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단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지(A flexure-based monolithic parallel stage for two axes driven by differential forces)

  • 기술번호 : KST2015226107
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지에 관한 것으로서, 이동부의 4면에 압전 액추에이터에 의해 구동되는 압전 구동부가 배치되고 각각의 압전 구동부들은 탄성힌지로 베이스에 결합되어 연결됨으로써, 이동부의 원점이 중심에 있고 압전 구동부들의 인력의 차이인 차분력에 의해 이동부가 2축 방향(XY 방향)으로 이동될 수 있는 단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지에 관한 것이다.
Int. CL B23Q 16/00 (2006.01) B23Q 5/28 (2006.01)
CPC B23Q 5/28(2013.01) B23Q 5/28(2013.01) B23Q 5/28(2013.01) B23Q 5/28(2013.01)
출원번호/일자 1020140061948 (2014.05.23)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1605823-0000 (2016.03.17)
공개번호/일자 10-2015-0134752 (2015.12.02) 문서열기
공고번호/일자 (20160324) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.05.23)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최기봉 대한민국 대전광역시 유성구
2 이재종 대한민국 대전광역시 유성구
3 김기홍 대한민국 대전광역시 서구
4 임형준 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.05.23 수리 (Accepted) 1-1-2014-0485168-23
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.11.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0097909-67
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-5002866-18
5 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2015.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-5004922-13
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.09.03 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0605554-18
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.10.20 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1018213-28
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.10.20 수리 (Accepted) 1-1-2015-1018239-15
9 등록결정서
Decision to grant		 2016.01.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0027984-69
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
이동부;상기 이동부의 4면에 각각 결합되어 서로 마주보는 방향으로 구동력을 발생시키는 압전 구동부;상기 압전 구동부들에 각각 일측이 결합되고 베이스에 타측이 고정되어, 서로 마주보는 방향에 수직인 방향으로 상기 이동부 및 압전 구동부들이 이동 가능하게 형성되는 탄성힌지; 를 포함하며,상기 압전 구동부들과 이격되어 각각 연결부가 구비되며, 상기 탄성힌지는 한 쌍으로 형성되어 하나의 탄성힌지에 의해 연결부와 압전 구동부가 연결되고, 다른 하나의 탄성힌지에 의해 연결부와 베이스가 연결되며,상기 한 쌍의 탄성힌지는 각각의 연결부들의 양단에 배치되는 것을 특징으로 하는 단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지
2 2
제1항에 있어서,상기 한 쌍의 탄성힌지는 각각의 연결부들의 양단에 배치되어 8쌍으로 형성되는 것을 특징으로 하는 단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지
3 3
제1항에 있어서,상기 탄성힌지는 이동부 및 압전 구동부들이 배치된 평면에서 상기 압전 구동부의 바깥쪽에 배치되는 것을 특징으로 하는 단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지
4 4
제1항에 있어서,상기 탄성힌지는 이동부 및 압전 구동부들이 배치된 평면에 수직으로 배치되는 것을 특징으로 하는 단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지
5 5
제1항에 있어서,상기 이동부, 압전 구동부들, 베이스 및 탄성힌지들은 단일체로 가공되는 것을 특징으로 하는 단일체로 가공된 차분력 구동형 탄성힌지 기반 2축 병렬 스테이지
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 3D 나노-마이크로 하이브리드 구조체 제작 리소그래피기술 개발 (1/2)
2 지식경제부 한국기계연구원 지경부-국가연구개발사업(II) 폭 1m급 광학필름용 원통형 나노패터닝 공정장비 개발 (3/5)