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CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 방법 및 장치

  • 기술번호 : KST2015225289
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치 및 방법을 공개한다. 본 발명은 기설정된 개수의 CMOS 이미지 센서가 정렬된 정렬 CMOS 이미지 센서를 이용하여 대면적 CMOS 이미지 센서를 구현하기 위해, 복수개의 CMOS 이미지 센서 각각의 픽셀 어레이 가장자리로부터 절단면까지의 거리를 측정하여 측정값을 획득하고, 획득된 측정값에 근거하여, 복수개의 CMOS 이미지 센서들이 정렬 CMOS 이미지 센서의 CMOS 이미지 센서들의 정렬 구조에 따라 배치될 때, 인접하여 배치되는 CMOS 이미지 센서들의 픽셀 어레이 사이의 간격이 픽셀 어레이를 구성하는 픽셀의 크기이하로 배치되어 정렬 CMOS 이미지 센서를 구성할 수 있는지 판별하는 것을 특징한다. 따라서 반도체 CMOS 공정을 통해 제작되는 복수개의 CMOS 이미지 센서를 정렬 조건을 검수하여 고해상도, 고감도의 대면적 CMOS 이미지 센서로서 활용할 수 있는 지 여부를 사전에 판별하므로, 작은 크기의 CMOS 이미지 센서를 사용하여 대면적 디지털 방사선 이미지 시스템을 구현할 수 있도록 한다.
Int. CL H01L 27/146 (2006.01) H01L 21/66 (2006.01)
CPC H01L 21/681(2013.01) H01L 21/681(2013.01) H01L 21/681(2013.01) H01L 21/681(2013.01)
출원번호/일자 1020120103537 (2012.09.18)
출원인 (재) 전북테크노파크
등록번호/일자 10-1270859-0000 (2013.05.28)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20130610) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2012.09.18)
심사청구항수 16

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (재) 전북테크노파크 대한민국 전북 전주시 덕진구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김병욱 대한민국 전라북도 전주시 덕진구
2 권영만 대한민국 전라북도 익산시
3 윤권하 대한민국 전북 익산시 선화로**길 **

