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그래핀계 탄소소재 전자소자 및 그 제조방법

기술번호 : KST2015226516
담당센터 : 부산기술혁신센터
전화번호 : 051-606-6561

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 유연성 기판을 사용하는 그래핀계 탄소소재 전자소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유연성 기판; 상기 유연성 기판 위에 각각 형성된 드레인 전극 및 소오스 전극; 상기 드레인 전극과 소오스 전극 사이에 형성된 채널층; 상기 채널층 위에 형성된 게이트 절연층; 상기 절연층 위에 형성된 게이트 전극;을 포함하며, 제조 공정을 단순화하여 작업성을 향상시키고, 저온 공정으로 인하여 유연성 기판을 사용할 수 있고, 식각 공정을 거치지 않아 작업시간을 단축시킬 뿐만 아니라 제조 단가를 절감시킨다.
Int. CL	H01L 29/786 (2006.01)
CPC	H01L 29/1606(2013.01) H01L 29/1606(2013.01) H01L 29/1606(2013.01)
출원번호/일자	1020120049935 (2012.05.10)
출원인	울산대학교 산학협력단
등록번호/일자	10-1347889-0000 (2013.12.27)
공개번호/일자	10-2013-0126111 (2013.11.20) 문서열기
공고번호/일자	(20140109) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	소멸
심사진행상태	수리
심판사항
구분	신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2012.05.10)
심사청구항수	15

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	울산대학교 산학협력단	대한민국	울산광역시 남구

발명자

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번호	이름	국적	주소
1	김용수	대한민국	울산 남구
2	최학순	대한민국	울산 북구
3	이건희	대한민국	울산 남구

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	김종선	대한민국	서울특별시 강남구 역삼로길 , 광성빌딩 *층 (역삼동)(케이엘피특허법률사무소)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
1	울산대학교 산학협력단		울산광역시 남구

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2012.05.10	수리 (Accepted)	1-1-2012-0375970-53
2	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2013.04.02	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2013.05.09	수리 (Accepted)	9-1-2013-0036750-07
4	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2013.06.21	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0426791-43
5	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서 [Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)	2013.08.16	수리 (Accepted)	1-1-2013-0744530-78
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)	2013.09.06	수리 (Accepted)	1-1-2013-0819259-35
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2013.09.06	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2013-0819265-10
8	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.11.29	수리 (Accepted)	4-1-2013-0057072-80
9	등록결정서 Decision to grant	2013.12.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0879455-19
10	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2013.12.30	수리 (Accepted)	4-1-2013-5176374-15
11	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2016.06.20	수리 (Accepted)	4-1-2016-5080807-13
12	출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information	2020.07.10	수리 (Accepted)	4-1-2020-5154267-54

