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플라즈마의 광학적 진단 파이버 보호 장치(Protection apparatus for optical fiber in plasma process)

  • 기술번호 : KST2015228865
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 반도체, 디스플레이, 태양전지 분야의 증착 공정 등 플라즈마를 사용한 공정에서 광학측정을 위해 광파이버를 이용해 광학측정을 진행하게 된다. 주로 사용되는 분야는 스퍼터 증착과정이며 이때 광파이버는 플라즈마 부근에 위치하여 광학측정을 진행한다. 이 때 타겟으로부터 스퍼터 된 물질들이 광파이버 앞 렌즈부분에 증착이 된다. 광파이버가 오염이 되면 측정되는 광도가 떨어져 정확한 플라즈마 광학측정을 하기 어렵기 때문에 이를 방지하기 위하여 광파이버 보호장치를 개발하게 되었다.
Int. CL H01L 21/203 (2006.01) C23C 14/52 (2006.01)
CPC C23C 14/52(2013.01) C23C 14/52(2013.01) C23C 14/52(2013.01)
출원번호/일자 1020140066043 (2014.05.30)
출원인 광운대학교 산학협력단, (주)원우시스템즈
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0137710 (2015.12.09) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.05.30)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 광운대학교 산학협력단 대한민국 서울특별시 노원구
2 (주)원우시스템즈 대한민국 서울특별시 동작구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 권기청 대한민국 경기도 광주시
2 박혜진 대한민국 서울특별시 중랑구
3 조태훈 대한민국 서울특별시 노원구
4 윤명수 대한민국 경기도 구리시
5 차성덕 대한민국 서울특별시 강남구
6 우원균 대한민국 서울특별시 동작구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 윤여강 대한민국 경기도 수원시 영통구 광교산로 ***-** (이의동) 경기대학교 창업보육센터 ***호(여강특허기술사업화전문회사)
2 박승민 대한민국 서울특별시 강남구 남부순환로**** 차우빌딩*층(특허법인지명)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0516041-51
2 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.05.30 수리 (Accepted) 1-1-2014-0515457-62
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2015.03.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.05.11 수리 (Accepted) 9-1-2015-0034256-86
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.05 수리 (Accepted) 4-1-2015-5074994-12
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.06.19 수리 (Accepted) 4-1-2015-0035371-91
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.09.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0610807-82
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.11.05 수리 (Accepted) 1-1-2015-1076713-94
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.11.05 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-1076709-11
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2016.02.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0099164-68
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.05.09 수리 (Accepted) 4-1-2016-5056854-41
12 [대리인사임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Resignation of Agent] Report on Agent (Representative)
2016.07.04 반려 (Return) 1-1-2016-0644172-16
13 일부반려안내문
Notification of Partial Return
2016.07.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0102544-23
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.03.27 수리 (Accepted) 4-1-2017-5046666-19
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
스퍼터링 챔버 내에 플라즈마가 발생되는 근처에 설치되어 플라즈마에서 방출되는 빛을 수광하는 광파이버에 스퍼터된 입자들이 증착되는 것을 방지하는 보호장치에 있어서, 이 보호장치는 길이를 사이에 두고 정면과 후면에 의해 통체를 형성하고 있는 몸체를 가지며,상기 후면에 형성되어 외측 부재에 연결되는 연결구, 이 연결구의 중심에 형성된 관통공, 상기 후면에 대향하는 정면에 형성된 입사공,몸체의 내부에 횡단하여 설치되는 적어도 한 개의 격벽, 상기 격벽에 형성된 관통공을 포함하되, 상기 입사공과 격벽의 관통공과 연결구의 관통공은 모두 동축으로 형성되어서 플라즈마 광이 통과해서 광파이버로 입사될 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 하는, 플라즈마의 광학적 진단 파이버 보호 장치
2 2
제1항에 있어서, 상기 정면, 후면, 그리고 격벽에는 각각, 상기 몸체의 외부와 연통되는 적어도 하나의 진공유지공이 형성되는 것을 특징으로 하는, 플라즈마의 광학적 진단 파이버 보호 장치
3 3
제2항에 있어서, 상기 진공유지공의 직경은 상기 관통공 및 상기 입사공의 직경보다 작은 것을 특징으로 하는, 플라즈마의 광학적 진단 파이버 보호 장치
4 4
제1항에 있어서, 상기 후면의 연결구에 결합되는 외측 부재는 광파이버인 것 을 특징으로 하는, 플라즈마의 광학적 진단 파이버 보호 장치
5 5
제1항에 있어서, 상기 후면의 연결구에 결합되는 외측 부재는 광이 투과되는 투영창인 것을 특징으로 하는, 플라즈마의 광학적 진단 파이버 보호 장치
6 6
제5항에 있어서, 상기 투영창은 광을 집속시키는 집속렌즈인 것을 특징으로 하는, 플라즈마의 광학적 진단 파이버 보호 장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 성균관대학교산학협력단 전자정보디바이스산업원천기술개발 초미세 반도체와 플렉서블 디스플레이 공정을 위한 무기물 박막증착용 고밀도 플라즈마 기술개발
2 중소기업청 광운대학교산학협력단 산학연협력기술개발 공정 플라즈마 방출광원을 이용한 실시간 두께측정 및 공정제어 기술 개발