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유체 공급원으로부터의 유체가 흐르도록 내부에 중공부(11)가 형성된 유체 파이프(1)와;상기 중공부(11)에 삽입 고정되고 압전 소자(23)가 구비되며 다수의 유체 흐름공(24)이 형성된 압전 엑추에이터(2)와;상기 압전 소자(23)에 구동 전원을 인가하는 리드선(31)에 연결된 컨트롤러(3), 및상기 압전 엑추에이터 전방의 상기 중공부(11)에 삽입되며 전방 내측으로 경사진 개방부(41)가 형성된 테이퍼 노즐(4)을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 초음파 압전 펌프
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제 1항에 있어서,상기 압전 엑추에이터(2)는;중앙에 관통홀(211)이 형성된 케이스(21)와,상기 관통홀(211)에 삽입되며 전방에 상기 압전 소자(23)가 설치되는 프레임(22)과,상기 케이스(21)의 전,후를 관통하게 상기 프레임(22)의 둘레에 형성되는 상기 유체 흐름공(24)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 초음파 압전 펌프
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제 2 항에 있어서,상기 압전 소자(23)는;박판 플레이트(231)와,상기 박판 플레이트(231) 일면에 밀착된 압전 세라믹(232)으로 구성되는 유니몰프 형태인 것을 특징으로 하는 초음파 압전 펌프
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제 2항에 있어서,상기 압전 소자(23)는;박판 플레이트(231)와,상기 박판 플레이트(231) 양면에 밀착된 압전 세라믹(232)으로 구성되는 바이몰프 형태인 것을 특징으로 하는 초음파 압전 펌프
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제 1항에 있어서,상기 압전 엑추에이터(2)는;중앙에 관통홀(211)이 형성된 케이스(21)와,상기 관통홀(211) 내부에 삽입된 파이프 형상의 실린더(25)와,상기 실린더(25) 후방을 폐쇄하도록 실린더(25) 후방에 고정되는 후방 플레이트(26)와,상기 실린더(25) 내측벽에 밀착 구비되는 피스톤용 전방 플레이트(27)와,상기 후방 플레이트(26)와 전방 플레이트(27)를 상호 연결하게 구비되고 다수의 압전 세라믹이 적층된 로드용 상기 압전 소자(23)와, 상기 케이스(21)의 전,후를 관통하게 상기 실린더(25)의 둘레에 형성되는 상기 유체 흐름공(24)을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 초음파 압전 펌프
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제 5항에 있어서,상기 전방 플레이트(27)는;상기 케이스(21) 내부의 기밀성을 유지하여 유체 유입을 방지하도록 장착된 원형 고무링(271)을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 초음파 압전 펌프
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제 1항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 유체 파이프(1) 내부에는;상기 압전 엑추에이터(2)와 상기 테이퍼 노즐(4) 사이의 간격을 조절하기 위한 간격 조절용 원형링(5)이 더 구비됨을 특징으로 하는 초음파 압전 펌프
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