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 유연성 기판 위에 그래핀 옥사이드층(Graphite Oxide Layer)을 형성하는 그래핀 형성단계;상기 그래핀 옥사이드 위에 패터닝된 마스크를 형성하는 마스크 형성단계;상기 마스크 위에 금속을 증착시키는 금속 증착단계;상기 마스크를 제거하는 마스크 제거단계;상기 마스크가 제거된 상기 유연성 기판 위에 형성된 그래핀 옥사이드층을 환원하는 그래핀(Graphene) 환원단계;를 포함하되,상기 그래핀 환원단계는;펄스 레이저 노출(Pulsed Laser Exposure), RF 플라즈마 노출(RF Plasma Exposure) 및 전자빔 노출(E-Beam Exposure)중 어느 하나 이상의 물리적 방법을 사용하고, 이후 후속 열 처리(Thermal Annealing)로 상기 그래핀 옥사이드층을 환원(reduction)시켜 드레인 전극, 소오스 전극 및 채널층을 동일면에 일체로 형성하는 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자의 제조방법
2	2 제 1항에 있어서,상기 그래핀 환원단계에서;상기 채널층이 상기 드레인 전극과 소오스 전극 사이에 형성되는 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자의 제조방법
3	3 제 1항에 있어서,상기 그래핀 환원단계에서;상기 그래핀 옥사이드층이 부분 환원(Partially reduced)되어 상기 채널층이 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자의 제조방법
4	4 제 1항에 있어서,상기 그래핀 환원단계에서;상기 그래핀 옥사이드층이 완전 환원(Fully reduced)되어 상기 드레인 전극 및 소스 전극이 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자의 제조방법
5	5 제 1항에 있어서,상기 금속 증착단계에서;상기 증착된 금속이 게이트 전극인 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자의 제조방법
6	6 제 5항에 있어서,상기 게이트 전극은;상기 그래핀 옥사이드층 위에 티탄 알루미늄계 합금(Ti/Al) 금속을 증착하여 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자의 제조방법
7	7 제 1항에 있어서,상기 그래핀 옥사이드층의 환원 이후에, 상기 기판을 열 처리(Thermal Annealing)하는 열처리 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자의 제조방법
8	8 삭제
9	9 유연성 기판;상기 유연성 기판 위에 드레인 전극, 소오스 전극 및 채널층이 동일면에 일체로 형성된 그래핀 옥사이드층;상기 채널층 위에 형성된 게이트 절연층;상기 절연층 위에 형성된 게이트 전극;을 포함하되,상기 드레인 전극 및 소스 전극은,펄스 레이저 노출(Pulsed Laser Exposure), RF 플라즈마 노출(RF Plasma Exposure) 및 전자빔 노출(E-Beam Exposure)중 어느 하나 이상의 물리적 방법을 사용하여 상기 그래핀 옥사이드층을 환원(reduction)시켜 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자
10	10 제 9항에 있어서,상기 채널층은;상기 드레인 전극과 소오스 전극 사이에 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자
11	11 제 9항에 있어서,상기 채널층은;상기 그래핀 옥사이드층이 부분 환원(Partially reduced)되어 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자
12	12 제 9항에 있어서,상기 드레인 전극 및 소스 전극은,상기 그래핀 옥사이드층이 완전 환원(Fully reduced)되어 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자
13	13 제 9항에 있어서,상기 게이트 전극은;상기 그래핀 옥사이드층 위에 금속을 증착하여 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자
14	14 제 13항에 있어서,상기 게이트 전극을 형성하는 금속은;티탄 알루미늄계 합금(Ti/Al)인 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자
15	15 제 13항에 있어서,상기 절연층은;상기 그래핀 옥사이드층 위에 금속을 증착하면서 화학적 결합에 의하여 상기 금속의 하부가 산화되어 형성된 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자
16	16 제 9항 내지 제 15항중 어느 한 항에 있어서,상기 그래핀계 탄소소재 전자소자는, 박막 필름 트랜지스터(Thin-Flim Transistor)인 것을 특징으로 하는 그래핀계 탄소소재 전자소자

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데이터 이관에 따른 소요기간(1일)으로 인하여 등록원부와 일부 차이가 발생할 수 있으며, 일부 정보(부기, 상세 주소 등)를 제공하지 않고 있습니다.
법적증빙자료로 활용하시거나 더 자세한 정보를 보시려면 등록원부를 발급받아 사용하시기 바랍니다.

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특허 등록번호	10-1347889-0000

권리란

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표시번호	사항
1	출원 연월일 : 20120510 출원 번호 : 1020120049935 공고 연월일 : 20140109 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20131219 청구범위의 항수 : 15 유별 : H01L 29/786 발명의 명칭 : 그래핀계 탄소소재 전자소자 및 그 제조방법 존속기간(예정)만료일 : 20191228

특허권자란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 특허권자란 표입니다.
순위번호	사항
1	(권리자) 울산대학교 산학협력단 울산광역시 남구...

등록료란

순위번호, 사항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 등록사항 > 등록료란 표입니다.
제 1 - 3 년분	금 액	315,000 원	2013년 12월 30일	납입
제 4 년분	금 액	259,000 원	2016년 12월 14일	납입
제 5 년분	금 액	266,770 원	2018년 01월 16일	납입
제 6 년분	금 액	185,000 원	2018년 10월 26일	납입

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정확한 서류를 확인하시려면 해당 웹사이트에서 조회하시기 바랍니다. (특허로 바로가기: http://www.patent.go.kr)
해당 서비스는 점검으로 인해 매주 일요일 00:00 ~ 02:00까지 이용이 중단됩니다.

