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애노드를 중심으로 양쪽에 각각 이격 되어 배열된 캐소드를 구비하는 새들 필드 이온원에 있어서, 애노드에 전압을 인가하고,양쪽의 캐소드들을 접지시켜 캐소드 개구를 통하여 이온빔을 인출하거나, 양쪽의 캐소드 중 어느 하나는 접지시키고, 다른 하나는 플로팅시켜, 플로팅 된 캐소드 쪽으로 집속된 이온 빔을 인출하는 것을 특징으로 하는 새들 필드 이온원
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제1항에 있어서, 상기 새들 필드 이온원은 구형 새들 필드 이온원, 실린더형 새들 필드 이온원 또는 와이어형 새들 필드 이온원임을 특징으로 하는 새들 필드 이온원
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제1항에 있어서, 양쪽의 캐소드 중 인출용(이온빔을 사용하고자하는 방향) 캐소드의 개구부를 대향 캐소드의 개구부에 비해 더 큰 개구부로 형성하여 이온 빔을 인출하게 하는 구조를 특징으로 하는 비대칭형 새들 필드 이온원
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제3항에 있어서, 상기 인출용 캐소드는 고깔형으로 형성하는 것을 특징으로 하는 비대칭형 새들 필드 이온원
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제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 인출용 캐소드는 대향 캐소드에 비해, 애노드와 더 가깝게 배치되는 것을 특징으로 하는 비대칭형 새들 필드 이온원
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제3항 또는 제4항에 있어서, 상기 애노드에는 고전압을 인가하고, 이온 빔 인출용을 위한 인출용 캐소드는 플로팅시키고, 반대편 대향 캐소드는 접지시키는 것을 특징으로 하는 비대칭형 새들 필드 이온원
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제5항에 있어서, 상기 애노드에는 고전압를 인가하고, 이온 빔 인출용 캐소드는 플로팅시키고, 대향 캐소드는 접지시키는 것을 특징으로 하는 비대칭형 새들 필드 이온원
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