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압저항형 세라믹 압력센서(PIEZORESISTIVE TYPED CERAMIC PRESSURE SENSOR)

  • 기술번호 : KST2015225782
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 압저항형 세라믹 압력센서가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 압저항형 세라믹 압력센서는 세라믹 다이어프램; 세라믹 다이어프램을 하부에서 지지하는 세라믹 지지기판; 및 세라믹 다이어프램의 중앙을 기준으로 세라믹 다이어프램의 하부면 양쪽에 각각 형성되는 압저항 방식의 실리콘 스트레인 게이지를 포함하고, 세라믹 지지기판은 실리콘 스트레인 게이지의 위치와 상응하는 위치에 홀이 형성된다.
Int. CL G01L 7/08 (2006.01) G01L 1/22 (2006.01) G01G 3/14 (2006.01) G01L 9/04 (2006.01)
CPC G01L 7/08(2013.01)
출원번호/일자 1020140056514 (2014.05.12)
출원인 전자부품연구원
등록번호/일자 10-1573367-0000 (2015.11.25)
공개번호/일자 10-2015-0129913 (2015.11.23) 문서열기
공고번호/일자 (20151203) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.05.12)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 조남규 대한민국 경기 용인시 기흥구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 남충우 대한민국 서울 강남구 언주로 ***, *층(역삼동, 광진빌딩)(알렉스국제특허법률사무소)
2 노철호 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교역로 ***, 에스동 ***호(삼평동,에이치스퀘어)(특허법인도담)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자기술연구원 대한민국 경기도 성남시 분당구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.05.12 수리 (Accepted) 1-1-2014-0443205-52
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.12.05 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2015.01.09 수리 (Accepted) 9-1-2015-0003687-24
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0261946-22
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.06.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0603606-01
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2015-0603539-39
7 등록결정서
Decision to grant		 2015.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0742400-10
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.08.24 수리 (Accepted) 4-1-2020-5189497-57
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
세라믹 다이어프램;상기 세라믹 다이어프램을 하부에서 지지하는 세라믹 지지기판; 및상기 세라믹 다이어프램의 중앙을 기준으로 상기 세라믹 다이어프램의 하부면 양쪽에 각각 형성되는 압저항 방식의 실리콘 스트레인 게이지를 포함하고, 상기 세라믹 지지기판은 상기 실리콘 스트레인 게이지의 위치와 상응하는 위치에 홀이 형성되며,상기 세라믹 지지기판은 상부면 중앙부에 홈이 형성되어, 상기 세라믹 다이어프램 및 세라믹 지지기판의 중앙부 사이에 상기 세라믹 다이어프램의 중앙 하부과 상기 세라믹 지지기판이 맞닿지 않도록 갭이 형성되고, 상기 세라믹 다이어프램의 변형을 제한하는 스톱퍼 기둥을 포함하는 압저항형 세라믹 압력센서
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삭제
3 3
청구항 1에 있어서, 상기 세라믹 다이어프램의 양측 하부와 상기 세라믹 지지기판의 양측 상부에는 상기 세라믹 다이어프램 및 세라믹 지지기판을 상호 접착시키는 제1 접착층이 형성되는 압저항형 세라믹 압력센서
4 4
청구항 1 또는 청구항 3에 있어서, 상기 세라믹 다이어프램과 상기 실리콘 스트레인 게이지 사이에는 상기 세라믹 다이어프램 및 실리콘 스트레인 게이지를 상호 접착시키는 제2 접착층이 형성되는 압저항형 세라믹 압력센서
5 5
청구항 1에 있어서, 상기 세라믹 지지기판의 하부면에는 복수의 전극이 형성되고, 상기 실리콘 스트레인 게이지는 상기 세라믹 지지기판에 형성된 홀을 통해 상기 전극들과 와이어본딩되는 압저항형 세라믹 압력센서
6 6
청구항 1에 있어서, 상기 각각의 실리콘 스트레인 게이지는 좌우대칭으로 형성된 하나의 칩에 두 개의 저항이 연결된 형태를 갖는 압저항형 세라믹 압력센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 전자부품연구원 중소기업 융ㆍ복합기술개발사업 선박수위계측용 압력 Transducer 및 레벨트랜스미터 개발