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메가소닉 웨이브 가이드 및 이를 포함한 초음파 세정장치(Megasonic wave guide and megasonic cleaning apparatus having the same)

  • 기술번호 : KST2015231145
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 메가소닉 웨이브 가이드 및 이를 포함한 초음파 세정장치에 관한 것으로서, 웨이브 가이드의 초음파 발산면에 오목한 형태의 그루브를 형성하여 발산되는 파장의 위상이 중첩되고 이에 따라 발산되는 음압을 균일하게 할 수 있어, 피세정물의 균일한 세정이 가능하고 피세정물에 형성된 미세 패턴을 손상시키지 않을 수 있는 메가소닉 웨이브 가이드 및 이를 포함한 초음파 세정장치에 관한 것이다.
Int. CL H01L 21/607 (2006.01) H01L 21/302 (2006.01)
CPC H01L 21/6704(2013.01) H01L 21/6704(2013.01)
출원번호/일자 1020140073996 (2014.06.18)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2015-0145281 (2015.12.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2014.06.18)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김현세 대한민국 서울특별시 종로구
2 이양래 대한민국 대전광역시 유성구
3 임의수 대한민국 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 플러스 대한민국 대전광역시 서구 한밭대로 ***번지 (둔산동, 사학연금회관) **층

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2014.06.18 수리 (Accepted) 1-1-2014-0566836-47
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2014.12.30 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.14 수리 (Accepted) 1-1-2015-5002867-53
4 [대리인선임]대리인(대표자)에 관한 신고서
[Appointment of Agent] Report on Agent (Representative)
2015.01.30 수리 (Accepted) 1-1-2015-5004922-13
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2015.02.10 수리 (Accepted) 9-1-2015-0012976-25
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.02.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0110993-06
7 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2016-0273001-26
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.03.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-0272997-96
9 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2016.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2016-0624411-12
10 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.10.19 무효 (Invalidation) 1-1-2016-1014892-40
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2016.10.19 수리 (Accepted) 1-1-2016-1015050-03
12 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2016.10.19 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2016-1014891-05
13 보정요구서
Request for Amendment
2016.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0155452-52
14 [지정기간단축]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Reduction of Designated Period] Request for Extension of Period (Reduction, Expiry Reconsideration)
2016.11.01 수리 (Accepted) 1-1-2016-1064652-16
15 무효처분통지서
Notice for Disposition of Invalidation
2016.11.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2016-0158112-69
16 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2017.03.29 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2017-0227761-65
17 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
몸체의 길이방향 일측면인 초음파 발산면에 그루브가 형성되되,상기 그루브는 다수개의 직선형태 또는 원형으로 형성되어 다수개의 그루브가 서로 이격되어 형성되는 것을 특징으로 하는 메가소닉 웨이브 가이드
2 2
제1항에 있어서,상기 그루브의 높이(H)는 전달되는 초음파 파장의 1/4배로 형성되는 것을 특징으로 하는 메가소닉 웨이브 가이드
3 3
제1항에 있어서,상기 몸체의 중심에 가까운쪽의 그루브의 폭이 중심에서 먼쪽의 그루브의 폭보다 넓게 형성되는 것을 특징으로 하는 메가소닉 웨이브 가이드
4 4
몸체의 길이방향 일측면인 초음파 발산면에 그루브가 형성되되,상기 발산면이 라운드형으로 오목하게 형성되어 상기 그루브로 형성되는 것을 특징으로 하는 메가소닉 웨이브 가이드
5 5
제4항에 있어서,상기 그루브의 중심 높이(H)는 전달되는 초음파 파장의 1/4배로 형성되는 것을 특징으로 하는 메가소닉 웨이브 가이드
6 6
제4항에 있어서,상기 라운드형의 그루브는 계단식으로 형성되는 것을 특징으로 하는 메가소닉 웨이브 가이드
7 7
제6항에 있어서,상기 라운드형의 그루브는 계단식으로 형성되되, 요철이 번갈아 배치되는 형태로 형성되는 것을 특징으로 하는 메가소닉 웨이브 가이드
8 8
제1항 내지 제7항의 메가소닉 웨이브 가이드; 및상기 메가소닉 웨이브 가이드 몸체의 길이방향 타측면에 결합되는 진동자; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 메가소닉 웨이브 가이드를 포함한 초음파 세정장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한국기계연구원 중소기업청-국가연구개발사업(Ⅱ) 박막 태양전지의 세정 효율 향상과 손상 방지를 위한1000 W급 배치식 미드소닉 기술 개발 (2/2)