맞춤기술찾기

이전대상기술

호이슬러 합금의 식각방법(The method of etching Heusler alloy materials)

  • 기술번호 : KST2015231015
  • 담당센터 : 인천기술혁신센터
  • 전화번호 : 032-420-3580
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 Heusler alloy 자성재료 박막의 건식식각방법에 관한 것으로, 보다 상세하게는 20 부피% 내지 80 부피%의 기체상 알코올과 20 부피% 내지 80 부피%의 불활성 가스의 혼합가스를 플라즈마화하는 단계; 및 상기 플라즈마된 혼합가스 중의 이온 및 라디칼에 의하여 호이슬러 합금(Heusler alloy)을 포함하는 자성재료 박막을 식각하는 단계;를 포함하는 자성재료 박막의 건식 식각 방법을 통하여 재증착이 없이 높은 정도의 이방성 식각프로파일을 나타내는 새로운 식각방법을 제공할 수 있다.
Int. CL C22C 19/07 (2006.01) C23F 4/00 (2006.01)
CPC C23F 4/04(2013.01) C23F 4/04(2013.01) C23F 4/04(2013.01)
출원번호/일자 1020140074497 (2014.06.18)
출원인 인하대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1588607-0000 (2016.01.20)
공개번호/일자 10-2015-0145100 (2015.12.29) 문서열기
공고번호/일자 (20160126) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 소멸
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.18)
심사청구항수 5

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 대한민국 인천광역시 미추홀구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 정지원 대한민국 서울특별시 마포구
2 아드리안 파나마 인천광역시 남구
3 황수민 대한민국 서울특별시 양천구

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인 공간 대한민국 대전광역시 서구 둔산서로 ***, *층(둔산 *동, 산업은행B/D)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 인하대학교 산학협력단 인천광역시 미추홀구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0570367-85
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2014.06.19 수리 (Accepted) 1-1-2014-0571330-75
3 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2015.07.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2015-0482268-57
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.07.21 수리 (Accepted) 1-1-2015-0705974-46
5 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2015.07.22 수리 (Accepted) 4-1-2015-5098802-16
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2015.09.04 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2015-0860752-64
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2015.09.04 수리 (Accepted) 1-1-2015-0860747-35
8 등록결정서
Decision to grant
2016.01.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0043688-24
9 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2016.09.05 수리 (Accepted) 4-1-2016-5127132-49
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.03.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5036549-31
11 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2018.12.27 수리 (Accepted) 4-1-2018-5266647-91
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
TiN 하드마스크를 이용하여 호이슬러 합금(Heusler alloy) 박막을 마스킹하는 단계; 및20 부피% 내지 55 부피%의 기체상 알코올과 45 부피% 내지 80 부피%의 불활성 가스의 혼합가스를 플라즈마화하고 상기 플라즈마화된 혼합가스 중의 이온 및 라디칼에 의하여 호이슬러 합금(Heusler alloy) 박막을 식각하는 단계;를 포함하고,상기 호이슬러 합금(Heusler alloy) 박막을 식각하는 단계는 800 W 이상의 코일 고주파 전력, 300 V 내지 400 V의 dc-bias 전압 및 1 mTorr 내지 10 mTorr 범위의 가스 압력에서 수행됨을 특징으로 하는 자성재료 박막의 건식 식각 방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 알코올은 CH3OH, C2H5OH, C3H7OH 중에서 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자성재료 박막의 건식 식각 방법
3 3
제2항에 있어서, 상기 호이슬러 합금(Heusler alloy)은 Co2MnSi, Co2MnAl, Co2MnGa, Co2MnGe, Co2FeSi 및 Co2FeAl로 이루어지는 군으로부터 선택되는 어느 하나인 것을 특징으로 하는 자성재료 박막의 건식 식각 방법
4 4
제2항에 있어서, 상기 호이슬러 합금(Heusler alloy)은 Co2MnSi 인 것을 특징으로 하는 자성재료 박막의 건식 식각 방법
5 5
제1항에 있어서, 상기 호이슬러 합금(Heusler alloy) 박막을 식각하는 단계는 고밀도 플라즈마 반응성 이온 식각법, 자기 증강 반응성 이온 식각법 및 반응성 이온 식각법 중에서 선택된 방법에 의해 수행됨을 특징으로 하는 자성재료 박막의 건식 식각 방법
6 6
삭제
지정국 정보가 없습니다
순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - 패밀리정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
패밀리 정보가 없습니다

DOCDB 패밀리 정보

순번, 패밀리번호, 국가코드, 국가명, 종류의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 패밀리정보 - DOCDB 패밀리 정보 표입니다.
순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR20150146341 KR 대한민국 DOCDBFAMILY
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 인하대학교 산학협력단 미래소자 원천기술개발사업 소자 집적 및 MTJ 식각 기술(1차년도)