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복수개의 공정들에 있어서 공정별 온도를 제어하기 위한 공정별 설정온도, 공정시간 및 온도 변화율의 정보를 포함하는 온도 프로파일과 외부 온도 센서로부터 입력되는 온도 측정값에 관한 피드백 데이터를 기록하는 레지스터의 집합으로 이루어지는 레지스터모듈; 및 상기 온도 프로파일 및 상기 피드백 데이터에 따라 상기 공정별로 대응되는 접점별 온도 제어를 수행하는 접점제어모듈을 포함하되,상기 접점제어모듈은,상기 온도 프로파일에 따라 외부의 전기 발열체인 히터의 작동을 위해 출력되는 전류의 펄스 폭을 결정하는 온도 제어부;상기 온도 제어부에서 결정된 상기 펄스 폭에 따라 상기 히터의 작동을 위한 펄스 폭 변조 신호를 출력하는 히터 구동부; 및외부의 온도 센서와 통신을 수행하여 상기 온도 센서로부터 측정된 온도 측정값을 입력 받으며 입력된 상기 온도 측정값을 상기 온도 제어부에 제공하는 입출력부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 다접점 온도 조절 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 온도 제어부는,상기 온도 측정값과 상기 설정온도의 오차를 계산하고, 오차 개선을 위해 상기 펄스 폭을 재결정하기 위한 수학적 모델을 생성하며, 상기 수학적 모델에 따라 획득된 출력값에 따라 전류의 펄스폭을 재결정하는 것을 특징으로 하는 다접점 온도 조절 시스템
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제 3 항에 있어서, 상기 온도 제어부는,하기 수학식에 따라 상기 수학적 모델을 생성되는 것이되, 하기 수학식에 있어서 이득(Kp, Ki, Kd)은 상온의 온도 및 습도에 따라 상기 오차에 미치는 관련성을 계산하는 신경망 제어를 통해 결정되는 것을 특징으로 하는 다접점 온도 조절 시스템
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제 1 항에 있어서,GPIO(General Purpose Input/Output)로 이루어지는 입출력모듈; 및표준 제어용 버스와 연결하기 위한 DPRAM으로 구성되며, 외부 호스트와의 통신 수행을 위한 인터페이스를 지원하는 메모리모듈을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다접점 온도 조절 시스템
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제 5 항에 있어서,상기 메모리모듈은 상기 온도 프로파일 및 상기 피드백 데이터에 대한 값을 기록하는 것이되, 상기 메모리모듈에 기록된 값에 따라 상기 레지스터모듈에 기록된 값이 변경되는 것을 특징으로 하는 다접점 온도 조절 시스템
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제 1 항에 있어서, 상기 레지스터모듈은 시스템의 전반적인 사용 환경 설정을 위한 제어 레지스터;상기 온도 프로파일 및 외부 장치와의 입출력 환경을 설정하기 위한 데이터 레지스터; 및상기 접점제어모듈의 변수 및 상기 피드백 데이터를 기록하는 상태 레지스터를 포함하는 것을 특징으로 하는 다접점 온도 조절 시스템
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