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챔버 내에서 다발성 클러스터 형태의 금속입자와 주입된 탄화수소가스, 수소가스가 반응하여 형성된 줄기형 탄소소재에 굴곡이 반복되는 형상을 가진 파도형 탄소나노코일(WNC)이 부착된 구조를 갖는 줄기형 탄소소재(SCM)
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청구항 1에 있어서,상기 파도형 탄소나노코일(WNC)이 부착된 구조는 줄기형 탄소소재로부터 분지된 형태인 것을 특징으로 하는 줄기형 탄소소재(SCM)
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청구항 2에 있어서,상기 분지된 형태는 열화학 기상증착법(T-CVD)을 이용하여 형성된 것을 특징으로 하는 줄기형 탄소소재(SCM)
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기판 상에 금속입자를 생성시키는 단계,상기 금속입자가 생성된 기판을 반응 챔버 내에 장착하는 단계,상기 챔버 내에 장착된 기판을 650~800℃의 온도로 가열하고, 탄화수소가스와 수소가스를 1:0
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청구항 5에 있어서,상기 기판은 산화규소, 알루미나, 실리콘, 스텐리스인 것에 특징이 있는 파도형 탄소나노코일(WNC)이 부착된 줄기형 탄소소재(SCM)의 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 금속입자는 금속다발이 모인 클러스터 형태인 것에 특징이 있는 파도형 탄소나노코일(WNC)이 부착된 줄기형 탄소소재(SCM)의 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 탄화수소가스는 아세틸렌가스인 것에 특징이 있는 파도형 탄소나노코일(WNC)이 부착된 줄기형 탄소소재(SCM)의 제조방법
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청구항 5에 있어서,상기 분지된 형태는 열화학 기상증착법(T-CVD)으로 제조된 것을 특징으로 하는 파도형 탄소나노코일(WNC)이 부착된 줄기형 탄소소재(SCM)의 제조방법
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청구항 1 내지 3 중 어느 한 항의 줄기형 탄소소재(SCM)를 이용하여 제조된 부품
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