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레이저를 조사하여 대상물을 가공하기 위한 레이저 발진부를 포함하는 레이저 가공 장치에 있어서,상기 레이저 가공 장치는,상기 레이저가 투과하여 상기 대상물을 가공하되, 대전 특성을 통해 상기 대상물에 조사되는 레이저의 특성을 변화시켜 상기 대상물에 나노 패턴을 형성시키도록 상기 대상물의 가공면 일측에 구비되는 매개물;상기 매개물에 전기장을 형성시키는 전기장 발생부; 를 포함하며,상기 레이저는 상기 매개물을 가공함과 동시에 상기 매개물을 투과하여 상기 대상물을 가공하는, 교류전장원을 이용한 레이저 가공 장치
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제 1항에 있어서,상기 매개물은,상기 가공면에 평행하게 형성된 유전층;상기 유전층의 일측면에 형성된 제1 전도층; 및상기 유전층의 타측면에 형성된 제2 전도층; 를 포함하며,상기 전기장 발생부는, 상기 제1 전도층 및 제2 전도층에 전압을 공급하고, 상기 유전층은 상기 제1 전도층 및 제2 전도층을 통해 대전되는, 교류전장원을 이용한 레이저 가공 장치
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제 2항에 있어서,상기 전기장 발생부를 통해 공급되는 전압은 크기가 5~ 20000V이고, 주파수가 1Hz~ 1THz 사이의 교류 전압인, 교류전장원을 이용한 레이저 가공 장치
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제 2항에 있어서,상기 유전층은,전기적으로 절연 및 유전 특성을 갖는 폴리머 또는 유전층 금속산화물질을 포함하는, 교류전장원을 이용한 레이저 가공 장치
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제 2항에 있어서,상기 레이저는,상기 제1 전도층 및 제2 전도층과 가공물 사이의 광 흡수율 차이가 5배 이상인 레이저 파장을 갖는 레이저인, 교류전장원을 이용한 레이저 가공 장치
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레이저를 조사하여 대상물을 가공하기 위한 레이저 가공 방법에 있어서,유전층의 일면과 타면에 전도층을 결합하여 매개물을 형성하는 단계;대전 특성을 통해 상기 대상물에 조사되는 레이저의 특성을 변화시켜 상기 대상물에 나노 패턴을 형성시키도록 유전층의 일면과 타면에 구비된 전도층에 전압을 인가하여 유전층을 대전시키는 단계;상기 매개물을 투과하여 상기 대상물을 가공하도록 레이저를 조사하는 단계;가공이 완료된 후 매개물을 제거하는 단계;를 포함하는, 교류전장원을 이용한 레이저 가공 방법
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제 6항에 있어서,상기 전압은 크기가 5~ 20000V이고, 주파수가 1Hz~ 1THz 사이의 교류 전압인, 교류전장원을 이용한 레이저 가공 방법
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제 6항에 있어서,상기 전도층은, 코팅 후 소결 또는 증착을 통해 유전층에 결합되는, 교류전장원을 이용한 레이저 가공 방법
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제 6항에 있어서,상기 매개물은, 습식 또는 건식 에칭을 통해 제거되는, 교류전장원을 이용한 레이저 가공 방법
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