| 1 |
1
레이저 빔을 조사하는 레이저 빔 소스;상기 레이저 빔 소스로부터 조사된 레이저 빔을 타겟으로 전달하는 광전달부;상기 광전달부를 통해 조사되는 레이저 빔의 광축 상으로 포인트 빔을 조사하는 포인트 빔 소스;상기 타겟에 대한 영상을 획득하기 위한 카메라;상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 구해진 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격을 이용하여 타겟으로의 광 조사 거리(dt)를 산출하고, 산출된 광 조사 거리(dt)로부터 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 연산부;를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 2 |
2
청구항 1에 있어서,상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 3 |
3
청구항 2에 있어서,상기 연산부에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리(dt)를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 4 |
4
청구항 3에 있어서,상기 연산부에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 타겟의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리(dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 5 |
5
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 연산부에서는 산출된 상기 광 조사 거리(dt)로부터 아래 수식으로부터 레이저 빔 스팟 상에서의 레이저 빔 세기(I(r,z))를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 6 |
6
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 포인트 빔 소스의 포인트 빔 조사 각도를 조절하거나, 포인트 빔 조사 각도와 함께 포인트 빔 소스의 위치를 조절하기 위한 포인트 빔 소스 제어 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 7 |
7
청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,상기 레이저 빔의 광축 상에 배치되며, 상기 레이저 빔을 투과시키는 한편 상기 타겟으로부터의 반사광을 반사시켜 카메라 측으로 전달하기 위한 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 8 |
8
청구항 7에 있어서,상기 미러와 상기 광전달부 사이에 위치하며 타겟으로의 빔 사이즈를 조절하기 위한 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 9 |
9
레이저 빔을 조사하는 레이저 빔 소스;상기 레이저 빔 소스로부터 조사된 레이저 빔을 전달하는 광전달부;상기 광전달부를 통해 조사되는 레이저 빔의 광축 상으로 포인트 빔을 조사하는 포인트 빔 소스;상기 레이저 빔 소스의 광축 주위 영상을 획득하기 위한 카메라;상기 레이저 빔 소스로부터 출력되는 광을 측정할 수 있도록 위치되는 광검출기;상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 광검출기로의 광조사 거리(dd)를 산출하고, 상기 카메라에서 얻어진 영상 신호 세기와 상기 광검출기에서 측정된 레이저 빔의 출력 세기를 비교하여, 카메라 영상 신호의 세기를 결정하는 연산부;를 포함하며,상기 연산부에서는 광검출기로의 광 조사 거리(dd)와 동일한 광 조사 거리(dt)에 타겟이 위치할 때, 상기 타겟에 대한 카메라 영상 신호로부터 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 10 |
10
청구항 9에 있어서,상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 11 |
11
청구항 10에 있어서,상기 연산부에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 상기 광검출기 또는 상기 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리(dd)를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 12 |
12
청구항 11에 있어서,상기 연산부에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 광검출기의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 광검출기 또는 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 각각의 광 조사 거리(dd, dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 13 |
13
청구항 9 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 있어서,상기 포인트 빔 소스의 포인트 빔 조사 각도를 조절하거나, 포인트 빔 조사 각도와 함께 포인트 빔 소스의 위치를 조절하기 위한 포인트 빔 소스 제어 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 14 |
14
청구항 9 내지 청구항 12 중 어느 한 항에 있어서,상기 레이저 빔의 광축 상에 배치되며, 상기 레이저 빔을 투과시키는 한편 상기 타겟으로부터의 반사광을 반사시켜 카메라 측으로 전달하기 위한 미러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 15 |
15
청구항 14에 있어서,상기 미러와 상기 광전달부 사이에 위치하며 타겟으로의 빔 사이즈를 조절하기 위한 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 장치
