맞춤기술찾기

이전대상기술

타겟의 소진 효율을 향상시키기 위한 스퍼터링 타겟 어셈블리

  • 기술번호 : KST2015224564
  • 담당센터 :
  • 전화번호 :
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 타겟의 소진 효율을 향상시키기 위한 스퍼터링 타겟 어셈블리에 관한 것으로서, 특히 원기둥형 또는 직육면체 형태로 형성되는 타겟과; 상기 타겟이 내부에 수납되도록 "凹" 형태로 형성되고, 탈부착이 용이하도록 상기 타겟과 금속 페이스트에 의해 접착되는 배킹 플레이트; 및 상기 배킹 플레이트의 상단 테두리에 결합되어 상기 배킹 플레이트에 전력을 공급하는 전력공급장치와 연결을 위한 커버를 포함하는 것을 특징으로 한다.상기와 같은 본 발명에 따르면 배킹 플레이트로 타겟의 전면을 제외한 부분을 모두 감싸고, 배킹 플레이트의 상단 테두리에 전력공급장치의 커버를 결합함으로써 타겟의 전면을 완전 노출시켜 타겟의 소진시 타겟을 완전 소진시켜 재료의 소실을 최소화시킬 수 있다.
Int. CL C23C 14/34 (2006.01)
CPC C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/34(2013.01)
출원번호/일자 1020110064238 (2011.06.30)
출원인 재단법인 녹색에너지연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2013-0003149 (2013.01.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2011.06.30)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 재단법인 녹색에너지연구원 대한민국 전라남도 목포시

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 이석호 대한민국 전라남도 무안군
2 백수웅 대한민국 광주광역시 광산구
3 송승헌 대한민국 전라남도 목포시 통일대로**번길
4 임철현 대한민국 전라남도 목포시 옥암로***번
5 박주영 대한민국 전라남도 목포시

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 선종철 대한민국 서울특별시 강남구 논현로**길 **, *층(역삼동, 삼화빌딩)(특허법인 두성)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2011.06.30 수리 (Accepted) 1-1-2011-0499989-59
2 보정요구서
Request for Amendment
2011.07.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0060408-75
3 [출원서등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2011.07.07 수리 (Accepted) 1-1-2011-0517533-77
4 수수료 사후 감면 신청서
Request for Follow-up Reduction of Official Fee
2011.07.14 수리 (Accepted) 1-1-2011-0541811-73
5 수수료 사후 감면안내서
Notification of Follow-up Reduction of Official Fee
2011.07.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2011-0064644-26
6 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2012.09.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
7 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2012.11.06 수리 (Accepted) 9-1-2012-0083084-53
8 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2012.12.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2012-0758133-39
9 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2013.02.21 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0119148-93
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2013.12.17 수리 (Accepted) 4-1-2013-5170319-74
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.15 수리 (Accepted) 4-1-2018-0012701-96
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
원기둥형 또는 직육면체 형태로 형성되는 타겟과;상기 타겟이 내부에 수납되도록 "凹" 형태로 형성되고, 탈부착이 용이하도록 상기 타겟과 금속 페이스트에 의해 접착되는 배킹 플레이트; 및상기 배킹 플레이트의 상단 테두리에 결합되어 상기 배킹 플레이트에 전력을 공급하는 전력공급장치와 연결을 위한 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 타겟의 소진 효율을 향상시키기 위한 스퍼터링 타겟 어셈블리
2 2
제 1 항에 있어서,상기 배킹 플레이트는,동일 금속 재질로 형성되거나 이종 금속 재질을 상호 결합하여 형성되는 것을 특징으로 하는 타겟의 소진 효율을 향상시키기 위한 스퍼터링 타겟 어셈블리
3 3
제 2 항에 있어서,이종 금속 재질을 상호 결합하여 형성되는 상기 배킹 플레이트는,상기 타겟이 수납되는 원통형의 본체와;상기 본체와 이종 금속 재질로 형성되고, 상기 본체의 저면과 금속 페이스트에 의해 접합되는 하판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 타겟의 소진 효율을 향상시키기 위한 스퍼터링 타겟 어셈블리
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.