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상압 플라즈마 화학기상 증착장치용 전극 어셈블리

  • 기술번호 : KST2015224561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 상압 플라즈마 화학기상 증착장치용 전극 어셈블리에 관한 것으로서, 특히 상압 플라즈마 화학기상 증착장치용 전극 어셈블리에 있어서, 직사각 형태로 형성되고, 고정 설치되어 초고주파 전원이 인가되는 전극 본체와; 절연 재질로 상기 전극 본체의 일측면에 고정 설치되고, 저면에 일자형의 슬릿 형태의 가스주입구가 형성되는 급기 매니 폴더; 및 절연 재질로 상기 전극 본체의 타측면에 고정 설치되고, 상기 급기 매니 폴더의 가스주입구를 통해 공급되는 반응 가스의 흐름을 형성시키도록 저면에 복수의 가스배출구가 형성되는 배기 매니 폴더를 포함하는 것을 특징으로 한다.상기와 같은 본 발명에 따르면 균일한 가스 주입을 위하여 일자형의 슬릿 형태의 가스주입구와, 배기구를 형성시켜 가스의 흐름을 생성시키고, 전극을 고정시킨 상태에서 하단의 기판을 스캔하며 증착시킴으로써 전극과 기판간 좁은 간극내에 원활하고 균일한 가스공급이 가능하여 고품질의 박막을 고속 성장시킬 수 있다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) C23C 16/448 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01)
CPC C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01) C23C 16/505(2013.01)
출원번호/일자 1020110064242 (2011.06.30)
출원인 재단법인 녹색에너지연구원
등록번호/일자 10-1299160-0000 (2013.08.16)
공개번호/일자 10-2013-0007193 (2013.01.18) 문서열기
공고번호/일자 (20130822) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.30)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 녹색에너지연구원 대한민국 전라남도 목포시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 임철현 대한민국 전라남도 목포시 옥암로***번
2 윤능구 대한민국 경기도 평택시 송탄로 **,
3 야스타케키요시 일본 일본국 오사카
4 카키우치 히로아키 일본 일본국 오사카
5 이석호 대한민국 전라남도 무안군
6 박주영 대한민국 전라남도 목포시

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 선종철 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 재단법인 녹색에너지연구원 전라남도 목포시
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0499993-32
2 보정요구서
Request for Amendment
2011.07.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0060410-67
3 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2011.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0517535-68
4 수수료 사후 감면 신청서
Request for Follow-up Reduction of Official Fee
2011.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0541816-01
5 수수료 사후 감면안내서
Notification of Follow-up Reduction of Official Fee
2011.07.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0064596-22
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.03.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.04.13 수리 (Accepted) 9-1-2012-0028284-54
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0093303-75
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.02.18 수리 (Accepted) 1-1-2013-0144149-78
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.02.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0144150-14
11 등록결정서
Decision to grant
2013.06.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0437020-28
12 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-5170319-74
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.15 수리 (Accepted) 4-1-2018-0012701-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
상압 플라즈마 화학기상 증착장치용 전극 어셈블리에 있어서,직사각 형태로 형성되고, 고정 설치되어 초고주파 전원이 인가되며, 저면에 일정 간극을 형성하도록 테이블 또는 기판 홀더 상에 기판을 위치시키고, 상기 기판을 일방향으로 슬라이딩시켜 상기 기판 상면에 박막을 증착시키는 전극 본체와;절연 재질로 상기 전극 본체의 일측면에 고정 설치되고, 저면에 일자형의 슬릿 형태의 가스주입구가 형성되며, 가스 공급관을 통해 상기 가스주입구 내부로 반응 가스를 주입할 수 있도록 상면 또는 일측면에 상기 가스 공급관과 연통되는 제 1가이드홀이 형성되는 급기 매니 폴더; 및절연 재질로 상기 전극 본체의 타측면에 고정 설치되고, 상기 급기 매니 폴더의 가스주입구를 통해 공급되는 반응 가스의 흐름을 형성시키도록 저면에 복수의 가스배출구가 형성되며, 가스 배출관을 통해 상기 가스배출구 내부로 반응 가스를 배출시킬 수 있도록 상면 또는 일측면에 상기 가스 배출관과 연통되는 제 2가이드홀이 형성되는 배기 매니 폴더를 포함하는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 화학기상 증착장치용 전극 어셈블리
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3 3
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제 1 항에 있어서,상기 급기 매니 폴더의 가스주입구는,상기 기판에 분사되는 반응 가스의 균일하면서 고속으로 분사가 이루어지도록 그 폭을 0
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삭제
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제 1 항에 있어서,상기 배기 매니 폴더의 가스배출구는,상기 전극 본체와 기판 사이에서 반응하여 증착된 박막을 제외한 반응 부산물의 배출될 수 있도록 지름이 1~5mm로 형성되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 화학기상 증착장치용 전극 어셈블리
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제 1 항에 있어서,상기 일정 간극은,수십㎛~수십㎜로 유지되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 화학기상 증착장치용 전극 어셈블리
8 8
제 1 항에 있어서,상기 전극 본체는,수냉식 냉각이 적용되는 것을 특징으로 하는 상압 플라즈마 화학기상 증착장치용 전극 어셈블리
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.