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히터 코일 코팅 장치 및 방법(Apparatus and method for coating a heater coil)

  • 기술번호 : KST2015225625
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 히터 코일 코팅 장치는 코팅 공정을 수행하기 위한 내부 공간을 가지며, 히터 코일을 수용하는 공정 챔버와, 상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일의 내부에 배치되어 상기 히터 코일을 지지하는 제1 타겟과, 상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일을 둘러싸도록 배치되는 제2 타겟과, 상기 공정 챔버 내부로 가스를 공급하는 가스 공급부와, 상기 가스가 플라즈마 상태로 여기되어 상기 제1 타켓 또는 상기 제2 타겟과 충돌하도록 상기 제1 타겟 또는 상기 제2 타겟에 전압을 인가하는 전원부 및 상기 히터 코일의 내측면과 외측면에 막이 각각 증착되도록 상기 전원부가 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟에 각각 상기 전압을 인가하도록 제어하는 제어부를 포함할 수 있다. 따라서, 상기 히터 코일 코팅 장치는 상기 히터 코일의 표면 전체를 코팅할 수 있다.
Int. CL C23C 14/32 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01)
CPC C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01) C23C 14/32(2013.01)
출원번호/일자 1020140052069 (2014.04.30)
출원인 고려대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1618432-0000 (2016.04.28)
공개번호/일자 10-2015-0125170 (2015.11.09) 문서열기
공고번호/일자 (20160504) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.04.30)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권오명 대한민국 서울특별시 도봉구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이동건 대한민국 서울특별시 강남구 논현로***길 *, *층 ***호 (논현동)(차암특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 고려대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 성북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.04.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0412973-72
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.04 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2015-0076295-91
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.10.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0693546-38
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.12.07 수리 (Accepted) 1-1-2015-1193062-35
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2016.01.07 수리 (Accepted) 1-1-2016-0018163-44
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.02.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0132280-29
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.02.11 수리 (Accepted) 1-1-2016-0132291-21
9 등록결정서
Decision to grant
2016.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0286528-15
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.10.10 수리 (Accepted) 4-1-2019-5210941-09
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
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코팅 공정을 수행하기 위한 내부 공간을 가지며, 히터 코일을 수용하는 공정 챔버;상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일의 내부에 배치되어 상기 히터 코일을 지지하는 제1 타겟;상기 히터 코일과 이격되며 상기 히터 코일을 둘러싸도록 배치되는 제2 타겟;상기 공정 챔버 내부로 가스를 공급하는 가스 공급부;상기 가스가 플라즈마 상태로 여기되어 상기 제1 타켓 또는 상기 제2 타겟과 충돌하도록 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟에 전압을 선택적으로 인가하는 전원부; 및상기 히터 코일의 내측면과 외측면에 막이 각각 증착되도록 상기 전원부가 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟에 각각 상기 전압을 인가하도록 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일을 전기적으로 연결하는 제1 스위치 및 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일을 전기적으로 연결하는 제2 스위치를 더 포함하며, 상기 제1 타겟에 상기 전압이 인가되는 경우, 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일이 전기적으로 절연되도록 상기 제1 스위치는 열린 상태이고 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일을 전기적으로 연결하여 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일이 같이 양극으로 작용하도록 상기 제2 스위치는 닫힌 상태이며, 상기 제2 타겟에 상기 전압이 인가되는 경우, 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일이 전기적으로 절연되도록 상기 제2 스위치는 열린 상태이고 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일을 전기적으로 연결하여 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일이 같이 양극으로 작용하도록 상기 제1 스위치는 닫힌 상태인 것을 특징으로 하는 히터 코일 코팅 장치
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삭제
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제1항에 있어서, 상기 제1 타켓에 구비되며, 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일을 이격시키기 위한 절연 부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 히터 코일 코팅 장치
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제1항에 있어서, 상기 제1 타겟 및 상기 제2 타겟은 백금족 원소로 이루어지는 것을 특징으로 하는 히터 코일 코팅 장치
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히터 코일의 내부에 배치되는 제1 타겟과 상기 히터 코일을 둘러싸도록 배치되는 제2 타겟 사이로 가스를 공급하는 단계;상기 제1 타겟에 전압을 인가하여 플라즈마 상태의 가스를 상기 제1 타겟에 충돌시킴으로써 상기 히터 코일의 내측면에 막을 형성하는 단계; 및상기 제2 타겟에 전압을 인가하여 플라즈마 상태의 가스를 상기 제2 타겟에 충돌시킴으로써 상기 히터 코일의 외측면에 막을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 히터 코일의 내측면에 막을 형성하는 단계에서 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 절연되며, 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일이 같이 양극으로 작용하도록 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 연결되며, 상기 히터 코일의 외측면에 막을 형성하는 단계에서 상기 제2 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 절연되며, 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일이 같이 양극으로 작용하도록 상기 제1 타겟과 상기 히터 코일은 전기적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 히터 코일 코팅 방법
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삭제
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제5항에 있어서, 상기 히터 코일에 형성되는 막은 백금족 원소로 이루어지는 것을 특징으로 하는 히터 코일 코팅 방법
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1 중소기업청 고려대학교산학협력단 산학연협력기술개발 세라믹 도체와 BLDC 모터를 활용한 저소음 건강드라이기 개발