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광학부품인 렌즈나 미러의 이동에 따라 정렬 광학계의 파면이 변화되는 것에 따른 상기 정렬 광학계의 민감도 행렬을 계산하는 단계;상기 정렬 광학계를 정렬하기 위해 민감도 행렬의 계산결과에 따라 정렬에 적합한 렌즈 또는 미러의 경사 또는 편심을 보상자(compensator)로 선정하는 단계:상기 정렬 광학계에서 제르니케 계수로 표시된 측정 파면오차를 간섭계를 통하여 측정하는 단계;상기 민감도 행렬과 상기 보상자의 변동을 곱(product)한 후에 상기 측정 파면오차를 더하여 예측 파면오차를 생성하는 단계; 상기 예측 파면오차 중에서 간섭계의 기울기와 초점이동에 관련한 소정의 제르니케 계수를 제외한 고차 예측 파면오차를 이용하여 예측 제곱평균제곱근 파면오차(prediction root mean square wavefront error;prediction rms WEE)를 시야(field)별로 설정하는 단계;상기 예측 제곱평균제곱근 파면오차를 비축(off-axis)에서 일정한 설정값을 가지도록 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차로 설정하는 단계; 및상기 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차를 만족하는 보상자의 변동을 산출하는 단계;를 포함하고,상기 보상자는 상기 정렬광학계의 렌즈나 미러의 경사나 편심 중 정렬에 사용하는 부분을 의미하고, 상기 보상자의 변동은 상기 보상자의 초기 위치와 예측 위치의 차이로 주어지고,상기 예측 파면오차(Ff)는 상기 보상자(X)의 위치가 ΔX？만매？ 이동한 값을 민감도 행렬 A에 곱한 다음, 상기 측정 파면오차( Fi)를 더하여 생성되는 것을 특징으로 하는 광학계 정렬 방법
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제1 항에 있어서,보상자의 변동을 산출하는 단계는:상기 보상자의 변동을 추출하는 단계;상기 보상자의 예측 위치가 조정가능한 범위 내인지를 판단하는 단계;상기 예측 제곱평균제곱근 파면오차과 상기 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차의 차이가 최대 허용 오차의 범위 내인지를 판단한다는 단계; 및상기 예측 제곱평균제곱근 파면오차과 상기 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차의 차이가 최대 허용 오차의 범위 내인 경우, 상기 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차들을 감소하도록 변경하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 광학계 정렬 방법
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제1 항에 있어서,상기 고차 예측 파면오차는 변동 고차 파면오차와 상기 보상자에 의하여 변하지 않는 고정 고차 파면오차로 분리되고,상기 예측 제곱평균제곱근 파면오차(prediction root mean square wavefront error;prediction rms WEE)는 변동 고차 파면오차의 제곱 합(sum square)과 고정 고차 파면오차의 제곱 합(sum square)의 제곱근(root)로 주어지는 것을 특징으로하는 광학계 정렬 방법
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제3 항에 있어서,상기 변동 고차 파면오차는 제5차 내지 제8차 제르니케 계수와 제11차 제르니케 계수를 이용하여 산출되는 것을 특징으로 하는 광학계 정렬 방법
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제1 항에 있어서,상기 간섭계의 기울기와 초점이동에 관련한 소정의 제르니케 계수는 제1 내지 제4 제르니케 계수인 것을 특징으로 하는 광학계 정렬 방법
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제1 항에 있어서,상기 정렬 광학계는: 제1 내지 제4 미러(M1~M4)를 포함하는 전단광학계 (front-end optics)를 모사하는 구면 거울 및 빔분할기가 제공하는 광을 순차적으로 반사시켜 전달하는 제6 내지 제8 미러(M6~M8)를 포함하는 미러 그룹; 및상기 미러 그룹을 통과한 빛을 전달하는 제1 내지 제4 렌즈(L1~L4)를 포함하는 렌즈 그룹;을 포함하고,상기 간섭계에서 출발한 광은 상기 렌즈 그룹, 미러 그룹, 빔분할기, 및 구면 거울을 통하여 진행하고, 역경로를 통하여 상기 간섭계로 되돌아오는 것을 특징으로 하는 광학계 정렬 방법
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제6 항에 있어서,상기 보상자(compensator)는 L3의 편심, L4의 편심, 및 L4의 거리인 것을 특징으로 하는 광학계 정렬 방법
