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기판;상기 기판 상에 배치되며 목표 부위의 표면과 접촉하는 하나 이상의 평면형 전극; 및상기 기판과 일정한 각도를 이루며 상기 평면형 전극 위로 기울어지도록 형성되며, 상기 평면형 전극과 서로 다른 높이에서 상기 목표 부위에 침습하는 하나 이상의 침습형 전극을 포함하고,상기 평면형 전극 및 상기 침습형 전극은상기 평면형 전극의 표면을 상기 기판에 대하여 수직으로 연장하여 생성되는 공간 내에 존재하는 동일한 지점에 대하여 서로 다른 깊이에서 전기 자극을 가하거나 생체 신호를 검출하는 전극 배열체
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제1항에 있어서,상기 침습형 전극의 말단부는상기 평면형 전극의 표면을 상기 기판에 대하여 수직으로 연장하여 생성되는 공간 내에 존재하는전극 배열체
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제1항에 있어서,상기 기판은플렉서블(flexible)한 소재로 이루어지는전극 배열체
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제1항에 있어서,상기 침습형 전극은전도성 고분자 물질(Polymer)로 이루어지는전극 배열체
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제1항에 있어서,상기 평면형 전극과 연결되는 제1 급전부; 및상기 침습형 전극과 연결되는 제2 급전부를더 포함하는 전극 배열체
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기판을 준비하는 단계;상기 기판 상에 제1 전도층 및 제1 절연층을 순차적으로 적층하는 단계;상기 제1 절연층의 일부분을 제거하여 평면형 전극을 형성하는 단계;상기 평면형 전극 상에 반구체 형상의 포토레지스트를 적층하는 단계;상기 기판 상에 제2 절연층 및 제2 전도층을 순차적으로 적층하는 단계;상기 제2 절연층의 일부분 및 상기 제2 전도층의 일부분을 제거하는 단계;상기 기판 상에 제3 절연층을 적층하는 단계; 및상기 제3 절연층의 일부분 및 상기 반구체 형상의 포토레지스트를 제거하여 침습형 전극을 형성하는 단계를포함하는 전극 배열체 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 반구체 형상의 포토레지스트를 적층하는 단계는상기 평면형 전극 상에 특정한 높이로 포토레지스트를 적층하는 단계; 및특정한 높이로 적층된 상기 포토레지스트에 열을 가하는 단계를포함하는 전극 배열체 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 제1 절연층의 다른 일부분을 제거하여 제1 급전부를 형성하는 단계를더 포함하는 전극 배열체 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 침습형 전극과 연결되는 제2 급전부를 형성하는 단계를더 포함하는 전극 배열체 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 침습형 전극을 형성하는 단계는상기 침습형 전극의 말단부에서 상기 제2 전도층의 일부를 노출시켜 전극부를 형성하는 단계를포함하는 전극 배열체 제조 방법
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