번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2012.05.10	수리 (Accepted)	1-1-2012-0375970-53
2	선행기술조사의뢰서	2013.04.02	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
3	선행기술조사보고서	2013.05.09	수리 (Accepted)	9-1-2013-0036750-07
4	의견제출통지서	2013.06.21	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0426791-43
5	[지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서	2013.08.16	수리 (Accepted)	1-1-2013-0744530-78
6	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서	2013.09.06	수리 (Accepted)	1-1-2013-0819259-35
7	[명세서등 보정]보정서	2013.09.06	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2013-0819265-10
8	출원인정보변경(경정)신고서	2013.11.29	수리 (Accepted)	4-1-2013-0057072-80
9	등록결정서	2013.12.19	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2013-0879455-19
10	출원인정보변경(경정)신고서	2013.12.30	수리 (Accepted)	4-1-2013-5176374-15
11	출원인정보변경(경정)신고서	2016.06.20	수리 (Accepted)	4-1-2016-5080807-13
12	출원인정보변경(경정)신고서	2020.07.10	수리 (Accepted)	4-1-2020-5154267-54


기술번호	KST2015226516
자료제공기관	기관
기술공급기관	울산대학교
기술명	그래핀계 탄소소재 전자소자 및 그 제조방법
기술개요	본 발명은 유연성 기판을 사용하는 그래핀계 탄소소재 전자소자 및 그 제조방법에 관한 것으로, 유연성 기판; 상기 유연성 기판 위에 각각 형성된 드레인 전극 및 소오스 전극; 상기 드레인 전극과 소오스 전극 사이에 형성된 채널층; 상기 채널층 위에 형성된 게이트 절연층; 상기 절연층 위에 형성된 게이트 전극;을 포함하며, 제조 공정을 단순화하여 작업성을 향상시키고, 저온 공정으로 인하여 유연성 기판을 사용할 수 있고, 식각 공정을 거치지 않아 작업시간을 단축시킬 뿐만 아니라 제조 단가를 절감시킨다.
개발상태
기술의 우수성
응용분야
시장규모 및 동향
희망거래유형
사업화적용실적
도입시고려사항


과제고유번호	9991005630
세부과제번호	2012R1A1A4A01010369
연구과제명	저가풍부한 원소로 구성된 CZTS 박막 태양전지의 효율 극대화 연구
성과구분	등록
부처명	교육부
연구관리전문기관명
연구주관기관명
성과제출연도	2013
연구기간	201205~201504
기여율	1
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	ET(환경기술)


과제고유번호	1345120893
세부과제번호	2009-0074770
연구과제명	스위치 요소로 쇼트키 다이오드를 적용한 3차원 적층 저항 변화형메모리(ReRAM) 기술 개발
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국연구재단
연구주관기관명	울산대학교 산학협력단
성과제출연도	2010
연구기간	200905~201104
기여율	0.5
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	IT(정보기술)


과제고유번호	1345189335
세부과제번호	2012R1A1A4A01010369
연구과제명	저가풍부한 원소로 구성된 CZTS 박막 태양전지의 효율 극대화 연구
성과구분	출원
부처명	교육과학기술부
연구관리전문기관명	한국연구재단
연구주관기관명	울산대학교
성과제출연도	2012
연구기간	201205~201504
기여율	0.5
연구개발단계명	기초연구
6T분류명	ET(환경기술)

특허성과

[1020130024729]	그래핀 산화물의 국소 환원을 이용한 탄소층 기반 집적회로 제작 방법 및 이의 응용	새창보기
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[1020120049935]	그래핀계 탄소소재 전자소자 및 그 제조방법	새창보기
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[1020100065368]	반도체 소자의 표면 처리 방법 및 그 표면 처리 장치	새창보기

중요키워드

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[KST2017002674][울산대학교]	그래핀계 탄소소재 전자소자 및 그 제조방법	새창보기

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