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하우징;상기 하우징 후단으로부터 전단을 향해 연장되며 하우징 안에 배치되는, 플라즈마 방전 가스를 공급하는 가스 공급용 튜브;상기 가스 공급용 튜브의 일단에 연통 되게 접합 되며, 상기 가스 공급 튜브로부터 공급되는 상기 가스를 통과시키고 플라즈마 방전을 위한 전압이 인가되는 바늘형 전압인가전극;상기 가스 공급용 튜브와 접합 된 상기 전압인가전극을 둘러싸며 연장된 유리관;및상기 유리관의 외측 단부에 콘형으로 형성되어 하우징 단부에 조립되고 접지되며, 상기 전압인가전극과의 사이에 전기장을 형성하여 플라즈마 방전 가스를 방전시켜 플라즈마를 발생시키는 콘형 접지 전극;을 포함하고,상기 콘형 접지 전극은 중심에 플라즈마 방출용 홀과 콘형 몸체 전체에 방열용 홀을 다수 구비하며,상기 플라즈마 방전 가스는 불활성 가스, 분자 가스, 일반 공기 또는 혼합 가스 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 바이오 용 플라즈마 제트 소스
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하우징;상기 하우징 후단으로부터 전단을 향해 연장되며 하우징 안에 배치되는, 플라즈마 방전 가스를 공급하는 가스 공급용 튜브;상기 가스 공급용 튜브와 접합 되며 연장된 유리관;상기 유리관 외측 면에 속이 빈 실린더형으로 형성되는 전압인가전극;및상기 유리관의 외측 단부에 콘형으로 형성되어 하우징 단부에 조립되고 접지되며, 상기 전압인가전극과의 사이에 전기장을 형성하여 플라즈마 방전 가스를 방전시켜 플라즈마를 발생시키는 콘형 접지 전극;을 포함하고,상기 콘형 접지 전극은 중심에 플라즈마 방출용 홀과 콘형 몸체 전체에 방열용 홀을 다수 구비하며,상기 플라즈마 방전 가스는 불활성 가스, 분자 가스, 일반 공기 또는 혼합 가스 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 바이오 용 플라즈마 제트 소스
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제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 하우징 안으로 배관되는 냉기 주입관을 더 포함하여, 플라즈마 제트소스의 방열을 공랭식으로 실시하는 것을 특징으로 하는 바이오 용 플라즈마 제트 소스
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하우징;상기 하우징 후단으로부터 전단을 향해 연장되며 하우징 안에 배치되는, 플라즈마 방전 가스를 공급하는 가스 공급용 튜브;상기 가스 공급용 튜브의 일단에 연통 되게 접합 되며, 상기 가스 공급 튜브로부터 공급되는 상기 가스를 통과시키고 플라즈마 방전을 위한 전압이 인가되는 바늘형 전압인가전극;상기 가스 공급용 튜브와 접합 된 상기 전압인가전극을 둘러싸며 연장된 유리관;상기 유리관의 외측 단부에 콘형으로 형성되어 하우징 단부에 조립되고 접지되며, 상기 전압인가전극과의 사이에 전기장을 형성하여 플라즈마 방전 가스를 방전시켜 플라즈마를 발생시키는 콘형 접지 전극; 및상기 하우징 안으로 연장되어 상기 접지 전극 주위를 거쳐 다시 하우징 밖으로 배관되어 냉각수를 공급하는 냉각수 주입용 호스;를 포함하고,상기 콘형 접지 전극은 중심에 플라즈마 방출용 홀을 구비하며,상기 플라즈마 방전 가스는 불활성 가스, 분자 가스, 일반 공기 또는 혼합 가스 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 바이오 용 플라즈마 제트 소스
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하우징;상기 하우징 후단으로부터 전단을 향해 연장되며 하우징 안에 배치되는, 플라즈마 방전 가스를 공급하는 가스 공급용 튜브;상기 가스 공급용 튜브와 접합 되어 연장된 유리관;상기 유리관 외측 면에 속이 빈 실린더형으로 형성되는 전압인가전극;및상기 유리관의 외측 단부에 콘형으로 형성되어 하우징 단부에 조립되고 접지되며, 상기 전압인가전극과의 사이에 전기장을 형성하여 플라즈마 방전 가스를 방전시켜 플라즈마를 발생시키는 콘형 접지 전극;및상기 하우징 안으로 연장되어 상기 접지 전극 주위를 거쳐 다시 하우징 밖으로 배관되어 냉각수를 공급하는 냉각수 주입용 호스;를 포함하고,상기 콘형 접지 전극은 중심에 플라즈마 방출용 홀을 구비하며,상기 플라즈마 방전 가스는 불활성 가스, 분자 가스, 일반 공기 또는 혼합 가스 중 하나 이상인 것을 특징으로 하는 바이오 용 플라즈마 제트 소스
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