요약 | 본 발명은 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 제1 기판 위에 입력 단자 및 출력 단자를 가지는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계, 상기 출력 단자와 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계, 상기 화소 전극 위에 무기막을 적층하는 단계, 그리고 상기 무기막 위에 마스크를 배치시키고 이온 빔을 복수의 방향에서 조사하여 상기 무기막을 제1 배향막으로 변환하는 단계를 포함하며, 상기 이온 빔의 조사 시 상기 무기막과 상기 마스크 사이의 거리는 100㎛이하이다. 이렇게 하면 배향 불량 영역을 줄여 표시 불량을 방지할 수 있다.액정 표시 장치, 배향막, 무기막, 이온 빔 배향 방법 |
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Int. CL | G02F 1/1337 (2006.01) |
CPC | |
출원번호/일자 | 1020080030251 (2008.04.01) |
출원인 | 삼성디스플레이 주식회사, 부산대학교 산학협력단 |
등록번호/일자 | 10-1448007-0000 (2014.09.30) |
공개번호/일자 | 10-2009-0105019 (2009.10.07) 문서열기 |
공고번호/일자 | (20141008) 문서열기 |
국제출원번호/일자 | |
국제공개번호/일자 | |
우선권정보 | |
법적상태 | 소멸 |
심사진행상태 | 수리 |
심판사항 | |
구분 | 신규 |
원출원번호/일자 | |
관련 출원번호 | |
심사청구여부/일자 | Y (2013.02.18) |
심사청구항수 | 28 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 삼성디스플레이 주식회사 | 대한민국 | 경기 용인시 기흥구 |
2 | 부산대학교 산학협력단 | 대한민국 | 부산광역시 금정구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 노순준 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
2 | 김장섭 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
3 | 전백균 | 대한민국 | 경기도 용인시 수지구 |
4 | 이희근 | 대한민국 | 경기도 수원시 영통구 |
5 | 김재창 | 대한민국 | 부산광역시 동래구 |
6 | 윤태훈 | 대한민국 | 부산광역시 해운대구 |
7 | 손필국 | 대한민국 | 부산 수영구 |
8 | 조봉균 | 대한민국 | 부산광역시 부산진구 |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 팬코리아특허법인 | 대한민국 | 서울특별시 강남구 논현로**길 **, 역삼***빌딩 (역삼동) |
번호 | 이름 | 국적 | 주소 |
---|---|---|---|
1 | 삼성디스플레이 주식회사 | 경기 용인시 기흥구 | |
2 | 부산대학교 산학협력단 | 부산광역시 금정구 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application |
2008.04.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0236389-36 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2012.06.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5132663-40 |
3 | [출원인변경]권리관계변경신고서 [Change of Applicant] Report on Change of Proprietary Status |
2012.09.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0742763-17 |
4 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 [Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination) |
2013.02.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0143894-96 |
5 | 선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search |
2013.12.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2014.01.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000027-56 |
7 | 선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search |
2014.01.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2014-0003525-13 |
8 | 의견제출통지서 Notification of reason for refusal |
2014.01.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0066616-62 |
9 | [명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment |
2014.03.18 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0260872-93 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 [Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation) |
