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비저항형 팔라듐 나노입자(Pd NPs)에 니켈 나노입자(Ni NPs)를 첨가하여 니켈/팔라듐(Ni/Pd)의 2가지 금속의 나노입자로 형성된 니켈-팔라듐 나노복합체를 그래핀에 부착시켜 지지한 나노입자 지지 그래핀(Ni/Pd-Gr)으로 만든 수소센서인 것을 특징으로 하는 니켈-팔라듐/그래핀(Ni/Pd-Gr) 나노복합체 기반 수소센서
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제1항에 있어서,상기 팔라듐 나노입자(Pd NPs)에 첨가하는 니켈 나노입자(Ni NPs)의 비율을 나타내는 니켈/팔라듐(Ni/Pd)의 비는 7 중량% 이하인 것을 특징으로 하는 니켈-팔라듐/그래핀(Ni/Pd-Gr) 나노복합체 기반 수소센서
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제1항 또는 제2항의 수소센서의 제조방법에 있어서,팔라듐 나노입자(Pd NPs)가 포함된 일정 농도의 팔라듐 염화물(PdCl2)에 니켈 나노입자(Ni NPs)가 포함된 일정 농도의 니켈 염화물(NiCl2)을 용해하는 단계;상기 단계에 의해 혼합된 팔라듐과 니켈 염화물(PdCl2+NiCl2)을 그래핀 산화물(GO)과 실온에서 교반하면서 1대1로 혼합하여 나노복합체의 혼합물을 합성하는 단계;상기 혼합물을 합성할 때 환원제를 추가로 첨가하여 실온보다 더 높은 온도에서 교반하는 단계;상기 환원제의 첨가에 의해 환원된 니켈-팔라듐 그래핀(Ni/Pd-Gr) 나노복합체의 혼합물을 현탁액으로 하여 분사에 의해 SiO2/Si 기지에 침전시키는 단계;상기 혼합물을 침전시키는 단계에 의해 형성된 Ni/Pd-Gr/SiO2/Si 기지의 표면에 귀금속을 도금하여 오믹(Ohmic) 접촉층을 형성하여 단계; 및상기 오믹(Ohmic) 접촉층이 형성되어 만들어진 Ni/Pd-Gr/SiO2/Si 센서칩을 후 어닐링으로 열처리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 니켈-팔라듐/그래핀(Ni/Pd-Gr) 나노복합체 기반 수소센서의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 팔라듐 염화물(PdCl2)에 용해되는 니켈 염화물(PdCl2+NiCl2)은 농도조절에 의해 니켈 나노입자(Ni NPs)가 7 중량% 이하로 첨가되는 것을 특징으로 하는 니켈-팔라듐/그래핀(Ni/Pd-Gr) 나노복합체 기반 수소센서의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 환원제는 65중량%의 환원제 수화물(N2H4
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제3항에 있어서,상기 SiO2/Si 기지에 나노복합체 혼합물을 분사할 때 SiO2/Si 기지를 일정온도로 가열하는 것을 특징으로 하는 니켈-팔라듐/그래핀(Ni/Pd-Gr) 나노복합체 기반 수소센서의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 오믹(Ohmic) 접촉층은 금속마스크와 RF 박막증착에 의해 형성하는 것을 특징으로 하는 니켈-팔라듐/그래핀(Ni/Pd-Gr) 나노복합체 기반 수소센서의 제조방법
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제3항에 있어서,상기 후 어닐링의 열처리는 400℃의 아르곤(Ar) 가스 분위기에서 30분 동안 이루어지는 것을 특징으로 하는 니켈-팔라듐/그래핀(Ni/Pd-Gr) 나노복합체 기반 수소센서의 제조방법
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