|
| 16 |
16
레이저 빔 소스와 포인트 빔 소스로부터 각각 레이저 빔과 포인트 빔을 타겟으로 조사하는 단계;카메라로부터 타겟에 대한 영상을 획득하는 단계;연산부에서 상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격을 이용하여 타겟으로의 광 조사 거리(dt)를 산출하는 단계;상기 연산부에서 산출된 광 조사 거리로부터 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계;를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 17 |
17
청구항 16에 있어서,상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하고, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서, 미리 저장된 상기 기준 거리로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 18 |
18
청구항 17에 있어서,상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 19 |
19
청구항 18에 있어서,상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 타겟의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리(dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 20 |
20
청구항 16 내지 청구항 19 중 어느 한 항에 있어서,상기 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계에서는 산출된 상기 광 조사 거리로부터 아래 수식으로부터 레이저 빔 스팟 상에서의 레이저 빔 세기(I(r,z))를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 21 |
21
청구항 17 내지 청구항 19 중 어느 한 항에 있어서,상기 광 조사 거리를 산출하는 단계 이전에 포인트 빔 소스 제어 유닛에 의하여 포인트 빔이 조사되는 위치를 변경하여 기준 거리를 재설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 22 |
22
광검출기 측으로 레이저 빔 소스로부터 광이 조사되도록 소정의 광 조사 거리(dd) 상에 광검출기를 위치시키는 단계;레이저 빔 소스와 포인트 빔 소스로부터 각각 레이저 빔과 포인트 빔을 상기 광검출기로 조사하는 단계;상기 광검출기로부터 하나 이상의 위치에서 레이저 빔의 출력 세기 정보를 검출하고, 카메라로부터 상기 광검출기 위치에서의 영상 정보를 획득하는 단계;상기 카메라에서 획득된 영상 신호의 세기 정보를 상기 광검출기에서 검출된 레이저 빔의 출력 세기 정보와 비교하여 상기 광검출기 위치에서의 레이저 빔 출력 분포 및 출력 밀도를 확인하는 단계;상기 광검출기를 상기 레이저 빔 소스의 광축 상에서 제거하고, 상기 광 조사 거리(dd)와 동일한 거리에 타겟을 위치시키는 단계;상기 카메라에서 얻어진 영상 정보로부터 상기 타겟에서의 레이저 빔 출력 특성을 산출하는 단계;를 포함하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 23 |
23
청구항 22에 있어서,상기 광검출기를 위치시키는 단계 또는 상기 타겟을 위치시키는 단계에서는 상기 카메라에서 얻어진 상기 레이저 빔과 포인트 빔에 대한 영상 정보로부터 연산부에서 광검출기로의 광 조사 거리(dd) 또는 상기 타겟으로의 광 조사 거리(dt)를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 24 |
24
청구항 23에 있어서,상기 연산부에서는 상기 포인트 빔과 상기 레이저 빔의 광축이 교차하는 지점에서 상기 광축에 수직한 기준 평면(Plane 0) 까지의 거리에 해당되는 기준 거리를 미리 산출하여 저장하고, 상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서, 미리 저장된 상기 기준 거리로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 25 |
25
청구항 24에 있어서,상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔의 광축과 상기 레이저 빔의 광축 간의 빔 각도와 상기 레이저 빔의 광축으로부터 상기 포인트 빔 결상 위치까지의 거리에 해당하는 빔 간격으로부터 상기 기준 평면과 타겟 간의 거리를 나타내는 보정치를 산출하여, 상기 기준 거리 및 상기 보정치로부터 상기 광 조사 거리를 산출하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 26 |
26
청구항 25에 있어서,상기 광 조사 거리를 산출하는 단계에서는 상기 포인트 빔 결상 위치로부터 상기 타겟의 위치를 추정하되, 상기 레이저 빔 소스 위치를 기준으로 상기 타겟이 상기 기준 평면의 전후에 위치하는지를 결정하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 가까운 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 감산하고, 상기 타겟이 상기 기준 평면에 비하여 상기 레이저 빔 소스 측에 먼 위치에 위치하는 경우에는 상기 보정치를 합산하며, 상기 기준 평면의 위치에 상기 타겟이 위치하는 경우에는 상기 기준 거리를 광 조사 거리(dt)로 결정하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
| 27 |
27
청구항 22 내지 청구항 26 중 어느 한 항에 있어서,상기 광 조사 거리를 산출하는 단계 이전에 포인트 빔 소스 제어 유닛에 의하여 포인트 빔이 조사되는 위치를 변경하여 기준 거리를 재설정하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저 빔 출력 측정 방법
|