2014.03.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0260868-10 |
11 | 등록결정서 Decision to grant |
2014.07.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0515483-96 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2015.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5104722-59 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2016.01.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5004891-78 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004005-98 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2017.01.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004797-18 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 Notification of change of applicant's information |
2019.01.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5016605-77 |
번호 | 청구항 |
---|---|
1 |
1 제1 기판, 상기 제1 기판 위에 형성되어 있는 게이트선, 상기 게이트선과 교차하는 데이터선 및 복수의 박막트랜지스터, 상기 복수의 박막트랜지스터 위에 각각 형성된 복수의 화소 전극,상기 화소 전극 위에 적어도 2개 이상의 배향 방향을 갖는 배향 영역이 형성된 제1 무기 배향막,상기 제1 기판에 대응하는 제2 기판,상기 제2 기판 위에 형성된 공통 전극,상기 공통 전극 위에 적어도 상기 제1 무기 배향막의 배향 방향과 다른 2개 이상의 배향 방향을 갖는 배향 영역이 형성된 제2 무기 배향막을 포함하고,상기 제1 무기 배향막의 상기 적어도 2개 이상의 배향 방향을 갖는 배향 영역들 사이 및 상기 제2 무기 배향막의 상기 2개 이상의 배향 방향을 갖는 배향 영역들 사이에 위치하는 배향 불량 영역의 너비는 20㎛이하인 액정 표시 장치 |
2 |
2 제1항에서,상기 제1 무기 배향막은 하나의 화소 내에 서로 다른 배향 영역을 포함하는 액정 표시 장치 |
3 |
3 제1항에서,상기 제2 무기 배향막은 하나의 화소 내에 서로 다른 배향 영역을 포함하는 액정 표시 장치 |
4 |
4 제1항에서,상기 제1 무기 배향막은 서로 다른 화소에 형성되어 있는 서로 다른 배향 영역을 포함하는 액정 표시 장치 |
5 |
5 제1항에서,상기 제2 무기 배향막은 서로 다른 화소에 형성되어 있는 서로 다른 배향 영역을 포함하는 액정 표시 장치 |
6 |
6 제1항에서, 상기 제1 및 제2 무기 배향막의 이온빔의 조사각도는 수평면에 대하여 60도 내지 85도인 액정 표시 장치 |
7 |
7 제6항에서,상기 이온빔의 에너지는 50eV 내지 70eV이고, 상기 이온 빔의 조사 밀도는 2 |
8 |
8 제1항에서,상기 제1 및 제2 무기 배향막의 두께는 50nm로 하는 액정 표시 장치 |
9 |
9 제8항에서,상기 제1 및 제2 무기 배향막은 산화규소 또는 질화규소를 포함하는 액정 표시 장치 |
10 |
10 제1 기판 위에 입력 단자 및 출력 단자를 가지는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계,상기 출력 단자와 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계,상기 화소 전극 위에 무기막을 적층하는 단계, 그리고상기 무기막 위에 마스크를 배치하고 이온 빔을 조사하여 상기 무기막을 제1 배향막으로 변환하는 단계를 포함하고, 상기 이온 빔의 조사시 상기 무기막과 상기 마스크 사이의 거리가 20㎛ 내지 100㎛ 인 액정 표시 장치의 제조 방법 |
11 |
11 제10항에서,상기 무기막을 제1 배향막으로 변환하는 단계는상기 제1 배향막을 제1 및 제2 스트라이프 영역을 포함하는 복수의 스트라이프 영역으로 구분하고, 상기 제1 스트라이프 영역에 스트라이프 형성 방향과 평행한 제1 방향으로 이온 빔을 조사하는 단계,상기 제1 스트라이프 영역과 인접한 상기 제2 스트라이프 영역에 상기 제1 방향과 반대 방향인 제2 방향으로 이온 빔을 조사하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
12 |
12 제11항에서,상기 제1 스트라이프 영역과 제2 스트라이프 영역은 하나의 화소 내에 형성되는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
13 |
13 제11항에서,상기 제1 스트라이프 영역과 제2 스트라이프 영역은 서로 다른 화소에 각각 형성되는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
14 |
14 삭제 |
15 |
15 제10항에서,상기 무기막을 제1 배향막으로 변환하는 단계에서 상기 이온 빔의 조사 각도는 60°내지 85°인 액정 표시 장치의 제조 방법 |
16 |
16 제15항에서,상기 무기막을 제1 배향막으로 변환하는 단계에서 상기 이온 빔의 에너지는 50eV 내지 70eV이고, 상기 이온 빔의 조사 밀도는 2 |
17 |
17 제15항에서,상기 무기막의 적층 단계에서, 상기 무기막은 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착되며, 증착 온도는 75℃ 내지 300℃인 액정 표시 장치의 제조 방법 |
18 |
