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광센서용 산화아연 스퍼터링 타겟 제조 방법

  • 기술번호 : KST2015224528
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요약 본 발명은 광센서용 산화아연 스퍼터링 타겟 제조 방법으로서, 그 구성은 정량의 산화아연을 준비하고, 증류수 또는 아세톤과 혼합하는 과정과, 혼합된 물질을 분쇄 및 건조하는 과정과, 분쇄 및 건조된 분말을 하소(calcination)하는 과정과, 하소된 분말을 분쇄 및 체질(sieving)하는 과정과, 분말을 압축 성형하는 과정과, 소결 처리하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 결함이 억제된 타겟 제조 기술을 확보하고, 열처리와 하소 공정의 최적 조합으로 균일한 결정립을 갖는 타겟의 제조가 가능한 효과가 있다. 광센서, 산화아연, 스퍼터링, 타겟
Int. CL C23C 14/34 (2006.01) H01L 21/203 (2006.01) C04B 35/453 (2006.01) H01B 5/14 (2006.01)
CPC C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01) C23C 14/3414(2013.01)
출원번호/일자 1020090002849 (2009.01.14)
출원인 부산과학기술대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2010-0083464 (2010.07.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.01.14)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산과학기술대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 박기엽 대한민국 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김원춘 대한민국 전라남도 해남군 마산면 공룡대로 ****(하누리특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2009-0022566-48
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2009.12.22 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.01.15 수리 (Accepted) 9-1-2010-0004812-31
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.02.01 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0060498-16
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0240158-39
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.05.02 수리 (Accepted) 1-1-2011-0325576-26
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2011.06.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0412452-93
8 보정요구서
Request for Amendment
2011.06.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0051052-14
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.07.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0505377-14
10 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2011.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0435711-07
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.07.01 수리 (Accepted) 1-1-2011-0505414-16
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2012.01.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0025815-77
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2012-5140880-84
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2012.07.19 수리 (Accepted) 4-1-2012-5154761-21
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.10.25 수리 (Accepted) 4-1-2017-0054880-88
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
광센서용 산화아연 스퍼터링 타겟 제조 방법에 있어서, 정량의 산화아연과 산화알루미늄을 준비하고, 증류수 또는 아세톤과 혼합하 는 과정과, 상기 혼합된 물질을 분쇄 및 건조하는 과정과, 상기 분쇄 및 건조된 분말을 하소(calcination)하는 과정과, 상기 하소된 분말을 분쇄 및 체질(sieving)하는 과정과, 상기 분말을 압축 성형하는 과정과, 소결하는 과정을 포함하는 것을 특징으로 하는 광센서용 산화아연 스퍼터링 타겟 제조 방법
2 2
제1 항에 있어서, 상기 혼합 과정은, 순도 99
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.