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베이스;서로 이격되어 상기 베이스에 고정되는 한 쌍의 고정부, 상기 고정부들에 각각 결합되어 길이방향으로 구동력을 발생시키는 압전 구동부, 상기 압전 구동부들 사이에 배치되고 상기 압전 구동부들에 양측이 결합되어 길이방향으로 이동 가능한 몸체, 및 상기 몸체에 결합되어 폭방향으로 이동 가능한 이동부, 를 포함하는 하부 스테이지; 및서로 이격되어 상기 베이스에 고정되는 한 쌍의 고정부, 상기 고정부들에 각각 결합되어 길이방향으로 구동력을 발생시키는 압전 구동부, 상기 압전 구동부들 사이에 배치되고 상기 압전 구동부들에 양측이 결합되어 길이방향으로 이동 가능한 몸체, 및 상기 몸체에 결합되어 폭방향으로 이동 가능한 이동부, 를 포함하는 상부 스테이지; 를 포함하여 이루어지며,상기 하부 스테이지와 상부 스테이지는 상기 베이스의 평면상에서 서로 수직으로 배치되고, 상기 하부 스테이지의 이동부와 상부 스테이지의 이동부가 서로 결합되는 것을 특징으로 하는 차분력에 의해 구동되는 탄성힌지 기반 적층형 2축 병렬 스테이지
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제1항에 있어서,상기 하부 스테이지는 베이스와 이격되어 배치되며, 상기 상부 스테이지는 하부 스테이지의 상측에 이격되어 배치되는 것을 특징으로 하는 차분력에 의해 구동되는 탄성힌지 기반 적층형 2축 병렬 스테이지
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제1항에 있어서,상기 하부 스테이지 및 상부 스테이지는, 각각 상기 몸체들의 길이방향 양측과 고정부들이 폭방향으로 형성된 제1탄성힌지들에 의해 프레임과 결합되는 것을 특징으로 하는 차분력에 의해 구동되는 탄성힌지 기반 적층형 2축 병렬 스테이지
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제3항에 있어서,상기 프레임은 길이방향으로 형성되어 상기 고정부 및 몸체의 폭방향 양측에 한 쌍이 배치되는 것을 특징으로 하는 차분력에 의해 구동되는 탄성힌지 기반 적층형 2축 병렬 스테이지
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제1항에 있어서,상기 하부 스테이지 및 상부 스테이지는, 각각 상기 몸체가 길이방향으로 형성된 제2탄성힌지에 의해 이동부와 결합되는 것을 특징으로 하는 차분력에 의해 구동되는 탄성힌지 기반 적층형 2축 병렬 스테이지
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제5항에 있어서,폭방향으로 형성된 한 쌍의 연결부가 상기 이동부의 길이방향 양측에 이격되어 배치되며, 상기 제2탄성힌지는 한 쌍으로 형성되어 하나의 제2탄성힌지에 의해 상기 몸체와 연결부가 연결되고 다른 하나의 제2탄성힌지에 의해 상기 연결부와 이동부가 연결되며, 상기 제2탄성힌지는 연결부의 폭방향 단부에 각각 배치되어 네 쌍으로 형성되는 것을 특징으로 하는 차분력에 의해 구동되는 탄성힌지 기반 적층형 2축 병렬 스테이지
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제6항에 있어서,상기 몸체의 폭방향 양측에 내측으로 돌출부가 형성되고 상기 이동부의 폭방향 양측에 외측으로 돌출부가 형성되어,상기 제2탄성힌지들의 일단이 돌출부들에 결합되는 것을 특징으로 하는 차분력에 의해 구동되는 탄성힌지 기반 적층형 2축 병렬 스테이지
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