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기판;상기 기판 상에 배치되고 개구부를 구비하는 스페이서층;상기 기판과 상기 스페이서층 사이에, 상기 개구부 내에 노출되고 상기 개구부의 중심으로부터 다른 거리에 배치된 다수 개의 도전성 라인들;상기 스페이서층 상에 배치되고 상기 개구부를 덮는 탄성 덮개부; 및상기 탄성 덮개부의 하부면 상에 배치된 도전성 패턴을 포함하되,상기 도전성 라인은 저항체를 구비하고,상기 저항체는 상기 도전성 패턴의 저항에 비해 큰 저항을 갖고, 또한 상기 도전성 패턴과 상기 도전성 라인 사이의 접촉 저항에 비해 큰 저항을 갖는 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 저항체는 상기 도전성 패턴의 저항에 비해 100 배 내지 1× 107배의 저항을 갖는 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 저항체는 상기 도전성 패턴과 상기 각 도전성 라인 사이의 접촉 저항에 비해 100 배 내지 1× 107배의 저항을 갖는 촉각 센서
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6
제1항에 있어서,상기 도전성 라인들은 상기 개구부의 중심으로부터 일 방향으로 배치된 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 도전성 라인들은 상기 개구부의 중심으로부터 양 방향으로 배치되되,각 도전성 라인이 상기 개구부의 중심으로부터 이격된 거리는 서로 다른 촉각 센서
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8
제1항 또는 제6항에 있어서,상기 개구부 내의 서로 다른 제1 영역과 제2 영역에서, 상기 도전성 라인의 폭과 상기 도전성 라인들 사이의 간격 중 적어도 하나는 서로 다르게 형성된 촉각 센서
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9
제1항에 있어서,상기 탄성 덮개부의 상부면 상에 배치된 탄성 패턴을 더 포함하는 촉각 센서
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제9항에 있어서,상기 탄성 패턴의 영률(Young's modulus)은 상기 탄성 덮개부의 영률에 비해 큰 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 도전성 라인들의 상기 개구부 내에 노출된 부분들은 상기 저항체들이고,상기 도전성 패턴은 서로 이격된 접지 도전성 패턴과 전원 도전성 패턴을 구비하는 촉각 센서
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제1항에 있어서,상기 도전성 라인들은 접지 도전성 라인과 전원 도전성 라인들을 포함하고, 상기 개구부 내에서, 상기 접지 도전성 라인은 상기 개구부의 중심선에 배치되고 상기 전원 도전성 라인들은 상기 접지 도전성 라인으로부터 다른 거리에 배치되고,상기 각 전원 도전성 라인은 상기 저항체를 구비하는 촉각 센서
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제12항에 있어서,상기 저항체는 상기 스페이서층 하부에 배치되어 상기 스페이서층에 의해 덮혀진 촉각 센서
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제12항에 있어서,상기 스페이서층은 상기 개구부를 제1 개구부와 제2 개구부로 구분하는 스페이서 패턴을 더 포함하고,상기 접지 도전성 라인은 상기 스페이서 패턴 하부에서 상기 스페이서 패턴을 따라 연장되면서 상기 제1 및 제2 개구부 내로 돌출되고,상기 전원 도전성 라인들은 상기 제1 개구부 내에 배치된 제1 전원 도전성 라인들과 상기 제2 개구부 내에 배치된 제2 전원 도전성 라인들을 구비하는 촉각 센서
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제14항에 있어서,상기 탄성 덮개부의 상부면 상에 배치되고 상기 스페이서 패턴을 따라 연장된 탄성 패턴을 더 포함하는 촉각 센서
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16
기판;상기 기판 상에 배치되고 개구부를 구비하는 스페이서층;상기 기판과 상기 스페이서층 사이에, 상기 개구부 내에 노출되고 상기 개구부의 중심선으로부터 다른 거리에 서로 평행하게 배치된 다수 개의 저항체들;상기 스페이서층 상에 배치되고 상기 개구부를 덮는 탄성 덮개부; 및상기 탄성 덮개부의 하부면 상에 배치되고 서로 이격된 접지 도전성 패턴과 전원 도전성 패턴을 구비하고,상기 각 저항체는 상기 도전성 패턴들의 저항에 비해 큰 저항을 갖고, 또한 상기 도전성 패턴들과 상기 저항체 사이의 접촉 저항에 비해 큰 저항을 갖는 촉각 센서
