[KST2014052777][한국생산기술연구원] |
냉매 직접 열교환 방식의 반도체 칠러와 반도체 칠링 방법 및 반도체 칠러의 운전 방법 |
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[KST2014010014][한국생산기술연구원] |
기판 정렬 장치 및 방법 |
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[KST2014019440][한국생산기술연구원] |
진공펌프용 여과장치 |
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[KST2014034732][한국생산기술연구원] |
반도체 공정용 히터 자켓 |
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[KST2014050033][한국생산기술연구원] |
레이저 간섭 리소그라피 장치 |
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[KST2014052763][한국생산기술연구원] |
균일성이 확보된 POCI3 기반 도핑 공정을 이용한 나노/마이크로 실리콘 복합구조체 태양 전지의 제조 방법 및 이에 따른 태양 전지 |
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[KST2015148884][한국생산기술연구원] |
스탬프 및 이를 이용한 극미세 형상 형성방법 |
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[KST2015149380][한국생산기술연구원] |
다층 샤워헤드 및 그 밀봉방법 |
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[KST2014066105][한국생산기술연구원] |
전자빔 |
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[KST2014019454][한국생산기술연구원] |
유도가열방식의 압연롤을 이용한 미세임프린팅 장치 및 미세임프린팅 방법 |
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[KST2019022592][한국생산기술연구원] |
태양전지용 실리콘 정련 장치 및 그 방법 |
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[KST2015149344][한국생산기술연구원] |
확산핀을 가지는 전자소자 제조용 샤워 헤드 및 샤워 헤드 조립체 |
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[KST2015149016][한국생산기술연구원] |
듀얼 작동구조를 갖는 나노 스테이지장치 |
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[KST2015149517][한국생산기술연구원] |
광폭 초음파분무 및 스핀공정 복합코팅 장치 및 코팅 방법 |
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[KST2022005909][한국생산기술연구원] |
h-BN을 이용한 GaN 단결정 성장기판 및 이의 제조방법 |
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[KST2015149146][한국생산기술연구원] |
기판 가열용 히터 |
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[KST2014052780][한국생산기술연구원] |
다결정 실리콘 박막 태양전지의 제조방법 및 이에 의하여 제조된 다결정 실리콘 박막 태양전지 |
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[KST2014061806][한국생산기술연구원] |
미세 홀이 배열된 폴리머 멤브레인을 포함하는 플라스틱 챔버 플레이트의 제작 방법 |
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[KST2016012075][한국생산기술연구원] |
MEMS 기반 노즐 헤드 제조방법 및 그 노즐 헤드(METHOD FOR MANUFACTURING NOZZLE HEAD BASED ON MEMS AND THE NOZZLE HEAD) |
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[KST2014052796][한국생산기술연구원] |
레이저 간섭 리소그래피 장치 |
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[KST2014064942][한국생산기술연구원] |
사각형상 전자빔 방출유닛을 구비한 소형전자빔 장치 |
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[KST2015069386][한국생산기술연구원] |
실리콘 기판의 나노 및 마이크로 복합 구조체를 갖는 태양 전지의 제조 방법 및 이에 따른 태양 전지 |
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[KST2014065041][한국생산기술연구원] |
하드마스크용 조성물 및 이를 이용한 반도체 소자의 패턴 형성 방법 |
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[KST2014002148][한국생산기술연구원] |
캔(CAN)통신을 이용한 무 부러쉬직류(BLDC)전동기 제어장치 |
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[KST2020006486][한국생산기술연구원] |
저온 용액 공정 산화물 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법 |
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[KST2015149673][한국생산기술연구원] |
산화알루미늄막이 형성된 실리콘 및 이의 제조방법 |
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[KST2015148768][한국생산기술연구원] |
스테이지장치의 스테이지와 구동부의 결합장치 |
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[KST2014019471][한국생산기술연구원] |
미세버섯구조 패턴의 형성방법 |
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[KST2014052760][한국생산기술연구원] |
공정챔버 내부의 공정가스 분석 장치 |
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[KST2015225796][한국생산기술연구원] |
정렬판을 구비한 샤워헤드(A showerhead with align plate) |
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