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플라스마 표시 패널의 제조 공정에 사용되는 제조 시스템(system)에 있어서,배기구 및 단자부가 형성된 표시 패널 중간체를 지지하는 지지 부재,상기 표시 패널 중간체의 저면 하측에 장착되는 분리형 히터와, 상기 분리형 히터 상에 배치된 핫플레이트(hot plate)를 포함하여 상기 표시 패널 중간체를 가열시키는 가열 장치,상기 배기구를 통해 상기 표시 패널 중간체의 내부를 고진공 상태로 만들어 배기시킨 후에 새로운 가스를 주입하는 진공 장치, 및상기 단자부를 통해 상기 표시 패널 중간체를 예비 방전시켜 활성화 및 안정화시키는 에이징 장치를 포함하는 플라스마 표시 패널 제조용 배기 및 에이징 단일 공정 시스템
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제1항에 있어서,상기 진공 장치는,상기 표시 패널 중간체의 내부를 배기시키는 펌프부와,상기 표시 패널 중간체에 가스를 공급하는 가스 공급부, 그리고상기 펌프부 및 상기 가스 공급부를 상기 표시 패널 중간체와 상호 연결시키는 다기관(manifold)을 포함하는 플라스마 표시 패널 제조용 배기 및 에이징 단일 공정 시스템
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제2항에 있어서,상기 펌프부는 터보 분자 펌프(turbo molecular pump)와 로터리 펌프(rotary pump)를 포함하는 플라스마 표시 패널 제조용 배기 및 에이징 단일 공정 시스템
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제2항에 있어서,상기 가스 공급부는,서로 다른 종류의 가스를 각각 저장하고 있는 다수의 가스 저장부와,상기 가스 저장부에 저장된 각각의 가스를 선택적으로 또는 혼합하여 배출 여부를 제어하는 밸브부를 포함하는 플라스마 표시 패널 제조용 배기 및 에이징 단일 공정 시스템
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제4항에 있어서,상기 가스 저장부들은 아르곤(Ar), 헬륨(He), 제논(Xe) 및 네온(Ne) 중에서 둘 이상의 가스를 저장하는 플라스마 표시 패널 제조용 배기 및 에이징 단일 공정 시스템
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제1항에 있어서,상기 에이징 장치는,상기 표시 패널 중간체의 단자부에 접속하는 접속부와,상기 표시 패널 중간체와 면으로 접촉하여 접지 역할을 하는 접지 플레이트와,상기 단자부를 통해 구동 신호를 전달하는 구동부, 그리고상기 구동부에 전원을 공급하는 전원 공급부를 포함하는 플라스마 표시 패널 제조용 배기 및 에이징 단일 공정 시스템
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제6항에 있어서,상기 접지 플레이트는 알루미늄(Al)을 포함한 소재로 형성된 플라스마 표시 패널 제조용 배기 및 에이징 단일 공정 시스템
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두 개의 기판을 합착하여 표시 패널 중간체를 마련하는 단계,상기 표시 패널 중간체를 제1 공정 온도로 상승시키는 단계,상기 표시 패널 중간체의 내부를 고진공 상태로 만들어 배기시키는 단계,상기 표시 패널 중간체 내부에 제1 가스를 주입하는 단계,상기 표시 패널 중간체 내부에 예비 방전을 일으키고, 상기 표시 패널 중간체가 제2 공정 온도로 가열되는 단계,상기 표시 패널 중간체 내부의 상기 제1 가스를 배기시키는 단계, 그리고상기 표시 패널 중간체 내부에 제2 가스를 주입하고 상기 표시 패널 중간체를 밀봉시키는 단계를 포함하며, 상기 플라스마 표시 패널 내부에 상기 제1 가스를 주입하고 예비 방전을 일으킨 후에 상기 제1 가스를 배기시키는 과정을 2회 이상 반복하는 플라스마 표시 패널의 제조 방법
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제18항에 있어서,상기 제2 가스가 주입된 상기 표시 패널 중간체 내부에 예비 방전을 일으키는 단계를 포함하는 플라스마 표시 패널의 제조 방법
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제18항에 있어서,상기 제1 가스는 아르곤 가스를 포함하는 플라스마 표시 패널의 제조 방법
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제18항에 있어서,상기 제1 가스는 헬륨(He), 네온(Ne) 및 제논(Xe) 가스를 포함하는 플라스마 표시 패널의 제조 방법
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제18항에 있어서,상기 제2 가스는 헬륨(He), 네온(Ne) 및 제논(Xe) 가스를 포함하는 플라스마 표시 패널의 제조 방법
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제18항에 있어서,상기 제1 공정 온도는 섭씨 200도 내지 섭씨 250도인 플라스마 표시 패널의 제조 방법
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제18항에 있어서,상기 제2 공정 온도는 섭씨 350도 내지 섭씨 400도인 플라스마 표시 패널의 제조 방법
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제18항에 있어서,밀봉된 상기 표시 패널 중간체를 제3 공정 온도로 냉각시키는 단계를 더 포함하는 플라스마 표시 패널의 제조 방법
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제26항에 있어서,상기 제3 공정 온도는 섭씨 60도 이하인 플라스마 표시 패널의 제조 방법
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제18항에 있어서,상기 에이징 및 배기 공정은 6시간 내지 8시간에 걸쳐서 진행되는 플라스마 표시 패널의 제조 방법
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