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엘이디 박리 검사를 위한 엘이디 시료가 안치되는 인젝션 챔버를 구비하고, 상기 인젝션 챔버에 헬륨 가스를 주입하고, 상기 인젝션 챔버에 질소 가스를 주입하여 상기 엘이디 시료를 제외한 상기 인젝션 챔버 내부 공간의 잔류 헬륨 가스를 배기시키는 인젝션부; 및상기 헬륨 가스의 주입이 완료된 엘이디 시료가 안치되는 디텍팅 챔버를 구비하고, 상기 디텍팅 챔버에 안치된 상기 엘이디 시료 내부의 잔류 헬륨 가스를 검출하고, 상기 검출된 잔류 헬륨 가스량과 상기 인젝션 챔버를 통해 주입된 헬륨 가스량을 비교하고, 상기 비교에 따른 헬륨 가스량의 차이에 기초하여 상기 엘이디 박리 여부를 검사하는 디텍팅부를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 박리 검사를 위한 헬륨 가스 디텍팅 장치
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제1항에 있어서,상기 인젝션부는에어 실린더의 공압 방식을 통해 상기 인젝션 챔버의 압력을 유지하는 압력 유지 장치;상기 에어 실린더의 동작을 위한 제1 및 제2 동작 버튼;상기 에어 실린더의 동작 종료를 위한 종료 버튼;상기 헬륨 가스의 전달 경로를 세팅하여 상기 인젝션 챔버에 상기 헬륨 가스를 주입하기 위한 헬륨 가스 봄베; 및상기 인젝션 챔버 내부의 공기 흐름 순환 경로를 형성하여 상기 인젝션 챔버에 질소 가스를 주입하기 위한 질소 가스 봄베를 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 박리 검사를 위한 헬륨 가스 디텍팅 장치
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제1항에 있어서,상기 디텍팅부에 의해 검출된 상기 잔류 헬륨 가스의 양에 관한 데이터를 수신하여 모니터 화면에 표시하는 모니터링부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 박리 검사를 위한 헬륨 가스 디텍팅 장치
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제6항에 있어서,상기 모니터링부는상기 디텍팅부의 디텍팅 머신으로부터 상기 엘이디 시료의 박리 여부에 관한 검사 결과를 수신하여 상기 모니터 화면에 표시하는 것을 특징으로 하는 엘이디 박리 검사를 위한 헬륨 가스 디텍팅 장치
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제7항에 있어서,상기 모니터링부는상기 디텍팅 머신과 RS232C 통신을 수행하는 것을 특징으로 하는 엘이디 박리 검사를 위한 헬륨 가스 디텍팅 장치
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제1항에 있어서,상기 인젝션부를 제어하여 상기 헬륨 가스의 주입 압력 및 질소 가스의 주입량을 조절하는 컨트롤부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 엘이디 박리 검사를 위한 헬륨 가스 디텍팅 장치
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제9항에 있어서,상기 컨트롤부는기구적 레귤레이팅 밸브 장치를 통해, 상기 인젝션부에 의한 상기 헬륨 가스 주입 시 압력의 정밀도를 높이고 상기 질소 가스 주입량의 정밀도를 높이는 것을 특징으로 하는 엘이디 박리 검사를 위한 헬륨 가스 디텍팅 장치
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