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바닥부 및 돌출부가 교대로 구비된 요철 패턴들을 갖고, 상호 인접하는 바닥부의 중심들 사이의 간격이 제1 피치로 정의되는 예비 열수축 필름을 준비하는 단계;상기 예비 열수축 필름을 가열하여 상기 예비 열수축 필름이 그 내부 응력이 풀리면서 수축됨으로써, 상기 제1 피치가 상기 제1 피치보다 작은 제2 피치로 변화된 열수축 필름을 형성하는 단계; 및상기 요철 패턴들을 이용하여 상기 바닥부에 선택적으로 상기 제2 피치의 간격으로 형성되며 광을 편광시키는 금속 나노 패턴들을 형성하는 단계를 포함하는 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 열수축 필름은 폴리올레핀, 염화비닐수지(polyvinyl chloride) 또는 저밀도폴리에틸렌(low density polyethylene; LDPE)을 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 요철 패턴을 갖는 예비 열수축 필름을 준비하는 단계는,예비 열수축 필름 상에 수지층을 형성하는 단계;상기 제1 피치에 대응되는 형상을 갖는 템플릿을 이용하여 상기 수지층을 열가압하여 상기 예비 열수축 필름 상에 수지층 패턴을 형성하는 단계; 및상기 수지층 패턴을 마스크로 이용하여 상기 예비 열추숙 필름을 부분적으로 식각하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 예비 열수축 필름 상에 희생막을 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 수지층은 상기 희생막 상에 형성된 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 금속 나노 패턴을 형성하는 단계는상기 요철 패턴 상에 금속 박막을 형성하는 단계; 및상기 수지층 패턴을 상기 열수축 필름으로부터 제거하여 상기 바닥부 상에 선택적으로 금속 나노 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 금속 나노 패턴을 형성하는 단계는,상기 열수축 필름을 몰드로 이용하여, 베이스 및 희생막 상에 형성된 수지층을 향하여 가압하여 수지층 패턴을 형성하는 단계;상기 수지층 패턴을 마스크로 이용하여 상기 희생막을 식각하여 상기 베이스 상에 희생막 패턴을 형성하는 단계;상기 베이스 및 상기 수지층 패턴 상에 금속 박막을 형성하는 단계; 및상기 희생막 패턴을 상기 베이스로부터 제거하여, 상기 베이스 상에 선택적으로 금속 나노 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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제7항에 있어서, 상기 열수축 필름을 몰드로 이용하기 전, 상기 요철 패턴들 상에 상기 열수축 필름의 강도를 증대시키는 코팅막을 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 와이어 그리드 편광자의 제조 방법
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