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제1 항에 있어서,상기 보상자(compensator)는 유한 차분 근사(finite difference approximation)를 이용한 민감도 분석을 통하여 선정되는 것을 특징으로하는 광학계 정렬 방법
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제6 항에 있어서,상기 간섭계는 피조 적외선 간섭계(Fizau IR interferometer)인 것을 특징으로 하는 광학계 정렬 방법
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광학부품인 렌즈나 미러의 이동에 따라 정렬 광학계의 파면이 변화되는 것에 따른 상기 정렬 광학계의 민감도 행렬을 계산하는 단계;상기 정렬 광학계를 정렬하기 위해 민감도 행렬의 계산결과에 따라 정렬에 적합한 렌즈 또는 미러의 경사 또는 편심을 보상자(compensator)로 선정하는 단계:상기 민감도 행렬과 상기 보상자의 변동을 곱(product)한 후에 측정 파면오차를 더하여 예측 파면오차를 생성하는 단계; 상기 예측 파면오차 중에서 간섭계의 기울기와 초점이동에 관련한 소정의 제르니케 계수를 제외한 고차 예측 파면오차를 이용하여 예측 제곱평균제곱근 파면오차(prediction root mean square wavefront error;prediction rms WEE)를 시야(field)별로 설정하는 단계;상기 예측 제곱평균제곱근 파면오차를 비축(off-axis)에서 일정한 설정값을 가지도록 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차로 설정하는 단계; 및상기 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차를 만족하는 보상자의 변동을 산출하는 단계;를 포함하고,상기 측정 파면오차는 정렬 광학계에서 제르니케 계수로 표시된 측정 파면오차를 간섭계를 통하여 측정되고,상기 보상자는 상기 정렬광학계의 렌즈나 미러의 경사나 편심 중 정렬에 사용하는 부분을 의미하고, 상기 보상자의 변동은 상기 보상자의 초기 위치와 예측 위치의 차이로 주어지고,상기 예측 파면오차(Ff)는 상기 보상자(X)의 위치가 ΔX？만매？ 이동한 값을 민감도 행렬 A에 곱한 다음, 상기 측정 파면오차( Fi)를 더하여 생성되는 것을 특징으로 하는 광학계 정렬 방법
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제1 항 내지 제10 항의 어느 한 항에 의한 광학계 정렬 방법을 실행시키기 위한 프로그램을 기록한 컴퓨터로 읽을 수 있는 매체
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복수의 광학 부품을 포함하는 정렬 광학계의 특성을 측정하는 간섭계;상기 정렬 광학계에 제공되는 빔의 형태를 모사하는 빔분할기와 구면 거울;상기 광학 부품의 직선 또는 회전 운동시키는 이동 수단; 및상기 간섭계의 측정 결과를 제공받아 상기 정렬 광학계를 구성하는 각 광학 부품의 위치를 예측하는 처리부를 포함하고,상기 처리부는: 상기 광학부품인 렌즈나 미러의 이동에 따라 상기 정렬 광학계의 파면이 변화되는 것에 따른 상기 정렬 광학계의 민감도 행렬을 계산하고;상기 정렬 광학계를 정렬하기 위해 민감도 행렬의 계산결과에 따라 정렬에 적합한 렌즈 또는 미러의 경사 또는 편심을 보상자(compensator)로 선정하고,상기 간섭계가 측정한 상기 정렬 광학계의 특성인 측정 파면오차를 제르니케 계수로 변환하고;상기 민감도 행렬과 상기 보상자의 변동을 곱(product)한 후에 상기 측정 파면오차를 더하여 예측 파면오차를 생성하는 단계; 상기 예측 파면오차 중에서 상기 간섭계의 기울기와 초점이동에 관련한 소정의 제르니케 계수를 제외한 고차 예측 파면오차를 이용하여 예측 제곱평균제곱근 파면오차(prediction root mean square wavefront error;prediction rms WEE)를 시야(field)별로 설정하고;상기 예측 제곱평균제곱근 파면오차를 비축(off-axis)에서 일정한 설정값을 가지도록 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차로 설정하고; 그리고상기 초기 설정 제곱평균제곱근 파면오차를 만족하는 보상자의 변동을 산출하고,상기 보상자는 상기 정렬광학계의 렌즈나 미러의 경사나 편심 중 정렬에 사용하는 부분을 의미하고,상기 보상자의 변동은 상기 보상자의 초기 위치와 예측 위치의 차이로 주어지고,상기 예측 파면오차(Ff)는 상기 보상자(X)의 위치가 ΔX？만매？ 이동한 값을 민감도 행렬 A에 곱한 다음, 상기 측정 파면오차( Fi)를 더하여 생성되는 것을 특징으로 하는 광학계 정렬 장치
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