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탄소나노튜브 배열구조를 이용한 플렉서블 마이크로 가스센서로서, 플렉서블 기판;상기 플렉서블 기판 상에 형성되는 전극층;상기 플렉서블 기판과 상기 전극층을 전체적으로 또는 부분적으로 덮는 상태로 적층되는 카본 필름층; 및 상기 카본 필름층 상에 형성되는 탄소나노튜브층;을 포함하며,상기 탄소나노튜브층은 상기 카본 필름층 상에 적층되는 금속촉매로부터 성장한 것을 특징으로 하는,탄소나노튜브 배열구조를 이용한 플렉서블 마이크로 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 카본 필름층은 그래핀(graphene), 그라파이트(graphite), 카본 블랙(carbon black), 탄소나노튜브(CNT, carbon nanotube) 및 탄소나노섬유(CNF, carbon nano fiber)을 포함하는 그룹 중 어느 하나인,탄소나노튜브 배열구조를 이용한 플렉서블 마이크로 가스센서
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제 1 항에 있어서, 상기 금속촉매는 철, 니켈, 알루미늄, 몰리브덴, 마그네슘, 코발트, 팔라듐을 포함하는 그룹 중 어느 하나인,탄소나노튜브 배열구조를 이용한 플렉서블 마이크로 가스센서
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제 1 항 내지 제 3 항 중 한 항에 따른 탄소나노튜브 배열구조를 이용한 플렉서블 마이크로 가스센서의 제조방법으로서, 플렉서블 기판을 준비하는 단계;상기 플렉서블 기판 상에 전극층을 형성하는 단계;상기 플렉서블 기판과 상기 전극층을 전체적으로 또는 부분적으로 덮는 상태로 카본 필름층을 적층하는 단계;상기 카본 필름층 상에 금속층을 적층하여 금속촉매층을 형성하는 단계; 및상기 카본 필름층 및 금속촉매층 상에 탄소공급원을 주입하여 상기 금속촉매 상에 탄소나노튜브를 성장시키는 단계;를 포함하는,플렉서블 마이크로 가스센서의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 금속촉매층을 형성하는 단계는,상기 금속촉매층을 패터닝 처리하는 단계를 포함하는,플렉서블 마이크로 가스센서의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 탄소나노튜브를 성장시키는 단계는,상온으로부터 기설정된 기준온도까지 순차적으로 온도가 상승하는 챔버 내에 상기 카본 필름층과 금속촉매층이 적층된 플렉서블 기판을 배치하는 단계를 포함하는,플렉서블 마이크로 가스센서의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 탄소나노튜브를 성장시키는 단계는,기설정된 기준온도에 다다른 챔버 내에 상기 카본 필름층과 금속촉매층이 적층된 플렉서블 기판을 배치하는 단계를 포함하는,플렉서블 마이크로 가스센서의 제조방법
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제 4 항에 있어서, 상기 금속촉매는 철, 니켈, 알루미늄, 몰리브덴, 마그네슘, 코발트, 팔라듐을 포함하는 그룹 중 어느 하나인,플렉서블 마이크로 가스센서의 제조방법
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