맞춤기술찾기

이전대상기술

3축 스테이지장치

  • 기술번호 : KST2016000247
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 3축 스테이지장치에 관한 것으로서, 베이스의 양편에 각각 구비되어 Y축 방향으로 직선 왕복이동되고 서로 마주하도록 경사진 경사면이 형성된 Y축 스테이지와; 상기 양 Y축 스테이지의 경사면에 접하여 Y축 스테이지의 직선 왕복이동에 의해 승강되는 Z축 스테이지와; 상기 Z축 스테이지 상에 구비되어 X축 방향으로 직선 왕복이동되는 X축 스테이지;를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하여, 3축 스테이지장치의 크기 및 부피를 콤팩트화 할 수 있고, 다양한 산업분야에 고루 적용할 수 있게 된다. 3축, 스테이지, 리니어모터, 에어베어링, 자기예압, 압력유지
Int. CL B23Q 3/00 (2006.01) B23Q 5/22 (2006.01) B23Q 3/02 (2006.01)
CPC B23Q 1/25(2013.01) B23Q 1/25(2013.01) B23Q 1/25(2013.01) B23Q 1/25(2013.01) B23Q 1/25(2013.01)
출원번호/일자 1020090035995 (2009.04.24)
출원인 한국기계연구원
등록번호/일자 10-1043925-0000 (2011.06.17)
공개번호/일자 10-2010-0117316 (2010.11.03) 문서열기
공고번호/일자 (20110629) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2009.04.24)
심사청구항수 3

출원인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 출원인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 발명자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 노승국 대한민국 대전광역시 유성구
2 박종권 대한민국 대전광역시 유성구
3 코넬 이만 미국 미국 일리노이주 *****-***

대리인

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 대리인 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

번호, 이름, 국적, 주소의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 인명정보 - 최종권리자 표입니다.
번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2009.04.24 수리 (Accepted) 1-1-2009-0250549-19
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2010.11.09 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2010.12.16 수리 (Accepted) 9-1-2010-0077395-82
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2011.01.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0039369-42
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2011.03.08 수리 (Accepted) 1-1-2011-0166764-73
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2011.03.08 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2011-0166765-18
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069914-14
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2011.04.08 수리 (Accepted) 4-1-2011-5069919-31
9 등록결정서
Decision to grant
2011.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2011-0310295-08
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2017.11.28 수리 (Accepted) 4-1-2017-5193093-72
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
베이스의 양편에 각각 구비되어 Y축 방향으로 직선 왕복이동되고 서로 마주하도록 경사진 경사면이 형성된 Y축 스테이지와; 상기 양 Y축 스테이지의 경사면에 접하여 Y축 스테이지의 직선 왕복이동에 의해 승강되는 Z축 스테이지와; 상기 Z축 스테이지 상에 구비되어 X축 방향으로 직선 왕복이동되는 X축 스테이지;를 포함하되, 상기 양 Y축 스테이지와 Z축 스테이지 및 X축 스테이지에는 각각 베이스와 양 Y축 스테이지 및 Z축 스테이지를 향해 에어를 분사하여 부상간극을 형성하는 에어베어링이 구성되고, 상기 베이스와, 양 Y축 스테이지와, Z축 스테이지 및 X축 스테이지의 서로 대향되는 부품 간의 대향면에는 각각 철판과 이에 대응한 자성체가 형성되어, 상기 에어베어링의 부상력과 평형을 이루는 자기예압수단이 더 구성된 것을 특징으로 하는 3축 스테이지장치
2 2
삭제
3 3
삭제
4 4
제 1 항에 있어서, 상기 양 Y축 스테이지와 X축 스테이지는 각각 리니어모터에 의해 베이스와 Z축 스테이지 상에서 Y축 방향과 X축 방향으로 직선 왕복이동되는 것을 특징으로 하는 3축 스테이지장치
5 5
제 1 항에 있어서, 상기 양 Y축 스테이지 중 일측의 스테이지에는 실린더가 연결되고, 타측의 스테이지에는 실린더 내부에 출입가능하게 삽입되어 있는 피스톤이 연결되어, 정지된 양 Y축 스테이지의 이격된 간격을 유지할 수 있도록 한 카운터밸런스가 구성된 것을 특징으로 하는 3축 스테이지장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 지식경제부 2009년 09월 10일 ~ 2009년 08월 31일 차세대신기술개발사업 차세대 마이크로팩토리 첨단 요소기술 개발