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평탄면을 갖는 기판;상기 기판상에 제 1 방향으로 나란하게 형성된 복수 개의 도전성 라인들; 및상기 도전성 라인들의 일측으로 전기적으로 이격되며 상기 기판에 돌출된 지지대에 고정되어 상기 도전성 라인들과 위로 떨어져 교차하며 제 2 방향으로 형성된 하나 이상의 도전성 캔틸레버 빔을 포함하고,상기 도전성 라인들은 복수 개의 비트 입력라인과 하나의 출력라인으로 구성된 것을 특징으로 하는 전기기계 디지털 비교기
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제 1 항에 있어서,상기 복수 개의 비트 입력라인은 상기 지지대로부터 멀어지며 최하위 비트 입력라인에서 최상위 비트 입력라인으로 배열되고,상기 출력라인은 상기 지지대로부터 멀어지는 상기 최상위 비트 입력라인의 측면에 이격되어 나란히 배열된 것을 특징으로 하는 전기기계 디지털 비교기
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 캔틸레버 빔의 끝단 하부에는 도전성 컨택부가 더 형성되고,상기 캔틸레버 빔은 상기 복수 개의 비트 입력라인을 통해 입력되는 디지털 수치가 특정 값 이상일 경우 상기 도전성 컨택부가 상기 출력라인과 전기적으로 접촉된 상태에서 접촉되지 않은 상태로 혹은 접촉되지 않은 상태에서 접촉된 상태로 변화하는 것을 특징으로 하는 전기기계 디지털 비교기
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,상기 비트 입력라인과 상기 캔틸레버 빔은 각각 상기 캔틸레버 빔의 길이방향을 따라 서로 교차하는 부분의 면적 및 서로 이격된 수직거리 중 적어도 하나 이상을 달리하며 형성된 것을 특징으로 하는 전기기계 디지털 비교기
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평탄면을 갖는 기판;상기 기판상에 제 1 방향으로 나란하게 형성된 복수 개의 도전성 라인들; 및상기 도전성 라인들의 양측으로 전기적으로 이격되며 상기 기판에 돌출된 2개의 지지대에 고정되어 상기 도전성 라인들과 위로 떨어져 교차하며 제 2 방향으로 형성된 하나 이상의 도전성 빔을 포함하고,상기 도전성 라인들 중 하나는 출력라인이고, 나머지 라인들은 복수 개의 비트 입력라인 중 하나와 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 전기기계 디지털 비교기
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제 5 항에 있어서,상기 출력라인은 상기 2개의 지지대 사이의 가운데에 위치하고,상기 복수 개의 도전성 라인들 중 상기 출력라인을 제외한 나머지 라인들은 상기 출력라인을 중심으로 대칭으로 배열되고, 상기 출력라인에서 상기 각 지지대로 향하며 대칭 위치에 있는 2개의 도전성 라인들이 최상위 비트 입력라인에서 최하위 비트 입력라인으로 가며 상기 복수 개의 비트 입력라인 중 하나와 전기적으로 연결된 것을 특징으로 하는 전기기계 디지털 비교기
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제 5 항 또는 제 6 항에 있어서,상기 도전성 빔의 하부에는 상기 출력라인과 교차하는 위치에 도전성 컨택부가 더 형성되고,상기 도전성 빔은 상기 복수 개의 비트 입력라인을 통해 입력되는 디지털 수치가 특정 값 이상일 경우 상기 도전성 컨택부가 상기 출력라인과 전기적으로 접촉된 상태에서 접촉되지 않은 상태로 혹은 접촉되지 않은 상태에서 접촉된 상태로 변화하는 것을 특징으로 하는 전기기계 디지털 비교기
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소정의 절연성 기판에 제 1 방향으로 복수 개의 도전성 라인들로 하부전극을 형성하는 제 1 단계;상기 기판상에 상기 하부전극을 덮도록 희생막을 증착하고 평탄화 후 사진식각 공정으로 하나 이상의 지지대와 컨택 형성용 홈부를 형성하고, 도전성 물질 증착 및 식각 공정으로 상기 제 1 방향과 소정의 각도로 교차 되는 제 2 방향으로 상부전극인 하나 이상의 도전성 빔, 상기 지지대 및 상기 컨택을 동시에 형성하는 제 2 단계; 및 상기 희생막을 제거하여 상기 도전성 빔을 부양시키는 제 3 단계를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하는 전기기계 디지털 비교기의 제조방법
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