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화상디자인이 표시된 에너지저장시스템용 제어기

  • 기술번호 : KST2015230122
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법으로서, 기판상부 위치한 금속선을 가열하여 챔버 내에 기체상 금속 촉매를 형성하는 단계, 챔버 내에 탄소 소스 기체를 주입하는 단계, 가열된 금속선을 이용하여 기판상의 제1 부분을 가열함으로써 기판상의 제1 부분에 그래핀층을 형성하는 단계 및 가열된 금속선을 이동시켜 기판상의 제1 부분과는 상이한 기판상의 제2 부분을 가열함으로써 기판상의 제2 부분에 그래핀층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법에 관한 것이다.본 발명에 따른 그래핀의 제조 방법은 전사 공정이 없어 그래핀 품질의 저하를 막을 수 있고, 금속선에 가하는 전류를 조절함으로써 금속선의 가열 온도에 따른 기체상 촉매의 증기압을 제어하여 고품질의 그래핀을 성장시킬 수 있으며, 금속선의 이동 속도를 조절하여 그래핀 성장을 제어하여 다양한 품질의 그래핀을 제조 가능한 장점이 있다.
Int. CL C01B 31/02 (2006.01) C01B 31/04 (2006.01)
CPC C01B 32/184(2013.01) C01B 32/184(2013.01)
출원번호/일자 1020140021035 (2014.02.24)
출원인 한국과학기술원
등록번호/일자 10-1562906-0000 (2015.10.19)
공개번호/일자 10-2015-0099903 (2015.09.02) 문서열기
공고번호/일자 (20151026) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.02.24)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전석우 대한민국 대전 유성구
2 백진욱 대한민국 대전 유성구
3 이진섭 대한민국 대전 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 맹성재 대한민국 대전광역시 서구 청사로 *** (둔산동) 수협빌딩 *층(RnD특허법률사무소)
2 박영우 대한민국 서울특별시 강남구 논현로 ***, *층 **세기특허법률사무소 (역삼동, 세일빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국과학기술원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2014.02.24 수리 (Accepted) 1-1-2014-0175254-14
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2014.06.11 수리 (Accepted) 1-1-2014-0545436-51
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)		 2014.08.06 수리 (Accepted) 1-1-2014-0743016-88
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2014.11.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2014.12.11 수리 (Accepted) 9-1-2014-0098339-10
6 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5158129-58
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157993-01
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2014.12.24 수리 (Accepted) 4-1-2014-5157968-69
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2015.03.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0178366-25
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2015.05.18 수리 (Accepted) 1-1-2015-0472524-15
11 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2015.05.18 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0472526-17
12 등록결정서
Decision to grant		 2015.09.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0645584-04
13 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2019.04.24 수리 (Accepted) 4-1-2019-5081392-49
14 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.05.15 수리 (Accepted) 4-1-2020-5108396-12
15 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2020.06.12 수리 (Accepted) 4-1-2020-5131486-63
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상에 그래핀층을 형성하는 방법에 있어서,상기 기판 상부에 위치한 금속선을 가열하여 챔버 내에 기체상 금속 촉매를 형성하는 단계; 상기 챔버 내에 탄소 소스 기체를 주입하는 단계;가열된 상기 금속선을 이용하여 기판상의 제1 부분을 가열함으로써, 상기 기판상의 제1 부분에 그래핀층을 형성하는 단계; 및가열된 상기 금속선을 이동시켜 기판상의 제1 부분과는 상이한 기판상의 제2 부분을 가열함으로써, 상기 기판상의 제2 부분에 그래핀층을 형성하는 단계를 포함되,상기 금속선은 Ni 금속선으로서 1 ~ 100 A의 전류로 챔버내의 Ni 증기압을 제어하고,상기 금속선의 이동속도는 10 ㎛/min 내지 40 mm/min의 범위로 이동시켜 그래핀의 성장을 제어하고,추가의 가열수단을 이용하여 기판을 균일하게 가열하는 것을 특징으로 하는 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법
2 2
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6 6
제1항에 있어서, 상기 그래핀층을 형성하는 단계는,상기 금속선은 일방향으로 연장하는 형상을 갖되, 가열된 상기 금속선을 일정한 속도로 상기 기판에 대하여 수평 방향으로 상대적으로 이동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법
7 7
제1항에 있어서, 상기 그래핀층을 형성하는 단계는,상기 금속선은 용수철 형상을 갖되, 가열된 상기 금속선을 일정한 속도로 상기 기판상에서 방사상 방향으로 상대적으로 이동하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법
8 8
제1항에 있어서,상기 그래핀층을 형성하는 단계는 상기 금속선에 대하여 상기 기판이 회전하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법
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10 10
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11 11
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제1항에 있어서,상기 그래핀층을 형성하는 단계는 비활성 가스 분위기의 챔버 내에서 이루어지는 것을 특징으로 하는 기체상의 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법
13 13
제1항에 있어서,상기 기판은 사파이어 기판, 유리 기판, 실리콘 기판 또는 실리콘 기판상에 이산화규소층이 형성된 기판 등의 절연체 기판인 것을 특징으로 하는 기체상 금속 촉매를 이용한 전사 공정이 생략된 그래핀의 제조 방법
14 14
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15 15
제1항에 있어서,상기 금속선의 직경은 0
16 16
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지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 교육과학기술부 한국과학기술원 글로벌프론티어연구개발사업 2D 및 차원융합 하이브리드 소재기술
2 미래창조과학부 한국과학기술원 나노·소재원천기술개발사업 그래핀 혁신소자를 위한 그래핀 성장 및 결함 제어 원천기술 개발