18 제17항에서,상기 무기막의 두께는 50nm로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
19 |
19 제18항에서,상기 무기막은 산화규소 또는 질화규소를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
20 |
20 제10항에서,상기 이온 빔 소스는 CHC형의 이온 빔 소스인 액정 표시 장치의 제조 방법 |
21 |
21 제10항에서,상기 이온 빔은 아르곤 이온을 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
22 |
22 제10항에서,상기 제1 기판과 마주하고 있는 제2 기판 위에 공통 전극을 형성하는 단계;상기 공통 전극 위에 무기막을 적층하는 단계;상기 무기막을 이온 빔을 조사하여 제2 배향막으로 변환하는 단계;상기 제1 배향막 및 상기 제2 배향막 사이에 액정층을 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
23 |
23 제22항에서,상기 무기막을 제2 배향막으로 변환하는 단계는상기 제2 배향막을 제3 및 제4 스트라이트 영역을 포함하는 복수의 스트라이프 영역으로 구분하고, 상기 제3 스트라이프 영역에 스트라이프 형성 방향과 평행한 제3방향으로 이온 빔을 조사하는 단계, 상기 제3 스트라이프 영역과 인접한 상기 제4 스트라이프 영역에 상기 제3 방향과 반대의 방향인 제4 방향으로 이온 빔을 조사하는 단계를 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
24 |
24 제23항에서,상기 제3 스트라이프 영역과 제4 스트라이프 영역은 하나의 화소 내에 형성되는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
25 |
25 제23항에서,상기 제3 스트라이프 영역과 제4 스트라이프 영역은 서로 다른 화소에 각각 형성되는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
26 |
26 제22항에서,상기 액정층은 좌상(左上), 좌하(左下), 우상(右上) 및 우하(右下) 방향으로 배향되는 복수의 도메인을 포함하는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
27 |
27 제10항에서,상기 이온 빔의 조사 시 상기 무기막과 상기 마스크 사이의 거리가 50㎛이하인 액정 표시 장치의 제조 방법 |
28 |
28 제10항에서,상기 마스크는 상기 이온 빔이 통과하는 개구부를 가지며, 상기 개구부의 폭은 100㎛ 내지 2000㎛인 액정 표시 장치의 제조 방법 |
29 |
29 제28항에서,상기 마스크는 스테인레스 또는 알루미늄으로 만들어지는 액정 표시 장치의 제조 방법 |
지정국 정보가 없습니다 |
---|
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | US08199293 | US | 미국 | FAMILY |
2 | US20090244461 | US | 미국 | FAMILY |
순번 | 패밀리번호 | 국가코드 | 국가명 | 종류 |
---|---|---|---|---|
1 | US2009244461 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
2 | US8199293 | US | 미국 | DOCDBFAMILY |
국가 R&D 정보가 없습니다. |
---|
특허 등록번호 | 10-1448007-0000 |
---|
표시번호 | 사항 |
---|---|
1 |
출원 연월일 : 20080401 출원 번호 : 1020080030251 공고 연월일 : 20141008 공고 번호 : 특허결정(심결)연월일 : 20140729 청구범위의 항수 : 28 유별 : G02F 1/1337 발명의 명칭 : 액정 표시 장치의 제조 방법 존속기간(예정)만료일 : |
순위번호 | 사항 |
---|---|
1 |
(권리자) 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구... |
1 |
(권리자) 삼성디스플레이 주식회사 경기 용인시 기흥구... |
제 1 - 3 년분 | 금 액 | 1,137,000 원 | 2014년 09월 30일 | 납입 |
제 4 년분 | 금 액 | 656,000 원 | 2017년 08월 31일 | 납입 |
제 5 년분 | 금 액 | 656,000 원 | 2018년 08월 29일 | 납입 |
제 6 년분 | 금 액 | 656,000 원 | 2019년 08월 22일 | 납입 |
번호 | 서류명 | 접수/발송일자 | 처리상태 | 접수/발송번호 |
---|---|---|---|---|
1 | [특허출원]특허출원서 | 2008.04.01 | 수리 (Accepted) | 1-1-2008-0236389-36 |
2 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2012.06.21 | 수리 (Accepted) | 4-1-2012-5132663-40 |
3 | [출원인변경]권리관계변경신고서 | 2012.09.13 | 수리 (Accepted) | 1-1-2012-0742763-17 |
4 | [심사청구]심사청구(우선심사신청)서 | 2013.02.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2013-0143894-96 |
5 | 선행기술조사의뢰서 | 2013.12.09 | 수리 (Accepted) | 9-1-9999-9999999-89 |
6 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2014.01.02 | 수리 (Accepted) | 4-1-2014-0000027-56 |
7 | 선행기술조사보고서 | 2014.01.10 | 수리 (Accepted) | 9-1-2014-0003525-13 |
