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n형 실리콘 웨이퍼이고, 전기화학에칭 기법으로 상부 기공층과, 상기 상부 기공층의 기공율보다 기공율이 높게 하부 기공층을 형성시킨 후 1000~1200℃ 사이 수소분위기에서 열처리된 시드층에서 그 두께가 1~80㎛인 n형 단결정 실리콘이 주파수가 20~150㎒, 원료가스로 모노실란(SiH4) 가스, 삼염화실란(SiHCl3), 사불화실리콘(SiF4)중 선택된 어느 하나의 가스로 이용하고, 반응가스로 수소(H2)를 이용하여 수행하는 상압 플라즈마 화학기상증착 기법에 의해 증착된 후 레이어 트랜스퍼(layer transfer) 기법으로 상기 시드층에서 분리된 박막 필름과, 상기 박막 필름의 일측면 상에 증착되는 제 1진성 실리콘층과, 상기 제 1진성 실리콘층 상에 증착되는 제 1실리콘층과, 상기 박막 필름의 타측면 상에 증착되는 제 2진성 실리콘층 및 상기 제 2진성 실리콘층 상에 증착되는 제 2실리콘층으로 구성된 광전 변환부와;상기 광전 변환부 상에 각각 증착되는 제 1, 2투명 전극층과;상기 제 1, 2투명 전극층 상에 각각 증착되는 제 1, 2전극; 및상기 제 1전극의 상면에 적층되는 유리 기판으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 제 1진성 실리콘층은,비정질 실리콘인 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 제 1실리콘층은,p형 비정질 실리콘인 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 제 2진성 실리콘층은,비정질 실리콘인 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 제 2실리콘층은,n+형 비정질 실리콘인 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 유리 기판은,일측면에 상기 제 1진성 실리콘층과, 제 1실리콘층과, 제 1투명 전극층 및 제 1전극을 구비하는 상기 박막 필름을 부착하되, 상기 제 1전극이 일면과 면접하도록 하는 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지
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제 13 항에 있어서,상기 박막 필름은,상기 유리 기판에 부착된 상태에서 상기 시드층이 제거된 타측면에 상기 제 2진성 실리콘층과, 제 2실리콘층과, 제 2투명 전극층 및 제 2전극을 순차적으로 적층시키는 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지
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제 1 항의 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지의 제조 방법에 있어서,n형 실리콘 웨이퍼이고, 전기화학에칭 기법으로 상부 기공층과, 상기 상부 기공층의 기공율보다 기공율이 높게 하부 기공층을 형성시킨 후 1000~1200℃ 사이 수소분위기에서 열처리된 시드층에서 그 두께가 1~80㎛인 n형 단결정 실리콘이 주파수가 20~150㎒, 원료가스로 모노실란(SiH4) 가스, 삼염화실란(SiHCl3), 사불화실리콘(SiF4)중 선택된 어느 하나의 가스로 이용하고, 반응가스로 수소(H2)를 이용하여 수행하는 상압 플라즈마 화학기상증착 기법에 의해 박막 필름을 증착시키는 제 1공정과;상기 박막 필름의 일측면 상에 제 1진성 실리콘층을 증착시키는 제 2공정과;상기 제 1진성 실리콘층의 상면에 제 1실리콘층을 증착시키는 제 3공정과;상기 제 1실리콘층 상에 제 1투명 전극층을 증착시키는 제 4공정과;상기 제 1투명 전극층을 제 1전극을 증착시키는 제 5공정과;상기 제 1진성 실리콘층과, 제 1실리콘층과, 제 1투명 전극층 및 제 1전극이 증착된 상기 박막 필름을 유리 기판에 부착하되 상기 제 1전극이 상기 유리 기판과 면접되도록 부착하는 제 6공정과;상기 시드층을 레이어 트랜스퍼(layer transfer) 기법으로 상기 박막 필름에서 분리하여 제거하는 제 7공정과;상기 시드층이 제거된 상기 박막 필름의 타측면 상에 제 2진성 실리콘층을 증착시키는 제 8공정과;상기 제 2진성 실리콘층의 상면에 제 2실리콘층을 증착시키는 제 9공정과;상기 제 2실리콘층 상에 제 2투명 전극층을 증착시키는 제 10공정; 및상기 제 2투명 전극층에 제 2전극을 증착시키는 제 11공정으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 제 1진성 실리콘층은,비정질 실리콘인 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 제 1실리콘층은,p형 비정질 실리콘인 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 제 2진성 실리콘층은,비정질 실리콘인 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지의 제조 방법
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제 15 항에 있어서,상기 제 2실리콘층은,n+형 비정질 실리콘인 것을 특징으로 하는 실리콘 에피 박막을 구비하는 이종 접합 태양전지의 제조 방법
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