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중공의 기둥형태로 구성되고, 일측이 개방되는 용기; 및상기 용기의 개방된 일측이 밀폐될 수 있도록 결합되는 커버;를 포함하고,상기 용기의 내부에는 하전입자빔 분석장치가 수용되며,상기 용기는 저탄소강 재질로 구성되고,상기 용기의 내부는 1x10-7 torr 이하의 초고진공으로 이용되고,상기 용기는 화학세척공정을 거치고,상기 화학세척공정은,상기 용기의 유기물 기름을 제거하는 유기물 기름 제거단계;상기 용기의 무기물 기름을 제거하는 무기물 기름 제거단계; 및상기 용기의 유기물, 무기물 오염을 동시에 제거하는 오염제거단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버
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제1항에 있어서,상기 용기는 0
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제1항에 있어서,상기 무기물 기름 제거단계 이후에,상기 용기의 표면산화층을 제거하는 표면산화층 제거단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버
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제1항에 있어서,상기 오염제거단계 이후에,상기 용기의 표면 산화(oxidation) 또는 부식(corrosion)을 막기 위해, 상기 용기의 내표면과 외표면에 니켈 도금 또는 크롬 도금으로 산화방지 피막을 입히는 산화방지단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버
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제1항에 있어서,상기 용기의 개방된 일측에 직경방향으로 돌출구성되는 플랜지;를 더 포함하고,상기 커버는 상기 용기의 개방된 일측이 밀폐될 수 있도록 상기 플랜지와 결합되는 것을 특징으로 하는 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버
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제1항에 있어서,상기 용기의 개방된 일측이 밀폐되도록, 상기 커버와 상기 용기의 사이에 구비되는 금속 개스킷; 및상기 커버 및 상기 용기 중 적어도 하나의 상기 금속 개스킷이 구비되는 부분에 상기 금속 개스킷 측으로 돌출형성되어, 상기 금속 개스킷의 일면에 맞물리는 나이프 엣지;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버
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제1항에 따른 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버;상기 초고진공 진공챔버의 일구성인 용기 내부에 수용되고, 하전입자빔을 방출하는 하전입자빔 이미터(emitter); 및상기 용기의 내부에 수용되고, 상기 하전입자빔 이미터에서 방출되는 상기 하전입자빔이 조사되는 샘플;을 포함하고,상기 용기의 내부는 1x10-7 torr 이하의 초고진공으로 이용되는 것을 특징으로 하는 초고진공 하전입자빔 분석장비
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제9항에 있어서,상기 하전입자빔 이미터는,전자총의 전자원인 전계방출 전자원(field emission electron source or Schottky emitter), 냉전계방출 전자원(cold field emission electron source) 또는 광전자방출 전자원(photo cathode or photoelectron electron source)이거나, 이온총의 이온원인 갈륨등을 포함한 액체 이온원(liquid metal ion source) 또는 가스전계방출이온원(gas field ion source)이거나,초고진공 광전자 분광기(photoemission electron spectrometer) 또는 오제이 전자분광기(Auger electron spectrometer)의 전자기파 소스이거나,저에너지 전자현미경(low energy electron microscope, LEEM)의 전자빔 소스이거나,광전자현미경(photoelectron microscope; PEEM)의 전자기파 소스이거나,질량분석기(mass analyzer)의 전자기파 소스 또는 이온파 소스인 것을 특징으로 하는 초고진공 하전입자빔 분석장비
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제11항에 있어서,상기 무기물 기름 제거단계 이후에,상기 용기의 표면산화층을 제거하는 표면산화층 제거단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버 제작방법
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제11항에 있어서,상기 오염제거단계 이후에,상기 용기의 표면 산화(oxidation) 또는 부식(corrosion)을 막기 위해, 상기 용기의 내표면과 외표면에 니켈 도금 또는 크롬 도금으로 산화방지 피막을 입히는 산화방지단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 저탄소강 재질의 초고진공 진공챔버 제작방법
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