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다단 메쉬구조체 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2015228134
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 서로 크기가 다른 미세 메쉬를 가지는 메쉬플레이트가 다단으로 결합된 다단 메쉬구조체 및 그 제조방법에 대한 것이다. 본 발명에 따른 다단 메쉬구조체는 미세 메쉬플레이트가 다층으로 적층되어 결합된다. 또한, 상기 다단 메쉬구조체는 다층으로 적층된 메쉬플레이트는 메쉬의 크기가 서로 다른 것을 특징으로 하는 것이 바람직하다. 본 발명의 일 측면에 따른 다단 메쉬구조체의 제조방법은 실리콘 웨이퍼를 식각하여 제1패턴의 메쉬홈을 형성하는 단계와, 상기 메쉬홈에 충진물질을 채워서 제1메쉬플레이트를 제작하는 단계와, 상기 제1메쉬플레이트가 채워진 실리콘 웨이퍼에 포토레지스트를 이용하여 제1패턴보다 작은 크기의 메쉬를 가지는 제2패턴의 메쉬홈을 형성하는 단계와, 상기 제2패턴의 메쉬홈에 충진물질을 채워서 제2메쉬플레이트를 제작하는 단계와, 화학적 용액 식각으로 포토레지스트를 제거하는 단계를 포함한다. 본 발명에 의하면 얇은 두께를 가진 플레이트를 사용하여 아주 작은 크기의 미세메쉬플레이트를 제작하고, 두꺼운 두께를 가진 플레이트를 사용하여 상대적으로 큰 크기의 미세메쉬플레이트를 제작하여 이를 결합시킴으로써 메쉬구조체의 강도를 높이는 한편 메쉬의 크기를 작게 할 수 있다.
Int. CL B01D 39/20 (2006.01) B01D 71/02 (2006.01) B01D 69/02 (2006.01)
CPC B01D 71/02(2013.01) B01D 71/02(2013.01) B01D 71/02(2013.01) B01D 71/02(2013.01)
출원번호/일자 1020140004415 (2014.01.14)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1596110-0000 (2016.02.15)
공개번호/일자 10-2015-0084420 (2015.07.22) 문서열기
공고번호/일자 (20160219) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.01.14)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고종수 대한민국 부산광역시 해운대구
2 정경국 대한민국 부산광역시 북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2014-0036453-22
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.07.07 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2014.08.08 수리 (Accepted) 9-1-2014-0062717-99
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.03.25 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0201996-10
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.05.26 수리 (Accepted) 1-1-2015-0499406-13
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.06.24 수리 (Accepted) 1-1-2015-0611692-49
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.07.27 수리 (Accepted) 1-1-2015-0725339-32
8 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2015.08.25 수리 (Accepted) 1-1-2015-0822534-37
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2015.08.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2015-0134527-17
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.09.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0921932-40
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.01.13 수리 (Accepted) 4-1-2016-5004891-78
12 등록결정서
Decision to grant
2016.01.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0068792-05
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.09 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004005-98
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.01.10 수리 (Accepted) 4-1-2017-5004797-18
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번호 청구항
1 1
실리콘 웨이퍼를 식각하여 제1패턴의 메쉬홈을 형성하는 단계와,상기 메쉬홈에 충진물질을 채워서 제1메쉬플레이트를 제작하는 단계와,상기 제1메쉬플레이트가 채워진 실리콘 웨이퍼에 포토레지스트를 이용하여 제1패턴보다 작은 크기의 메쉬를 가지는 제2패턴의 메쉬홈을 형성하는 단계와,상기 제2패턴의 메쉬홈에 충진물질을 채워서 제2메쉬플레이트를 제작하는 단계와,화학적 용액 식각으로 포토레지스트를 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 메쉬구조체 제조방법
2 2
기판 위에 리소그래피를 통해 제1패턴의 메쉬홈을 가지는 제1메쉬플레이트를 제작하는 단계와,상기 제1메쉬플레이트에 포토레지스트를 도포하여 리소그래피를 통해서 상기 제1패턴보다 큰 크기의 제2패턴의 메쉬를 형성하는 단계와,상기 제2패턴의 메쉬에 충진물질을 채워서 도포하는 단계와,상기 충진물질을 채운 후 화학적 용액 식각으로 포토레지스트를 제거하고 상기 기판을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 메쉬구조체 제조방법
3 3
제1패턴의 메쉬홈을 가지는 제1메쉬플레이트를 제작하는 단계와,상기 제1패턴의 메쉬홈과 다른 크기를 가지는 제2패턴의 메쉬홈을 가지는 제2메쉬플레이트를 제작하는 단계와,상기 제1메쉬플레이트와 상기 제2메쉬플레이트에 전기저항열을 이용하여 용융접합 시키거나, 공정접합을 이용하거나, 압력이나 열을 주어 접착제로 결합시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 메쉬구조체 제조방법
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 다단 메쉬구조체의 표면에 미세구조를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 다단 메쉬구조체 제조방법,
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7 7
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국가 R&D 정보가 없습니다.