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기판; 및상기 기판 상에 형성되며, 미세 홈이 형성되어 표면적이 증가한 텍스쳐부를 포함하는 유체 저장부;를 포함하는 유체를 진단하는 장치
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제1항에 있어서,상기 텍스쳐부의 미세 홈은 양성자의 충돌 및 부식성 용액의 식각에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 유체를 진단하는 장치
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제1항에 있어서,상기 유체 저장부는 상기 텍스쳐부에 고정된 항체를 더 포함하며,상기 유체 저장부에 유체가 흐르는 경우, 상기 유체 내 상기 항체와 결합하는 항원을 검출할 수 있는 유체를 진단하는 장치
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제1항에 있어서,상기 기판의 재질은 유리 또는 플라스틱 중 하나인 것을 특징으로 하는 유체를 진단하는 장치
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기판을 제공하는 단계;상기 기판 내 미세 크랙이 형성되는 텍스쳐부가 정의되도록 상기 기판에 미세 크랙을 형성하는 단계; 및상기 텍스쳐부를 식각하여 상기 텍스쳐부에 미세 홈을 형성하는 단계를 포함하는 유체를 진단하는 장치의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 미세 크랙을 형성하는 단계는 상기 기판에 양성자를 충돌시켜 상기 미세 크랙을 형성하는 것을 특징으로 하는 유체를 진단하는 장치의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 미세 크랙을 형성하는 단계는 양성자 가속기에 의해 가속된 양성자를 기판에 충돌시키는 것을 특징으로 하는 유체를 진단하는 장치의 제조 방법
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제6항에 있어서,상기 미세 크랙을 형성하는 단계는,상기 기판 상에 박막을 형성하는 단계;상기 박막에 레이저를 조사하는 단계; 및상기 박막을 제거하는 단계를 포함하는 유체를 진단하는 장치의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 박막은 SiH 및 SiN:H로 이루어지는 군에서 적어도 하나 이상 선택되며, 상기 레이저는 펄스 레이저인 것을 특징으로 하는 유체를 진단하는 장치의 제조 방법
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제8항에 있어서,상기 박막은 금속성 재질로 이루어지며, 상기 박막을 형성하는 단계는 수소를 주입하는 단계를 포함하는 유체를 진단하는 장치의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 미세 홈을 형성하는 단계는 상기 텍스쳐부를 부식성 용액에 접촉시켜 식각하는 것을 특징으로 하는 유체를 진단하는 장치의 제조 방법
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제5항에 있어서,상기 미세 홈을 형성하는 단계 이후, 상기 텍스쳐부에 항체를 고정시키는 단계를 더 포함하는 유체를 진단하는 장치의 제조 방법
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