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세라믹의 전계 유도 변형 특성을 향상 시킬 수 있도록 BNT-BKT-BA 분말과 NBiT 틀입자를 이용하여 Bi계 무연 압전 세라믹을 제조함에 있어, 상기 NBiT 틀입자를 중심으로 BNT-BKT-BA 세라믹 입자들이 일축성 결정방향을 가지도록 성장하여 낟알정렬 되는 RTGG(Reactive Templated Grain Growth) 방법에 의해 무연 압전 세라믹을 제조하는 것을 특징으로 하는 RTGG 방법에 의한 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 RTGG 방법은,BNT-BKT-BA 분말과 NBiT 틀입자를 용매, 분산제, 가소제, 결합제와 볼밀링에 의해 혼합하여 슬러리(Slurry)를 제조하는 슬러리 제조단계;제조된 상기 슬러리에서 볼을 제거한 후, 볼밀링 중에 슬러리 내에 생긴 기포를 제거하고 점도를 높이기 위해 상기 슬러리를 진공펌프로 탈포(de-airing)하는 탈포단계;탈포된 슬러리를 테이프 캐스터(tape caster)에 의해 그린시트(green sheet)로 제작하는 테이프 캐스팅 단계;제조된 상기 그린시트를 건조하고 결합제를 제거하는 건조단계;건조된 상기 그린시트를 압착하고 절단하여 일정한 두께를 지닌 BNT-BKT-BA 세라믹으로 만드는 가공단계;가공된 상기 BNT-BKT-BA 세라믹을 소결하는 소결단계;소결된 상기 BNT-BKT-BA 세라믹을 가공 단계에서보다 더 얇게 가공하여 마무리하는 래핑단계; 및가공되어 마무리된 BNT-BKT-BA 세라믹의 양면에 전극을 형성하는 전극형성단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 RTGG 방법에 의한 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제2항에 있어서,상기 슬러리 제조단계는,BNT-BKT-BA 분말과 용매 및 분산제를 1차 볼밀링에 의해 혼합하는 1차 혼합단계;상기 1차 혼합단계에서 혼합된 분말과 결합제 및 가소제를 2차 볼밀링에 의해 혼합하는 2차 혼합단계; 및2차 혼합단계에서 혼합된 분말과 NBiT 틀입자를 3차 볼밀링에 의해 혼합하는 3차 혼합단계;로 세분되는 것을 특징으로 하는 RTGG 방법에 의한 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제3항에 있어서,1차 혼합단계에서 분산제를 BNT-BKT-BA 분말 대비 1wt% 혼합하고, 상기 BNT-BKT-BA 분말과 용매 및 분산제를 지르코니아볼과 함께 1:1:1의 부피비로 첨가하여 혼합하며, 2차 혼합단계에서 결합제를 BNT-BKT-BA 분말 대비 6wt% 첨가하고, 가소제를 BNT-BKT-BA 분말 대비 4
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제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 BNT-BKT-BA 분말은 (1-y)[(1-x)Bi0
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제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 BNT-BKT-BA 분말과 NBiT 틀입자는 Na2CO3, Bi2O3, TiO2, K2CO3, Al2O3을 혼합하여 제조하는 것을 특징으로 하는 RTGG 방법에 의한 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항에 있어서,상기 NBiT 틀입자는 BNT-BKT-BA 분말 대비 5∼20wt% 첨가하는 것을 특징으로 하는 RTGG 방법에 의한 무연 압전 세라믹스의 제조방법
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제1항 내지 제4항 중의 어느 한 항의 제조방법으로 제조된 RTGG 방법에 의한 무연 압전 세라믹스
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제8항에 있어서, RTGG 방법에 의해 제조된 무연 압전 세라믹스를 액추에이터의 압전 세라믹으로 사용하는 것을 특징으로 하는 RTGG 방법에 의한 무연 압전 세라믹스
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제5항의 제조방법으로 제조된 RTGG 방법에 의한 무연 압전 세라믹스
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제6항의 제조방법으로 제조된 RTGG 방법에 의한 무연 압전 세라믹스
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제7항의 제조방법으로 제조된 RTGG 방법에 의한 무연 압전 세라믹스
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