를 상기 복수의 트러스에 의해 연결하는 단계를 포함하여 이루어지는 반사 광학계의 조립방법
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제5항에 있어서, 상기 (b1) 단계는,상기 주경이 조립된 베이스 플레이트를 뒤집어 복수의 베이스 플레이트 서포트 지그(base plate support jig)에 올리는 것을 포함하는 반사 광학계의 조립방법
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제6항에 있어서, 상기 복수의 베이스 플레이트 서포트 지그는 베이스 플레이트 서포트 지그 베이스와 미리 조립되어 있는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제6항에 있어서, 상기 센터링 로드를 상기 베이스 플레이트의 중앙홀에 삽입하여 체결하고, 체결시 상기 주경과의 충돌을 방지하도록 프로텍터 로드를 사용하는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제6항에 있어서, 상기 (b2)는,상기 트러스의 일단이 상기 베이스 플레이트에 결합된 복수의 트러스 베이스에, 상기 트러스의 타단이 상기 부경 베이스에 결합되는 것에 의해 트러스 연결되는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제8항에 있어서, 상기 센터링 로드 및 상기 프로텍터 로드는 상기 복수의 트러스 연결 후 제거되는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제1항에 있어서, 상기 (c) 단계에서의 부경부는 부경 및 상기 부경에 체결수단에 의해 결합되도록 구성된 부경 베젤을 포함하고, 상기 부경과 부경 베젤의 조립은 부경 서포트 지그 상에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제1항에 있어서, 상기 (c) 단계는 광학 테이블로부터 돌출 형성되고 상기 트러스 구조체를 지지하도록 구성된 복수의 포크 지그(fork jig) 상에서 수행되는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제1항에 있어서, 상기 (d) 단계에서의 부경부 광학 정렬은 부경 베이스에 조립되는 정렬치구에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제13항에 있어서, 상기 정렬치구는 센터 정렬기에 조립되어 상기 부경부의 디센터(decenter)와 병진이동(translation)을 위한 센터 크로스 지그를 포함하는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제14항에 있어서, 상기 디센터는 볼트 조정을 통하여 이루어지고, 광축 방향으로의 병진 이동은 상기 센터 크로스 지그의 광축 방향 전후진에 의해 조정되는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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제13항에 있어서, 상기 부경부 광학 정렬 중 틸트는 스크류를 조정하여 베젤본딩 디스크가 센터 볼을 기준으로 회전됨에 의하여 x축에 대한 회전 및 y축에 대한 회전이 조정되는 것을 특징으로 하는 반사 광학계의 조립방법
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반사 광학계로서, 제1항 내지 제16항 중 어느 한 항에 의한 반사 광학계의 조립방법에 의해 조립된 반사 광학계
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반사 광학계 조립용 치구로서, 제13항 내지 제16항 중 어느 한 항에 의한 반사 광학계의 조립방법에 사용되도록 구성된 반사 광학계 조립용 치구
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