요약 | 본 발명은 전력 MOSFET에 관한 것으로 deep trench filling 기술을 이용하여 super junction을 형성하는 것에 관한 것이다.상기와 같이 구성된 본 발명에 따르면 600 V급 planar MOSFET 보다 super junction MOSFET 소자로 저전력 구현이 가능하고 전압 인가 시, 보다 더 높은 동작특성을 가지는 효과가 있다. |
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Int. CL | H01L 29/78 (2006.01.01) H01L 21/336 (2006.01.01) |
CPC | H01L 29/0634(2013.01) |
출원번호/일자 | 1020120056194 (2012.05.25) |
출원인 | 극동대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | |
공개번호/일자 | 10-2013-0132085 (2013.12.04) 문서열기 |
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국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 취하 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | N |
심사청구항수 | 1 |