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정렬판을 구비한 샤워헤드(A showerhead with align plate)

  • 기술번호 : KST2015225796
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 샤워헤드에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 복수 개의 모듈 사이에 분사튜브가 끼워지는 정렬판을 배치하여 모듈의 재조립시 용이하게 분사튜브 및 해당모듈을 조립할 수 있는 정렬판을 구비한 샤워헤드에 관한 것이다.본 발명은 적어도 두 개의 모듈이 상하 방향으로 배치되는 샤워헤드에 있어서, 기체가 유입되는 제1유입구를 구비한 제1몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제1몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제1몸체의 일측에 형성된 분사공 및 상기 분사공에 연결된 제1분사튜브를 구비한 제1모듈; 상기 제1분사튜브가 관통하는 제1안내관을 구비하여 상기 제1모듈의 하부측에 배치되는 제2모듈; 및 상기 제1분사튜브가 끼워지는 통과공을 구비하고, 상기 제1모듈 및 제2모듈 사이에 배치되는 정렬판;을 포함하고, 상기 제1분사튜브는 길이 중간 부분이 상기 통과공에 의해 지지되는 정렬판을 구비한 샤워헤드를 제공한다.
Int. CL H01L 21/205 (2006.01) H01L 21/3065 (2006.01) H01L 21/02 (2006.01)
CPC C23C 16/45565(2013.01)
출원번호/일자 1020140059054 (2014.05.16)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-1584622-0000 (2016.01.06)
공개번호/일자 10-2015-0132760 (2015.11.26) 문서열기
공고번호/일자 (20160114) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.05.16)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 변철수 대한민국 서울 강남구
2 정일용 대한민국 충청남도 천안시 서북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인리온 대한민국 서울특별시 서초구 사평대로 ***, *층(반포동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.05.16 수리 (Accepted) 1-1-2014-0462052-53
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0589769-69
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.01.16 수리 (Accepted) 4-1-2015-5006834-98
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0009201-00
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.05.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0349726-25
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0726291-18
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0826007-81
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.08.25 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0826006-35
10 등록결정서
Decision to grant
2015.12.23 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0896524-95
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
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번호 청구항
1 1
적어도 두 개의 모듈이 상하 방향으로 배치되는 샤워헤드에 있어서, 기체가 유입되는 제1유입구를 구비한 제1몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제1몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제1몸체의 일측에 형성된 분사공 및 상기 분사공에 연결된 제1분사튜브를 구비한 제1모듈;상기 제1분사튜브가 관통하는 제1안내관을 구비하여 상기 제1모듈의 하부측에 배치되는 제2모듈; 및상기 제1분사튜브가 끼워지는 통과공을 구비하고, 상기 제1모듈 및 제2모듈 사이에 배치되는 정렬판;을 포함하고,상기 제1분사튜브는 길이 중간 부분이 상기 통과공에 의해 지지되는 정렬판을 구비한 샤워헤드
2 2
제 1항에 있어서,상기 정렬판은 일정 두께를 갖는 판상의 부재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
3 3
제 2항에 있어서,상기 통과공은 상부에서 하부로 갈수록 단면적이 좁아지도록 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
4 4
제 1항에 있어서,상기 정렬판은 두께가 0
5 5
제 1항에 있어서,상기 제2모듈의 하부측에는 상기 제1분사튜브가 관통하는 제2안내관을 구비한 제3모듈이 구비되고, 상기 제2모듈 및 제3모듈 사이에 상기 제1분사튜브가 끼워지는 통과공을 갖는 정렬판이 배치되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
6 6
제 5항에 있어서,상기 제3모듈은 냉각모듈인 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
7 7
제 5항에 있어서,상기 제2모듈은 기체가 유입되는 제2유입구를 구비한 제2몸체, 상기 유입된 기체를 상기 제2몸체의 외부로 배출할 수 있도록 상기 제2몸체의 일측에 형성된 제2분사공 및 상기 제2분사공에 연결된 제2분사튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
8 8
제 7항에 있어서,상기 제3모듈은 상기 제2분사튜브가 관통하는 제3안내관을 포함하는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
9 9
제 1항에 있어서,상기 제1모듈 및 제2모듈의 외측에는 일정높이를 갖는 가이드바가 배치되고, 상기 제1모듈 및 제2모듈은 일측이 상기 가이드바를 따라 상,하 방향으로 이동하는 일측에 의해 서로 밀착되거나 이격되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
10 10
제 9항에 있어서,상기 제1모듈은 일측에 외측으로 일정길이 연장되는 제1체결판이 구비되고, 상기 제2모듈은 상기 제1체결판과 대응되는 일측에 외측으로 일정길이 연장되는 제2체결판이 구비되며, 상기 제1체결판 및 제2체결판은 상기 가이드바를 통해 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
11 11
제 10항에 있어서,상기 가이드바는 외주면에 나사산이 형성된 스크류바인 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
12 12
제 11항에 있어서,상기 제2체결판의 상부면과 하부면에는 상기 스크류바와 나사결합되는 너트부재가 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
13 13
제 12항에 있어서,상기 너트부재는 상기 스크류바를 따라 나사이동되어 상기 제1모듈 및 제2모듈을 서로 밀착시키는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
14 14
제 11항에 있어서,상기 정렬판에는 상기 제1체결판 및 제2체결판과 대응되는 위치에 상기 스크류바가 통과하는 관통공이 구비되고, 상기 관통공의 상,하부측에는 상기 스크류바와 나사결합하는 너트부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 정렬판을 구비한 샤워헤드
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