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제16항에 있어서,상기 저항체들은 상기 개구부의 중심으로부터 일 방향으로 배치된 촉각 센서
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제16항에 있어서,상기 저항체들은 상기 개구부의 중심으로부터 양 방향으로 배치되되,각 저항체가 상기 개구부의 중심으로부터 이격된 거리는 서로 다른 촉각 센서
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제16항 또는 제18항에 있어서,상기 개구부 내의 서로 다른 제1 영역과 제2 영역에서, 상기 저항체의 폭과 상기 저항체들 사이의 간격 중 적어도 하나는 서로 다르게 형성된 촉각 센서
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제16항에 있어서,상기 탄성 덮개부의 상부면 상에 배치된 탄성 패턴을 더 포함하는 촉각 센서
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제21항에 있어서,상기 탄성 패턴의 영률(Young's modulus)은 상기 탄성 덮개부의 영률에 비해 큰 촉각 센서
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기판;상기 기판 상에 배치되고 개구부를 구비하는 스페이서층;상기 기판과 상기 스페이서층 사이에, 상기 개구부 내에 노출되고 상기 개구부의 중심선에 배치된 접지 도전성 라인;상기 기판과 상기 스페이서층 사이에, 상기 개구부 내에 노출되고 상기 접지 도전성 라인으로부터 다른 거리에 배치되고 평행한 다수 개의 전원 도전성 라인들;상기 스페이서층 상에 배치되고 상기 개구부를 덮는 탄성 덮개부; 및상기 탄성 덮개부의 하부면 상에 배치된 도전성 패턴을 포함하되,상기 각 전원 도전성 라인은 저항체를 구비하고,상기 저항체는 상기 도전성 패턴의 저항에 비해 큰 저항을 갖고, 또한 상기 도전성 패턴과 상기 도전성 라인 사이의 접촉 저항에 비해 큰 저항을 갖는 촉각 센서
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제23항에 있어서,상기 저항체는 상기 스페이서층에 의해 덮힌 촉각 센서
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제23항에 있어서,상기 전원 도전성 라인들은 상기 개구부의 중심으로부터 일 방향으로 배치된 촉각 센서
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제23항에 있어서,상기 전원 도전성 라인들은 상기 개구부의 중심으로부터 양 방향으로 배치되되,각 전원 도전성 라인이 상기 개구부의 중심으로부터 이격된 거리는 서로 다른 촉각 센서
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제23항 또는 제26항에 있어서,상기 개구부 내의 제1 영역과 제2 영역에서 상기 전원 도전성 라인의 폭과 상기 전원 도전성 라인들 사이의 간격 중 적어도 하나는 서로 다르게 형성된 촉각 센서
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제23항에 있어서,상기 스페이서층은 상기 개구부를 제1 개구부와 제2 개구부로 구분하는 스페이서 패턴을 더 포함하고,상기 접지 도전성 라인은 상기 스페이서 패턴 하부에서 상기 스페이서 패턴을 따라 연장된 후, 상기 제1 및 제2 개구부 내로 돌출되고,상기 전원 도전성 라인들은 상기 제1 개구부 내에 배치된 제1 전원 도전성 라인들과 상기 제2 개구부 내에 배치된 제2 전원 도전성 라인들을 구비하는 촉각 센서
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제29항에 있어서,상기 탄성 덮개부의 상부면 상에 배치되고 상기 스페이서 패턴을 따라 연장된 탄성 패턴을 더 포함하는 촉각 센서
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제30항에 있어서,상기 탄성 패턴의 영률(Young's modulus)은 상기 탄성 덮개부의 영률에 비해 큰 촉각 센서
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접지와 전원 사이에 다수 개의 배선들이 병렬 연결되고,상기 각 배선은 직렬 연결되고 대상물체와의 접촉에 의해 턴온되는 스위치와 임피던스 소자를 포함하되,상기 임피던스 소자는 각 배선의 저항에 비해 큰 저항을 갖고, 또한 상기 스위치의 접촉저항에 비해 큰 저항을 갖고,상기 전원과 상기 접지 사이에 흐르는 전류의 크기는 턴온되는 스위치의 개수에 의존하여 계단 형태로 변화되는 촉각 센서
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