8 | 의견제출통지서 | 2014.01.28 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0066616-62 |
9 | [명세서등 보정]보정서 | 2014.03.18 | 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) | 1-1-2014-0260872-93 |
10 | [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서 | 2014.03.18 | 수리 (Accepted) | 1-1-2014-0260868-10 |
11 | 등록결정서 | 2014.07.29 | 발송처리완료 (Completion of Transmission) | 9-5-2014-0515483-96 |
12 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2015.08.05 | 수리 (Accepted) | 4-1-2015-5104722-59 |
13 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2016.01.13 | 수리 (Accepted) | 4-1-2016-5004891-78 |
14 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.09 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004005-98 |
15 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2017.01.10 | 수리 (Accepted) | 4-1-2017-5004797-18 |
16 | 출원인정보변경(경정)신고서 | 2019.01.24 | 수리 (Accepted) | 4-1-2019-5016605-77 |
기술번호 | KST2015228593 |
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자료제공기관 | 기관 |
기술공급기관 | |
기술명 | 액정 표시 장치의 제조방법 |
기술개요 |
본 발명은 액정 표시 장치의 제조 방법에 관한 것으로, 제1 기판 위에 입력 단자 및 출력 단자를 가지는 박막 트랜지스터를 형성하는 단계, 상기 출력 단자와 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계, 상기 화소 전극 위에 무기막을 적층하는 단계, 그리고 상기 무기막 위에 마스크를 배치시키고 이온 빔을 복수의 방향에서 조사하여 상기 무기막을 제1 배향막으로 변환하는 단계를 포함하며, 상기 이온 빔의 조사 시 상기 무기막과 상기 마스크 사이의 거리는 100㎛이하이다. 이렇게 하면 배향 불량 영역을 줄여 표시 불량을 방지할 수 있다.액정 표시 장치, 배향막, 무기막, 이온 빔 배향 방법 |
개발상태 | |
기술의 우수성 | |
응용분야 | |
시장규모 및 동향 | |
희망거래유형 | |
사업화적용실적 | |
도입시고려사항 |
과제고유번호 | 1345066970 |
---|---|
세부과제번호 | 10016738 |
연구과제명 | 초저가TFT-LCD용LCD기술개발 |
성과구분 | 출원 |
부처명 | 교육과학기술부 |
연구관리전문기관명 | 한국산업기술평가원 |
연구주관기관명 | 삼성전자 |
성과제출연도 | 2008 |
연구기간 | 200412~200909 |
기여율 | 1 |
연구개발단계명 | 개발연구 |
6T분류명 | IT(정보기술) |
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[KST2016004856][명지대학교] | 액정 배향층, 이를 이용한 액정표시소자 및 이의 제조방법(LIQUID CRYSTAL ALIGNMENT LAYER, LIQUID CRYSTAL DEVICE USING THE SAME AND METHOD FOR MANUFACTURING THE SAME) | 새창보기 |
[KST2016012293][한국전자기술연구원] | 전기활성 포토마스크(ELECTRIC ACTIVE PHOTO-MASK) | 새창보기 |
[KST2016005686][전북대학교] | 액정 디스플레이 소자의 응답 속도를 향상시키는 고분자 액정 배향막의 제조 방법 및 이러한 방법으로 제조된 액정 배향막(Preparation method of hybrid alignment layer with improvement of the relaxation time for LCD and the hybrid alignment layer made thereby) | 새창보기 |
[KST2016012436][세종대학교] | 육방정계 평면 구조를 이용하는 액정 디스플레이 장치 및 이의 구동방법(Liquid Crystal Display of using Hexagonal Plane Structure and Method of driving the same) | 새창보기 |
[KST2014037238][서울대학교] | 자기조립형 이방성 주름패턴을 형성하는 방법 | 새창보기 |
[KST2019002581][전북대학교] | 광반응성기를 가지는 배향유도형 액정 단량체, 그를 이용한 액정의 수평배향방법 및 그로부터 제조된 액정표시장치 | 새창보기 |
[KST2015015866][] | 수평스위칭 액정 표시장치 및 그 제조 방법 | 새창보기 |
[KST2016014644][부산대학교] | 액정표시장치 및 이의 구동 방법(LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE AND METHOD OF DRIVING THE SAME) | 새창보기 |
[KST2014037966][충남대학교] | 전자빔 조사 장치 및 이에 의한 액정의 배향 방법 | 새창보기 |
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