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 다해 대한민국 서울특별시 강남구 삼성로***, *층(삼성동,고운빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 (재) 전북테크노파크 전북 전주시 덕진구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2012.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2012-0756398-27
2 [우선심사신청]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Preferential Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2012.09.21 수리 (Accepted) 1-1-2012-0768949-11
3 [우선심사신청]선행기술조사의뢰서
[Request for Preferential Examination] Request for Prior Art Search
2012.09.24 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2012.09.25 수리 (Accepted) 1-1-2012-0780075-04
5 [우선심사신청]선행기술조사보고서
[Request for Preferential Examination] Report of Prior Art Search
2012.09.28 수리 (Accepted) 9-1-2012-0075213-14
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2013.01.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0028928-87
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.02.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0179255-18
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.02.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2013-0179256-64
9 최후의견제출통지서
Notification of reason for final refusal
2013.04.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0277051-24
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2013.04.25 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2013-0363435-57
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2013.04.25 수리 (Accepted) 1-1-2013-0363433-66
12 등록결정서
Decision to grant
2013.05.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2013-0357125-69
13 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2013.05.28 수리 (Accepted) 1-1-2013-0473033-19
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2014.01.15 수리 (Accepted) 4-1-2014-0002956-93
15 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.07.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0692615-31
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기설정된 개수의 CMOS 이미지 센서가 정렬된 정렬 CMOS 이미지 센서를 구현하기 위해, 복수개의 CMOS 이미지 센서에 각각에 대해서 비전 검사를 수행하여, 상기 복수개의 CMOS 이미지 센서 각각의 픽셀 어레이 가장자리로부터 상기 CMOS 이미지 센서의 절단면까지의 거리를 측정하여 측정값을 획득하는 비전 검사 장치; 및 상기 비전 검사 장치에서 획득한 상기 측정값을 저장하고, 저장된 상기 복수개의 CMOS 이미지 센서 각각에 대한 상기 측정값에 따라 상기 복수개의 CMOS 이미지 센서를 상기 정렬 CMOS 이미지 센서의 CMOS 이미지 센서 정렬 구조에 따라 가상으로 정렬하고, 가상으로 정렬된 상기 CMOS 이미지 센서 중 인접하여 배치되는 상기 CMOS 이미지 센서들의 상기 픽셀 어레이 사이의 간격이 상기 픽셀 어레이를 구성하는 복수개의 픽셀 중 1 픽셀의 크기 이하로 배치되어 상기 정렬 CMOS 이미지 센서를 구성할 수 있는지 판별하는 제어부를 포함하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
2 2
삭제
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제1 항에 있어서, 상기 비전 검사 장치는 상기 CMOS 이미지 센서의 상기 픽셀 어레이의 각 변에서 절단면까지의 직선 거리를 측정하여 상기 측정값으로 상단 측정값, 하단 측정값, 좌측단 측정값 및 우측단 측정값의 4개의 측정값을 획득하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
4 4
제3 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 좌측단 측정값과 상기 우측단 측정값을 비교하여 작은 측정값에 대응하는 위치에 다른 CMOS 이미지 센서가 인접하여 배치될 수 있도록 상기 CMOS 이미지 센서의 위치를 정렬하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
5 5
제4 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 상단 측정값과 상기 하단 측정값을 비교하여 작은 측정값에 대응하는 위치에 다른 CMOS 이미지 센서가 인접하여 배치될 수 있도록 상기 CMOS 이미지 센서의 위치를 정렬하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
6 6
제5 항에 있어서, 상기 제어부는 가로로 서로 인접하여 배치되는 상기 CMOS 이미지 센서들의 상기 픽셀 어레이 사이의 간격이 상기 픽셀 어레이를 구성하는 복수개의 픽셀 중 1 픽셀의 가로 크기 이하로 배치 가능한 경우에, 상기 CMOS 이미지 센서들을 정렬 CMOS 이미지 센서로 사용할 수 있는 것으로 판별하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
7 7
제6 항에 있어서, 상기 제어부는 세로로 서로 인접하여 배치되는 상기 CMOS 이미지 센서들의 상기 픽셀 어레이 사이의 간격이 상기 픽셀 어레이를 구성하는 복수개의 픽셀 중 1 픽셀의 세로 크기 이하로 배치 가능한 경우에, 상기 CMOS 이미지 센서들을 정렬 CMOS 이미지 센서로 사용할 수 있는 것으로 판별하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
8 8
제5 항에 있어서, 상기 센서 비전 장치는 상기 CMOS 이미지 센서의 상기 픽셀 어레이의 각 변의 양단으로부터 절단면까지의 직선 거리를 측정하여 상기 각 변당 2개씩의 측정값을 획득하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
9 9
제8 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 각 변당 2개씩의 측정값 각각의 평균값을 상기 상단 측정값, 하단 측정값, 좌측단 측정값 및 우측단 측정값으로 설정하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
10 10
제8 항에 있어서, 상기 제어부는 상기 각 변당 2개씩의 측정값 각각에서 큰 값을 상기 상단 측정값, 하단 측정값, 좌측단 측정값 및 우측단 측정값으로 설정하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
11 11
제1 항에 있어서, 상기 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치는 상기 복수개의 CMOS 이미지 센서가 적재되는 센서 로딩 장치; 상기 센서 로딩 장치에 적재된 상기 복수개의 CMOS 이미지 센서 중 검수가 수행될 CMOS 이미지 센서를 선택하여 이송하는 센서 이송 장치; 및 상기 센서 이송 장치가 이송한 상기 CMOS 이미지 센서가 거치되어 상기 비전 검사 장치가 상기 CMOS 이미지 센서에 대한 비전 검사를 수행할 수 있도록 하는 작업 스테이지;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
12 12
제1 항에 있어서, 상기 복수개의 CMOS 이미지 센서는 동일한 제조 공정으로 제조되는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치
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기설정된 개수의 CMOS 이미지 센서가 정렬된 정렬 CMOS 이미지 센서를 구현하기 위해, CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사를 수행하는 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 장치의 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 방법에 있어서, 상기 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 방법은,상기 복수개의 CMOS 이미지 센서에 각각에 대해 비전 검사를 수행하여, 복수개의 CMOS 이미지 센서 각각의 픽셀 어레이 가장자리로부터 절단면까지의 거리를 상기 픽셀 어레이의 각 변에서 상기 CMOS 이미지 센서의 절단면까지의 직선거리를 측정하여 측정값으로 상단 측정값, 하단 측정값, 좌측단 측정값 및 우측단 측정값의 4개의 측정값을 획득하는 단계; 상기 획득된 측정값에 근거하여, 상기 복수개의 CMOS 이미지 센서들이 상기 정렬 CMOS 이미지 센서의 상기 CMOS 이미지 센서들의 정렬 구조에 대응하여 정렬될 위치를 선택하는 단계; 상기 정렬된 CMOS 이미지 센서와 인접하여 배치되는 상기 CMOS 이미지 센서들의 상기 픽셀 어레이 사이의 간격이 상기 픽셀 어레이를 구성하는 복수개의 픽셀 중 1 픽셀의 크기이하인지 판별하는 단계; 및 상기 픽셀 어레이 사이의 간격이 상기 1픽셀 크기 이하이면, 상기 CMOS 이미지 센서의 정렬 위치를 저장하는 단계; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 방법
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삭제
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삭제
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제13 항에 있어서, 상기 정렬될 위치를 선택하는 단계는 상기 좌측단 측정값과 상기 우측단 측정값을 비교하여 작은 측정값에 대응하는 위치에 다른 CMOS 이미지 센서가 인접하여 배치될 수 있도록 상기 CMOS 이미지 센서의 위치를 선택하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 방법
17 17
제16 항에 있어서, 상기 정렬될 위치를 선택하는 단계는 상기 상단 측정값과 상기 하단 측정값을 비교하여 작은 측정값에 대응하는 위치에 다른 CMOS 이미지 센서가 인접하여 배치될 수 있도록 상기 CMOS 이미지 센서의 위치를 선택하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 방법
18 18
제17 항에 있어서, 상기 1 픽셀의 크기이하인지 판별하는 단계는 가로로 서로 인접하여 배치되는 상기 CMOS 이미지 센서들의 상기 픽셀 어레이 사이의 간격이 상기 픽셀 어레이를 구성하는 복수개의 픽셀 중 1 픽셀의 가로 크기 이하인지 판별하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 방법
19 19
제18 항에 있어서, 상기 1 픽셀의 크기이하인지 판별하는 단계는 세로로 서로 인접하여 배치되는 상기 CMOS 이미지 센서들의 상기 픽셀 어레이 사이의 간격이 상기 픽셀 어레이를 구성하는 복수개의 픽셀 중 1 픽셀의 세로 크기 이하인지 판별하는 것을 특징으로 하는 CMOS 이미지 센서들의 정렬 가능 여부를 판별하기 위한 CMOS 이미지 센서들의 정밀 정렬 검사 방법
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