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초음파 진동을 이용하여 내부에 저장된 액상 전구체를 에어로졸 상태로 변환시키는 에어로졸 생성기;상기 에어로졸 생성기로부터 전달된 에어로졸 상태의 전구체가 충돌하여 열에너지를 얻어 기체 상태로 변화되도록 내부에 복수 개의 판형 히터들이 지그재그로 교차되게 배치된 히터 블록이 설치된 기화기; 및상기 기화기에 의해 기체 상태로 변환된 전구체를 일정한 압력 및 온도로 저장하고, 박막 증착 공정 시 상기 기체 상태의 전구체를 챔버로 공급하는 전구체 저장수단을 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 전구체 공급장치
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청구항 1에 있어서,상기 에어로졸 생성기는,내부에 액상 전구체가 담겨지는 캐니스터;상기 캐니스터 하부에 설치되어 상기 캐니스터 내부에 담겨져 있는 액상 전구체가 에어로졸로 변환되도록 초음파 진동을 발생시키는 초음파 진동기; 및상기 캐니스터의 내부로 돌출되게 설치되어 상기 캐니스터 내부의 액상 전구체 잔량을 검출하는 레벨 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 전구체 공급장치
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청구항 1에 있어서,상기 히터는 니켈 몸체에 텅스텐이 함유된 재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 액상 전구체 공급장치
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청구항 1에 있어서,상기 기화기는 순간 기화율을 높이기 위해 히터 블록의 온도를 균일하게 유지할 수 있는 온도 컨트롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 전구체 공급장치
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청구항 4에 있어서,상기 온도 컨트롤러는 상온에서 350℃의 기화 범위를 갖는 액상 전구체에 적합하도록 히터 블록의 온도를 조절하는 것을 특징으로 하는 액상 전구체 공급장치
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청구항 1에 있어서,상기 기화기는 액상 전구체의 종류에 따라 기화 용량의 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 액상 전구체 공급장치
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청구항 1에 있어서,상기 전구체 저장수단은 박막 증착 공정이 진행되지 않은 휴지 상태에서 내부에 액상 전구체 잔유물이 존재하는 것을 방지하기 위해 진공 상태에서 가스 퍼지 방식으로 내부를 세정하는 자동 정화 기능이 구비된 것을 특징으로 하는 액상 전구체 공급장치
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청구항 1에 있어서,상기 기화기에서 전구체 저장수단으로 전구체가 지속적으로 공급되는 것을 차단하기 위해 상기 기화기와 전구체 저장수단 사이에 설치된 절연 밸브를 더 포함하고, 상기 절연 밸브는 전구체가 기화기 내에서 완전히 기체 상태로 변환된 후 개방되는 것을 특징으로 하는 액상 전구체 공급장치
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청구항 1에 있어서,액상 전구체가 저장된 소스 저장 탱크;상기 소스 저장 탱크와 에어로졸 생성기 사이에 설치되어 상기 소스 저장 탱크에서 에어로졸 생성기로 공급되는 액상 전구체의 유량을 조절하는 액체 유량 제어기;액상 전구체의 압력을 조절하기 위해 상기 소스 저장 탱크와 액체 유량 제어기 사이에 설치된 레귤레이터; 및상기 소스 저장 탱크와 레귤레이터 사이 및 상기 소스 저장 탱크와 액체 유량 제어기 사이에 각각 설치된 조절 밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 액상 전구체 공급장치
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