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하전입자 빔을 방출하는 하전입자 빔 소스; 상기 하전입자 빔 소스와 하기 경통부사이를 연결하며, 센터링과 오링의 결합에 의해 이루어지는 각도 조절장치; 및 상기 각도조절장치와 연결되며, 전기장 또는 자기장에 의해 상기 하전입자 빔을 집속하며, 하전입자 빔 프로브를 형성시키는 집속렌즈군을 포함하는 경통부;를 포함하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제1항에 있어서, 상기 집속렌즈군은 상기 하전입자 빔을 집속하여 주는 하나이상의 중간 집속렌즈, 및 최종 집속렌즈로서 빔 스폿인 하전입자 빔 프로브를 형성시키는 대물렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제1항에 있어서, 상기 하전 입자빔은 이온빔 또는 전자빔인 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제2항에 있어서, 상기 하전입자 빔은 대물렌즈의 중심을 통과함으로써, 수차를 감소시키는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제1항에 있어서, 상기 하전입자 빔 조사각 조절 장치는 관찰 또는 가공하려는 시료를 지지하며, 상기 시료를 이동할 수 있는 시료 스테이지를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제2항에 있어서, 상기 경통부는 하전입자 빔의 조사 방향을 제어하여 바꾸어 주는 하나 이상의 편향기, 상기 하전입자 빔 소스로부터 방출된 하전입자 빔이 대물렌즈를 거쳐 조사되는 구멍 형태의 개구부 통로인 어퍼처 중 하나이상을 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제1항에 있어서, 상기 각도 조절장치는 복수의 센터링과 오링의 반복 결합에 의해 이루어지는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제7항에 있어서, 상기 센터링과 오링은 1 내지 20회 교대로 반복 결합되는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제1항에 있어서, 상기 센터링은 중심부에 상기 하전입자빔이 통과할 수 있도록 개구부를 포함하는 금속으로 이루어지고, 오링은 둥근 고리 형태의 고분자 재질인 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제1항에 있어서, 상기 센터링에는 오링이 접속될 수 있도록 단차 또는 그루브를 포함하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제1항에 있어서,상기 하전입자 빔 조사각 조절 장치는 하전입자 빔을 검출하는 검출기;를 추가적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 조사각 조절 장치
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 하전입자 빔 조사각 조절 장치를 포함하는 하전입자 빔 현미경
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 하전입자 빔 조사각 조절 장치를 포함하는 시료 가공 장치
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제1항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 하전입자 빔 조사각 조절 장치를 포함하는 집속 이온 빔(FIB) 장치
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하전입자 빔을 방출하는 하전입자 빔 소스; 및 전기장 또는 자기장에 의해 상기 하전입자 빔을 집속하며, 하전입자 빔 프로브를 형성시키는 집속렌즈군을 포함하는 경통부;를 포함하는 하전입자 빔 이용 장치내 하전입자 빔을 정렬하는 방법으로서, 상기 하전 입자 빔 소스와 경통부사이에 센터링과 오링의 결합에 의해 이루어지는 각도 조절장치를 구비하여 하전 입자 소스와 경통 부를 연결하며, 상기 각도조절장치를 구부림(tilting)으로써, 상기 하전입자 빔 이용 장치내 하전입자 빔을 정렬하는 방법
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제15항에 있어서, 상기 각도조절장치의 구부림(tilting) 각도는 복수의 센터링과 오링의 반복 결합 정도에 따라 조절 가능한 것을 특징으로 하는 하전입자 빔 이용 장치내 하전입자 빔을 정렬하는 방법
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