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실시간으로 반도체 소자의 불량 여부를 검사할 수 있는고온 역바이어스 테스트 장비

  • 기술번호 : KST2015223035
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 반도체 소자의 테스트 장비에 관한 것으로, 보다 구체적으로 반도체를 출하하기 전 반도체 소자에 고온의 역바이어스를 인가하여 반도체 소자의 성능 신뢰성을 테스트하기 위한 장비에 관한 것이다.본 발명에 따른 고온 역바이어스 테스트 장비는 소정 주기마다 반도체 소자에 흐르는 누설 전류의 크기를 측정함으로써, 실시간으로 반도체 소자의 불량 여부를 판단할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 고온 역바이어스 테스트 장비는 다양한 테스트 이력을 포함하는 테스트 결과 신호를 통해 불량이 발생한 반도체 소자의 불량 발생 조건을 쉽게 알아볼 수 있다. HTRB, 고온 역바이어스, 반도체 소자, 신뢰성
Int. CL G01R 31/02 (2014.01) H01L 21/66 (2014.01) G01R 31/26 (2014.01)
CPC G01R 31/2875(2013.01) G01R 31/2875(2013.01)
출원번호/일자 1020070063100 (2007.06.26)
출원인 용인송담대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2008-0113987 (2008.12.31) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2007.06.26)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 용인송담대학교 산학협력단 대한민국 경기도 용인시 처인구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 신이균 대한민국 경기 안양시 동안구
2 이정재 대한민국 인천 부평구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 특허출원서
Patent Application
2007.06.26 수리 (Accepted) 1-1-2007-0464753-55
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2007.08.29 수리 (Accepted) 1-1-2007-0628404-38
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2008.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2008.08.12 수리 (Accepted) 9-1-2008-0050660-52
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2008.10.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0540149-30
6 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2008.12.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2008-0648716-17
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.01.24 수리 (Accepted) 4-1-2013-5014790-30
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2018-0005603-55
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.01.29 수리 (Accepted) 4-1-2018-5017238-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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복수의 존(zone)으로 구분되어 있으며 상기 복수의 존에 장착되어 있는 반도체 소자에 고온의 스트레스를 가하는 오븐, 상기 복수의 존에 장착되어 있는 반도체 소자의 불량 여부를 테스트하기 위해 역바이어스 전압을 인가하는 테스트부, 상기 인가된 역바이어스 전압에 따라 반도체 소자에서 흐르는 누설 전류를 측정하는 측정부 및 상기 복수 존의 온도와 상기 오븐에 장착되어 있는 반도체 소자에 인가되는 역바이어스 전압의 크기를 제어하며 상기 측정한 누설 전류의 크기에 기초하여 소정 포맷의 테스트 결과 신호를 생성하여 사용자 컴퓨터로 출력하는 제어부를 포함하는 고온 역바이어스 테스트 장비에 있어서,상기 제어부는 반도체 소자에 흐르는 누설 전류를 소정 주기마다 측정하여 테스트 결과 신호를 생성하고 상기 생성한 테스트 결과 신호를 상기 소정 주기마다 사용자 컴퓨터로 실시간으로 출력하는 것을 특징으로 하는 고온 역바이어스 테스트 장비
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제 1 항에 있어서, 상기 테스트 결과 신호는상기 반도체 소자의 테스트 시간, 상기 복수 존의 온도, 상기 반도체 소자에 인가된 역바이어스 전압의 크기, 상기 반도체 소자에서 흐르는 누설 전류의 크기를 포함하는 것을 특징으로 하는 고온 역바이어스 테스트 장비
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.